【課題】ミラーからの反射光ががセンサーから外れても、再び反射光をセンサーに向けることができるヘリオスタットシステムを提供する。
【解決手段】探知手段１４によりミラー５で反射された太陽光Ｌの範囲を移動させて、空中におけるセンサー８の位置を探し出すことができる。探知手段１４は空中を隙間なく走査するため、センサー８の位置を確実に探し出すことができ、センサー８による受光状態を確実に復帰させることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板の高剛性化と軽量化を同時に実現できる電磁型マイクロミラー装置を提供する。
【解決手段】電磁型マイクロミラー装置１は、ミラー基板２と、ミラー基板２を往復振動させるための駆動手段とを備えている。ミラー基板２の表面２ａには、光ビームを反射するためのミラーが形成されている。ミラー基板２の裏面２ｂには、構造補強材１０が形成されている。この構造補強材１０は三次元規則配列多孔体から構成され、構造補強材１０中には磁性材料が含まれている。 （もっと読む）

【課題】大面積のミラー素子を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれ複数の板ばねＳＥＬを用いて傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを、反射面ＳＥＡの裏面側で同一直線上にない３以上の複数点でベース部材ＳＶｂに接近する方向に駆動する複数の電磁石ＳＣｋとから、空間光変調器が構成されている。 （もっと読む）

【課題】稠密に配列された大面積のミラー素子を有する空間光変調器を構成する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれの反射面ＳＥＡ内の頂点ＳＥｐを中心に傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを反射面ＳＥＡの裏面上で頂点ＳＥｐを含んで同一直線上にない複数の位置にて反射面ＳＥＡに対する垂直方向に駆動する複数のボイスコイルモータＳＶｋとから、空間光変調器が構成される。 （もっと読む）

【課題】被駆動部材となる可動部とそれを駆動する駆動部とを備えて成るアクチュエータをＰＬＬ回路で駆動し、機械共振駆動を行わせる駆動装置において、短時間でかつ確実な位相引き込み動作を可能にし、さらに回路規模の増大やコストアップを抑える。
【解決手段】ＰＬＬ回路のループフィルタ部１４ａを、位相比較器１３の位相比較信号Ｖｐｄを平滑化してＶＣＯ１１へ制御電圧Ｖｃとして与えるＬＰＦとしての機能を実現する積分回路２１に、基準電圧源２２とリセット手段としての短絡スイッチ２３とを設ける。したがって、前記制御電圧Ｖｃは、積分動作に伴い、基準電圧Ｖｒｅｆから共振周波数の目標電圧付近に滑らかに移行するので、オーバーシュートやリンギングの発生がなく、短時間でかつ確実な位相引き込み動作（位相ロックイン）を行うことができる。また、ＰＬＬループの外部に、制御信号を掃引するための特別な構成を設ける必要もない。 （もっと読む）

【課題】伝達部と固定台の接合強度を向上させて、駆動部で生成された振動が減衰すること無く、不良品の発生を低減させることができる光走査装置及び光走査装置の製造方を提供する。
【解決手段】ミラー１２、梁部１３、伝達部１４、被固定部１５が形成された基板１０を、その被固定部１５上の複数の溶接点１５ａをレーザー溶接により、固定台２０に接合させる。被固定部１５と固定台２０を、被固定部１５の中心、被固定部１５の一端、被固定部１５の他端の順に溶接することが、水平方向に関し、伝達部１４の固定台２０に対する傾きを防止することができることで好ましい。 （もっと読む）

【課題】空間の仕切り面に自在に配置される反射部材に照明器具からの光を反射して配光する反射照明システムにおいて、配光方向を可変でき、かつ、配光用スペースを小さくして反射範囲及び配光方向を広く調整できるようにする。
【解決手段】本照明システムは、天井面１０１の任意の位置に配置自在である反射部材１と、側壁面１０３に配置され反射部材１に光を照射する照明器具２とを有する。反射部材１は照明器具２からの光を反射する反射面を有する複数の反射片と、各反射片をそれぞれ回転自在とする回転軸とを有し、各反射片は回転軸が互いに平行に、かつ、各反射面と天井面１０１との成す角が相互に同じに配置される。従って、各反射片を回転して反射光を所望の方向に配光でき、かつ、複数の反射片により配光方向を調整するので、１枚の反射片を用いる場合に比し配光用スペースを小さくして反射範囲及び配光方向を広く調整することができる。 （もっと読む）

【課題】 ヘッドアップディスプレイ等の表示装置に用いられるミラーユニットに関し、コスト低減を実現し得るミラーユニットを提供する。
【解決手段】 樹脂からなる基板４３の前面部４４に反射膜４４ａが形成された反射ミラー４１と、この反射ミラー４１を回転軸線ＲＡを中心として回転駆動させ、反射ミラー４１の傾斜角度を調整する駆動手段４２とを有するミラーユニット４０において、基板４３の側面部４６には、反射ミラー４１を所定の取付部材であるハウジング５０に取り付けるための取付部４７が形成されてなる。 （もっと読む）

本発明は、リサジュー図形を観察フィールドへ投射する投射装置用の偏向システムに関する。偏光ユニットは、リサジュー図形を生じさせるために、少なくとも第１及び第２の偏向軸について光線を偏向させるように設計され、また、偏向軸に関する振動を生じさせるための偏向ユニットと、おおむね偏向ユニットの共振周波数に相当する、第１及び第２の作動周波数を有する、偏向ユニットのための作動信号を発生させる制御装置とを備え、前記偏向ユニットは、３．０００未満のＱ値を有し、前記制御装置は、振動の最大振幅が偏向ユニットの共振範囲内に留まるように、偏向ユニットの振動の測定された位相位置に応じて第１及び／又は第２の制御周波数を制御するように設計された、制御回路を備える。本発明は更に、このような偏向システムを備えた投射装置及び相当する偏向システムを作動させる方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、各々が少なくとも１つの反射面（５）を有する複数の反射ファセット要素（１）を含むＥＵＶマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明光学ユニットに使用するための光学要素に関する。この場合、少なくとも１つのファセット要素（１）は、このファセット要素（１）の少なくとも１つの反射面（５）と交わる回転軸（９）の回りに回転可能な方式で配置される。そのような光学要素を使用すると、照明光学ユニット内の照明放射線の少なくとも一部の方向及び／又は強度を簡単な方式で変更することができる。 （もっと読む）

【課題】光学部材の光学特性を精度よく調整することができる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に対して当接する当接部材７０と、当接部材７０に連結され、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて変位する変位部材６５と、アクチュエータ６１からの駆動力に基づき変位する連結部材５７，６３を有し、該連結部材５７，６３の変位量を拡大して変位部材６５に伝達する変位拡大機構７３と、当接部材７０と変位部材６５との間に設けられ、変位拡大機構７３から伝達される変位部材６５の変位量を縮小して当接部材７０に伝達するコイルスプリング６９と、変位部材６５の変位量を計測する変位センサ６７と、変位センサ６７の計測結果に基づき、変位部材６５の変位量を制御する制御機構６８とを備える。 （もっと読む）

【課題】照明光学系のミラーに直接触れることなくミラーが交換可能なミラー着脱装置を提供する。
【解決手段】平面ミラー４に取り付けられた複数の支持部６を支持機構７を介して筐体９に固定し、支持機構７によりそのミラー曲率を調整するミラー曲率調整機構５の平面ミラー４を着脱するミラー着脱装置１であって、平面ミラー４の表面部を覆う表部材２と、平面ミラー４の裏面部を覆う裏部材３とで形成され、表面部材２及び裏部材３により平面ミラー４を覆った状態で支持機構７に対して着脱可能に形成されている。 （もっと読む）

反射屈折投影対物系は、複数のレンズ及び少なくとも１つの凹ミラー（ＣＭ）を有し、更に、物体視野から凹ミラーに延びる部分ビーム経路を凹ミラーから像視野に延びる部分ビーム経路から分離するための２つの偏向ミラー（ＦＭ１，ＦＭ２）を有する。偏向ミラーは、第１の方向（ｘ方向）と平行に延びる傾斜軸の回りに投影対物系の光軸（ＯＡ）に対して傾斜される。第１の偏向ミラーは、第１の視野平面に対して光学近接に配置され、第２の偏向ミラーは、第１の視野平面に対して光学的に共役な第２の視野平面に対して光学近接に配置される。これらの視野平面の間に配置された光学結像系は、第１の方向に−１に近い結像スケールを有する。第１の位置と第１の位置に対して変位距離だけオフセットされた第２の位置との間の第１の方向と平行な偏向ミラー（ＦＭ１，ＦＭ２）の同期変位のための変位デバイス（ＤＩＳＸ）が設けられる。投影対物系を通じて進む投影放射線ビームは、偏向ミラーの第１の位置において第１の反射領域内で反射され、偏向ミラーの第２の位置において、第１の方向と平行に第１の反射領域に関して上述の変位距離だけ横にオフセットされた第２の反射領域内で反射される。偏向ミラーは、第１の反射領域と第２の反射領域とで異なる局所反射特性分布を有する。それによって視野効果、例えば、視野均一性の能動的操作又は波面の能動的操作が可能になる。 （もっと読む）

【解決手段】
可動反射要素１１０と、関連づけられたアクチュエータ１０９とを備える光学装置が開示される。アクチュエータは第１磁石１１３と第２磁石１１４とを備える。第１磁石１１３は、その第１磁石が動くことにより可動反射要素が動くよう可動反射要素に接続される。第２磁石１１４は、モータ１１６の動作によりその第２磁石が動くようモータに接続される。第２磁石は、その第２磁石が動くことにより第１磁石が動くよう第１磁石に対して配置される。 （もっと読む）

【課題】減圧封止環境下で好適に使用可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１００は、可動ミラー１１２を有するマイクロミラーチップ１１０と、マイクロミラーチップ１１０に対向して配置される電極基板１３０と、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０との間に配置されてマイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とを接合するハンダバンプ１５０とを有している。マイクロミラーチップ１１０はまた４つの薄膜永久磁石１２４を有している。電極基板１３０はまたシート状永久磁石１３８を有している。シート状永久磁石１３８と薄膜永久磁石１２４は互いに引き合うことにより、マイクロミラーチップ１１０と電極基板１３０とハンダバンプ１５０が相互に密着される。 （もっと読む）

【課題】自由空間伝搬を用いた光通信装置の入力部または出力部に用いて通信光の光軸合わせを高い周波数応答性で行なうことができる可動鏡機構を提供する。
【解決手段】保持基板２６に固定された反射鏡２７と、保持基板２６を動かして、その法線方向の方位を調整するアクチュエータ２３と、上記保持基板と枢結し、上記アクチュエータと上記保持基板を連接させるための引っ張り手段２２と、引っ張り手段２２とアクチュエータ２３とを持設する支持基板２１と、上記アクチュエータを制御する制御器と、を備えるものである。上記引っ張り手段と上記保持基板とを、円環状の板ばね等の回転対称性を有する板バネ、圧縮バネあるいは引っ張りバネなどで枢結してもよい。上記の制御器は、保持基板２６と引っ張り手段２２とを枢結する部分が不動点であるように上記アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた固定電極と可動ミラーに設けられた可動電極とが可動ミラーの揺動軸と電極面が垂直となっている光学装置において、固定電極と可動電極の電極面を大きくすることと、可動ミラーのミラーサイズを大きくすることとを両立させる。
【解決手段】可動ミラーの下方に、可動ミラーが揺動する揺動軸と電極面が垂直となるように固定電極と可動電極を設置する。可動電極は可動ミラーの下面から下方に延びており、固定電極は基板から可動電極に向けて延びている。可動電極と固定電極が可動ミラーの下方に設けられるため、可動電極を設ける領域を可動ミラーの表面に確保する必要がない。材料基板の面積に対してミラー面積を大きく取ることができ、開口率を大きくすることができる。固定電極と可動電極は、可動ミラーの揺動角の検出装置や、静電駆動式アクチュエータとして利用できる。 （もっと読む）

【課題】従来の反射ミラー駆動機構は、コイル磁石から発生される磁力の向き及び大きさを制御して反射ミラーの角度を決定してレーザ光線を走査させるので、より確実に反射ミラーを回転揺動させるためにヒンジの反発力よりも大きな駆動力が必要となり、消費電力が大きくなっている。
【解決手段】本発明による反射ミラー駆動機構では、反射ミラー３０は、フレクチャヒンジ体２０を介して枠体１０に取付けられている。フレクチャヒンジ体２０には、トルカ４０と角度検出器５０とが設けられており、駆動制御部６０は、角度検出器５０からの角度信号５０ａに基づいてとるか４０への入力電流６０９ａを制御して、反射ミラー３０を共振周波数ｆ_０で回転揺動させる。 （もっと読む）

【課題】光学的作用を生じさせるレンズ等の光学部品を不要とすることにより、光学系の構成を簡素化し、コストダウンを図ることができるマイクロミラー素子を提供する。
【解決手段】可動板１０のベースとなる基板層１５の外面側に、中間層１６が蒸着により形成され、中間層１６の外面側に、ミラー層１７が蒸着により形成される。基板層１５及びミラー層１７とは異なる熱膨張係数の材料から成る中間層１６によって、可動板１０を凹状又は凸状に変形させて、可動板１０のミラー面１２を光学的に凸面状又は凹面状に形成する。 （もっと読む）

【課題】電子写真画像形成装置において、高速化が進み、感光体を複数有するタンデム対応の画像形成装置が普及してきているが、タンデム方式の場合、光源数が増えてしまい、それに伴い、部品点数の増加、複数光源間の波長差に起因する色ずれ、コストアップが生じてしまう。光源数が多くなると、故障の確率が増え、リサイクル性が劣化する。
【解決手段】光源１の出射光束を光束分割手段４で２本に分け、互いに角度をずらして重ねた２枚のポリゴンミラーを同軸で回転させる偏向手段７の上下段のポリゴンミラーにそれぞれ入射させる。偏向手段７によって相異なるタイミングで偏向走査された各光束は、それぞれ所定の光学系である第１走査レンズ、ミラー、第２走査レンズを経て個別の感光体１１に到り主走査を行う。 （もっと読む）