【課題】 例えばＥＵＶ光を用いる露光装置であって、高いスループットを達成することのできる露光装置。
【解決手段】 本発明の露光装置は、光源（１）より射出された光が集光する集光点（１ａ）からの光を用いて、第１面に設置される反射型のマスク（Ｍ）を照明する照明光学系と、マスクのパターンを第２面に設置される感光性基板（Ｗ）に投影する投影光学系（ＰＯ）とを備えている。集光点から投影光学系の光軸（ＡＸ）へ導いた垂線の長さをＤｈとし、第１面と第２面との光軸に沿った距離をＤｖとするとき、０．１２＜Ｄｈ／Ｄｖ＜１．３４の条件を照明光学系と投影光学系とが満足する。 （もっと読む）

【課題】コーティング反射板において、紫外線吸収ポリマーが反射膜と会合するのを防止することで、反射膜が変色し難くなり、高い反射率を維持する。
【解決手段】反射板１は、基材２と、この基材２上に設けられた銀を含有する反射膜４と、反射膜４の表面に設けられたコーティング層５と、を備える。コーティング層５は、紫外線吸収基が側鎖に結合している紫外線吸収ポリマーを有する。この反射板１は、コーティング層５における紫外線吸収ポリマーの含有率が反射膜４の表面と接する側よりも反射膜４の表面から離れた側ほど高いので、紫外線吸収ポリマーと反射膜４の会合による化学反応が起き難くなる。これにより、反射膜４は変色し難くなり、高い反射率を維持することができる。 （もっと読む）

ファセットミラー（６；１０）は、マイクロリソグラフィにおける使用に向けて役立つ。ファセットミラー（６；１０）は、ＥＵＶ照明光（３）の部分ビームを導くための照明チャンネルを予め定義する複数のファセット（７；１１）を有する。ファセット（７；１１）の少なくとも一部は、アクチュエータ（３１；３５）を有する調節デバイス（３０；３４）を用いて、ファセット反射平面（ｘｙ；ｘ’ｙ’；ｘ’’ｙ’’）に垂直な移動成分（３２；ｄｚ’；ｄｚ’’）を伴って変位可能である。これは、ファセットミラーの使用中に達成すべき望ましい照明事前定義に準拠するように作られた所定の要件が従来技術と比較して低い製造費用で達成されるファセットミラーをもたらす。 （もっと読む）

【課題】リフレクターに加工してノート型パソコン等の液晶表示装置内に組み込んだ場合に、モニター部を開閉した際のノイズの発生を低減できる光反射体を提供する。
【解決手段】脂肪族ポリエステル系樹脂及び微粉状充填剤を含有してなるＡ層を、金属板の片面側若しくは両面側に積層してなる構成を備えた光反射体であって、少なくとも片面側のＡ層の表面の静摩擦係数が０．４９以下であり、且つ、動摩擦係数が０．４２以下であること。 （もっと読む）

【課題】高温下で使用しても寸法変化が小さい偏光反射体を提供すること。
【解決手段】結晶性の熱可塑性樹脂からなる層（Ａ層）とＡ層を構成する樹脂とは異なる光学的性質を有する非晶性の熱可塑性樹脂からなる層（Ｂ層）とが交互にそれぞれ５０層以上積層されてなり、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）による結晶化エンタルピー（ΔＨｃ）が１Ｊ／ｇ以下、かつ、下記（１）式および（２）式を満たす偏光反射体とする。Ｒｍｉｎ≦４０％・・・（１）式Ｒｍａｘ≧７０％・・・（２）式（ここで、Ｒｍｉｎ、Ｒｍａｘは、波長５５０ｎｍの偏光を該偏光反射体の表面に対して入射角０°で照射し、該偏光反射体を入射光軸を中心に半回転させたときの反射率（％）の最小値（Ｒｍｉｎ）と最大値（Ｒｍａｘ）である。） （もっと読む）

【課題】液晶パネルの電源投入後のランプの温度差に起因する輝度ムラを低減することができる液晶パネルモジュールを提供する。
【解決手段】液晶パネルモジュールの反射板の表面にサーモクロミック材料を塗布し、支持部材近傍を除く領域の反射率を温度に応じて調整し、ランプの支持部材近傍と支持部材近傍以外の部分の温度差による輝度差を小さくし、液晶パネルへ到達する光量を均一化させて、液晶パネルの電源投入後のランプの温度差に起因する輝度ムラを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部において光を精度よく反射させることが可能な振動ミラー素子を提供する。
【解決手段】この振動ミラー素子１００は、Ｙ１側に形成された端部３１ａと、Ｙ２側に形成された端部３１ｂと、端部３１ｂ側に形成された接続部３１ｃとを含み、Ｙ方向に沿って直線状に延びるとともに、片持ち梁状の駆動部３１と、駆動部３１の接続部３１ｃと接続され、駆動部３１の駆動時に接続部３１ｃと略同じ傾斜になるように構成されたミラー支持部３２と、ミラー支持部３２により接続部３１ｃにおける傾斜と略同じ傾斜になるように支持されることによって、Ｘ方向に延びる回動中心Ｒ２回りに回動されるＸ方向光走査部１０とを備え、回動中心Ｒ２は、駆動部３１の非駆動状態において駆動部３１の端部３１ａと接続部３１ｃとを結ぶＹ方向に延びる直線（接線Ｃ１およびＤ１）の略中央Ｒ４を通る位置に配置されている。 （もっと読む）

本発明は、各々が少なくとも１つの反射面（５）を有する複数の反射ファセット要素（１）を含むＥＵＶマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明光学ユニットに使用するための光学要素に関する。この場合、少なくとも１つのファセット要素（１）は、このファセット要素（１）の少なくとも１つの反射面（５）と交わる回転軸（９）の回りに回転可能な方式で配置される。そのような光学要素を使用すると、照明光学ユニット内の照明放射線の少なくとも一部の方向及び／又は強度を簡単な方式で変更することができる。 （もっと読む）

【課題】白色度が高く、耐熱性に優れる液晶ポリエステルを操作性良く製造しうる方法を提供する。
【解決手段】原料モノマーを重縮合させて、重縮合物を得る。この重縮合物を粒子化して、粒子化物を得る。この粒子化物を固相重合させて、液晶ポリエステルを得る。固相重合に供される粒子化物は、その鉄の含有量が、５重量ｐｐｍ以下であるようにする。重縮合物の粒子化は、重縮合物と接触する部分の材質が耐酸性の材質である粉砕機を用いて、機械粉砕により行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】反射板において、紫外線吸収剤が銀反射層と会合するのを防止することで、銀反射層が変色し難くなり、高い反射率を維持する。
【解決手段】反射板１は、基材２上に、銀反射層４と、透明無機被膜から成る第１保護層５と、紫外線吸収剤８を含有する有機被膜７から成る第２保護層６とが順に積層されている。第１保護層５は、第２保護層６の紫外線吸収剤８が銀反射層４と会合することを防止するので、紫外線吸収剤８と銀反射層４の化学反応が起きない。これにより、銀反射層４が変色し難くなり、高い反射率を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】
瞳面における露光光ＥＬの強度分布を調整できる露光装置等を提供する。
【解決手段】
二次元面内に配置された複数の反射面を有する反射光学部材１６は、複数の反射面の間の少なくとも一部に設けられ、反射面に入射する入射光又は反射面によって反射される反射光の少なくとも一方の光量を調整する調整部材２２を備えている。
調整部材２２は、複数の反射面の間から出し入れ可能であり、反射面からの調整部材２２の突出量を個別に調整することで、照明光学系または投影光学系の瞳面、またはこの瞳面と共役な位置における露光光ＥＬの強度分布を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電駆動式光学素子において、投影画像面積を拡大することを目的とする。
【解決手段】光学反射素子において、支持枠１と、この支持枠１の内側の対向する部分にそれぞれの外端が支持された一対の第一のミアンダ形状梁２と、この第一のミアンダ形状梁２のそれぞれの内端で支持した一対の音叉型振動子３と、この音叉型振動子３の振動中心をそれぞれの外端で支持した一対の第二のミアンダ形状梁４と、この第二のミアンダ形状梁４のそれぞれの内端で支持したミラー部５とを備え、前記第二のミアンダ形状梁４は、前記ミラー部５の中心と前記音叉型振動子３の振動中心とを結ぶ中心軸Ｘに直交する一方側へ湾曲した第一の湾曲部４ａと、前記中心軸Ｘを通過し他方側へ湾曲した第二の湾曲部４ｂとを有し、前記第一の湾曲部４ａ及び前記第二の湾曲部４ｂから前記中心軸Ｘまでの距離をそれぞれ異ならせたことを特徴とする。 （もっと読む）

特にＥＵＶリソグラフィ装置用の応力低減型反射光学素子を構成する軟Ｘ線及び極端紫外線波長域内の作業波長用の反射光学素子であり、前記反射光学素子は、基板（２）上に前記作業波長で屈折率の異なる実数部を有する少なくとも２つの交互材料（４１，４２）からなる第１の多層膜系（４）を備え、該多層膜系が前記基板（２）に層応力を及ぼし、前記基板（２）上に周期的に交互の少なくとも２つの材料（６１，６２）からなる第２の多層膜系（６）を備え、該多層膜系が前記第１の多層膜系（４）と前記基板（２）との間に配置され、前記基板（２）に反対方向の層応力を及ぼし、前記第２の多層膜系（６）の前記少なくとも２つの材料の第１の材料（６１）が、前記第２の多層膜系（６）の少なくとも１つの他の材料（６２）の１ｎｍまでの厚さの層によって、前記第１の材料（６１）がアモルファス状態で存在するような間隔で遮断されている。第２の実施例では、前記第２の多層膜系（６）の一つの材料はニッケル又はニッケル合金である。
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【課題】第１電極上にパーティクル（異物）や突起部が存在したとしても、第１電極と第２電極との間で短絡が生じることがない構成、構造を有し、しかも、駆動電圧の低下を図り得る発光素子を提供する。
【解決手段】発光素子は、第１電極２１、有機発光材料から成る発光層を備えた有機層２３、半透過・反射膜４０、抵抗層５０、及び、第２電極２２が、順次、積層されて成り、第１電極２１は発光層からの光を反射し、第２電極２２は発光層からの光を透過し、半透過・反射膜４０は、有機層側から、第１半透過・反射膜４１及び第２半透過・反射膜４２の積層構造から成り、有機層上における半透過・反射膜４０の平均膜厚は、１ｎｍ乃至６ｎｍである。 （もっと読む）

【課題】 入射光束の強度分布に依存することなく、所望の強度分布を有する光束を複数の空間光変調器へ導くことのできる光束分割装置。
【解決手段】 光束分割装置は、入射光束を２つの光束に分割し、第１光束を第１光路に沿って導き且つ第２光束を第２光路に沿って導くために、所定面内に配列されて個別に制御される複数の光学要素（３０ａ）と、該複数の光学要素を駆動する駆動部（３０ｃ）とを有し、制御部（ＣＲ）からの制御信号に基づいて駆動部を駆動させる分割用空間光変調器（３０）を備えている。分割用空間光変調器は、複数の光学要素のうちの第１群の光学要素を経た光が第１光路に沿って導かれ、且つ複数の光学要素のうちの第１群とは異なる第２群の光学要素を経た光が第２光路に沿って導かれるように、制御部によって制御される。 （もっと読む）

【課題】 各々、赤、緑及び青の光を反射する積層反射フィルムを得、更に、これらの積層反射フィルムを積層することにより、任意の色を反射する多層光学フィルムを得ること。
【解決手段】 （１）２種の超薄膜層、即ち第１基層と第２基層が交互に１００〜５００層積層されており且つその両端面には超薄膜層より厚いスキン層を有する積層反射フィルムであって、第１基層はアクリル系樹脂からなり、第２基層は、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート弾性体及び／又はポリエチレンテレフタレートとポリエチレングリコールとのブロック共重合体及び線状低密度ポリエチレンのポリマーブレンドからなり、縦方向及び横方向への延伸工程を経て製造されたものである、赤色の積層反射フィルム、緑色の積層反射フィルム及び青色の積層反射フィルム、及び（２）これらの積層反射フィルム中の少なくとも２種を積層してなる多層光学フィルムである。 （もっと読む）

【課題】 発光素子の光を効率よく反射し、かつ取付容易で、ホコリなどが溜まらず、さらに発光素子を損傷したり人が感電したりするおそれのない反射板、この反射板を備える面状光源およびこの面状光源を備える看板を提供する。
【解決手段】 反射板Ｒは、矩形の底面１１と、外側に傾斜する側壁１２からなり、前記底面１１および前記側壁１２に貫通孔１３が形成されたトレイ１を有し、該トレイ１が上下および左右に複数個並んでおり、すべてのトレイ１が樹脂により一体に形成されている。そして面状光源Ｓは、基板２と、該基板２上に設けられた発光素子２１とを有し、前記基板１に反射板Ｒが取り付けられており、前記貫通孔１３に前記発光素子２１が挿入されている。 （もっと読む）

【課題】バックライトを使用しないデフォルト状態で目視可能な意匠パターンを有するとともに、その意匠パターンがバックライトで浮かび上がる意匠パターンの目視の妨げにならないような光学構造体及び光学表示装置を提供すること。
【解決手段】光学フィルムの複数の薄膜層を第１の意匠パターンを中抜きしたマスク層２６ａ，２６ｂと、マスク層２６ａ，２６ｂの上層に配置され外光によって前記マスク層の第１の意匠パターンが透視できない程度の濃度となる吸収率を備えるとともにマスク層２６ａ，２６ｂの中抜き部分を通過してその背後から照射される照射光を透過させる所定の透過率を備えた遮蔽層２４と、遮蔽層２４の上層に配置され外光を反射させる所定の反射率を備えるとともに前記照射光を透過させる透過率を備えた第２の意匠パターンを中抜きした反射層２３とから構成し、反射層における透過率を反射率よりも大きく設定した。 （もっと読む）

【課題】照明光学系のミラーに直接触れることなくミラーが交換可能なミラー着脱装置を提供する。
【解決手段】平面ミラー４に取り付けられた複数の支持部６を支持機構７を介して筐体９に固定し、支持機構７によりそのミラー曲率を調整するミラー曲率調整機構５の平面ミラー４を着脱するミラー着脱装置１であって、平面ミラー４の表面部を覆う表部材２と、平面ミラー４の裏面部を覆う裏部材３とで形成され、表面部材２及び裏部材３により平面ミラー４を覆った状態で支持機構７に対して着脱可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】可視光の反射率がきわめて高く、耐熱性や寸法安定性等にも優れたＬＥＤ照明、有機エレクトロルミネッセンス照明、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ等に用いることができる反射板を提供する。
【解決手段】ガラス繊維の基材に透明樹脂が保持されている透明フィルムの背面に金属層を有し、４００〜７８０ｎｍの可視光領域における反射率が９５％以上であることを特徴とする。 （もっと読む）