【課題】簡略な構成により入射光束と走査光束とを光走査装置を中心にしてほぼ対称に位置させるとともに、光学補正部を構成することにより、光走査装置を組み込む装置の設計自由度を拡大させる。
【解決手段】反射面を有する振動ミラー部２と、振動ミラー部２を保持する枠部３とを備え、入射光束１３を前記反射面により反射して走査光束１４に変換する光走査装置１において、第１の反射面１０と第２の反射面１１とが略Ｖ字形状の傾斜面に配置された反射部６を更に備え、第１の反射面は、入射窓１２０から入射した入射光を反射して振動ミラー部２に出射し、第２の反射面１１は、前記振動ミラー部２の揺動により走査された反射光を反射して出射窓１２１から走査光束１４として出射するとともに、入射窓と出射窓との間に光学補正用の補正部が挿入されている光走査装置。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの振幅の微調整が可能な光走査装置、印刷装置及び振動ミラーの振幅調整方法を提供する。
【解決手段】光走査装置１６は、一対の電極６１，６２及びミラー振動子６０を有し、光ビームＬを偏向する振動ミラー１９と、一対の電極６１，６２間に波状の駆動信号Ｓ１を印加し、当該駆動信号Ｓ１に応じた静電力によってミラー振動子６０を振動させる駆動手段７０と、駆動信号Ｓ１のデューティ比Ｄ及び信号振幅Ａのうち少なくともいずれか一方を変更することで、振動ミラー１９の振幅Ｗを調整する調整手段７２，７７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】振動系の可動子の揺動に起因する振動系周囲の流体の流れによる抵抗の変動によって、振動系の運動が不安定になるのを防止することができる揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、振動系101、102と、振動系を駆動する駆動手段と、少なくとも1つの整流構造体104とを有する。振動系は、ねじりバネ102とねじり軸1001回りに揺動する可動子101を含む。整流構造体104は、ねじり軸1001方向に貫通した複数の気体流路を有する。振動系101、102と整流構造体104は、ねじり軸1001方向に配列されている。 （もっと読む）

【課題】プレーナ型電磁アクチュエータにおいて、可動部の揺動動作に伴って可動部端縁部近傍に発生する渦に起因する可動部動作方向と反対方向のモーメントを低減して可動部の揺動動作の安定化を図る。
【解決手段】固定部２に一対のトーションバー３，３を介して揺動可能に軸支した可動部４を、電磁力により駆動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、可動部４のトーションバー３，３の軸方向と平行な両端縁部４ａを凹凸形状に形成する。これにより、可動部の両端縁部近傍に生じる渦を細かく分散し、モーメントを低減する。 （もっと読む）

【課題】大きな偏向角および大振幅動作が得られ、また、小型化、薄型化、および軽量化を図ることができる光偏向器を提供すること。
【解決手段】反射板１を弾性支持部２ａ，２ｂを中心に回転振動させる圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄを備えた光偏向器であって、圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄの振動板２３ａ〜２３ｄの両端の一方を弾性支持部２ａ，２ｂに接続するとともに、両端のもう一方を支持体９に接続し、振動板２３ａ〜２３ｄ、反射板１、弾性支持部２ａ，２ｂ、支持体９を一体に形成し、圧電ユニモルフ振動体２１０ａ〜２１０ｄが、それぞれ複数の並列振動板２３ａ−１〜３，２３ｂ−１〜３，２３ｃ−１〜３，２３ｄ−１〜３および並列アクチュエータ２８ａ−１〜３，２８ｂ−１〜３，２８ｃ−１〜３，２８ｄ−１〜３を備えていることを特徴とする光偏向器とした。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および省電力化を図りつつ、光の振れ角を大きくすることができる光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、光反射性を有する第１の光反射面２２１を備えた可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持する１対の軸部材２３、２４と、各軸部材２３、２４の捩れ変形を伴って可動板２２を回動させる駆動手段（圧電素子３１〜３４）と、記第１の光反射面２２１で反射した光を反射するように光反射性を有する第２の光反射面５３１を備えた光反射手段（基板５３）とを有し、第２の光反射面５３１は、第２の光反射面５３１で反射した光の最大振れ角が可動板２２の最大振れ角よりも大きくなるような凹面で構成され、光を第１の光反射面２２１、第２の光反射面５３１の順で反射させた後に出射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成により入射光束と走査光束とを光走査装置を中心にしてほぼ対称に位置させることにより、光走査装置を組み込む装置の設計自由度を拡大させる。
【解決手段】反射面を有する振動ミラー部２と、振動ミラー部２を保持する枠部３とを備え、入射光束１３を前記反射面により反射して走査光束１４に変換する光走査装置１において、第１の反射面１０と第２の反射面１１とが略Ｖ字形状の傾斜面に配置された反射部６を更に備え、第１の反射面１０は、入射光束１３を反射して振動ミラー部２に出射し、第２の反射面１１は、前記振動ミラー部２から反射された反射光を入射して走査光束１４として出射する光走査装置。 （もっと読む）

【課題】光偏向器などの揺動体装置において、小型化が容易である構成を有する揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、第1の揺動体102と、第2の揺動体101と、支持体104と、コイル106、107と、コイルに電流信号を印加する電流印加手段と、コイルに磁場を作用させる磁場発生手段110を有する。第2の揺動体101は、第1の揺動体102を第1のトーションスプリング103により第1の回転軸の回りにねじり回転可能に支持する。支持体104は、第2の揺動体101を第2のトーションスプリング105により第1の揺動体の第1の回転軸と角度を成す第2の回転軸の回りにねじり回転可能に支持する。コイル106、107は、第2の揺動体101上に配置される。コイル106、107は、第1の揺動体102を周回せず、且つ第1及び第2の回転軸の延長線により4分割された第2の揺動体101の領域の少なくとも1つに局在して設けられる。 （もっと読む）

【課題】 共振型の光偏向器の偏向面の動的な撓みによる波面収差の劣化を低減することができる小型の光走査装置及びそれを用いた画像形成装置を得ること。
【解決手段】 光源手段１から出射した光束を集光する集光光学系ＬＡと、該集光光学系から出射した光束を偏向走査する偏向手段５と、偏向手段で偏向走査された光束を被走査面８上に集光する結像光学系ＬＢとを有し、偏向手段は往復運動し、光束を反射偏向する偏向面５０１を有し、偏向面には往復運動するとき副走査方向に非対称な変形を生じるような角加速度が加えられており、集光光学系は、光源手段から出射した光束を副走査方向において、偏向面内であって、副走査方向の中心線に対し、偏向面の副走査方向の非対称な変形のうち、変形量が小さい側の領域内に集光させていること。 （もっと読む）

【課題】固定部材に取り付ける際、その取り付け姿勢を精度良く確実に確立することができる振動素子、振動素子を備える装置を提供することである。
【解決手段】振動素子は、振動体101と、振動体101を可動に支持する弾性支持部102と、弾性支持部102を支持する第一支持枠103と、間隔を隔てて弾性支持部102に沿って延在して第一支持枠103より伸びる第二支持枠104を有する。第二支持枠104は、第一支持枠103に対して片持梁形状で設けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被走査面上における静止ゴースト像の発生を抑制することができる光走査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光走査装置は、レーザダイオードと、光を平行な光束にするカップリングレンズと、回転振動する振動ミラー１５ａと、振動ミラー１５ａを支持し、振動ミラー１５ａよりも大きな開口１５ｅを有するミラー支持体１５ｂと、カップリングレンズと振動ミラー１５ａとの間に配置された絞り部材１３と、絞り部材１３と振動ミラー１５ａとの間に配置される遮光壁１４とを備える。そして、遮光壁１４の開口１４ａの光軸に直交する任意の方向の幅、例えば横幅Ｗは、横幅Ｗに対応する絞り部材１３の開口１３ａの幅をａ、横幅Ｗに対応するミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの幅をｂとしたとき、ａ＜Ｗ＜ｂを満たすように設定される。 （もっと読む）

【課題】小型化および省電力化を図りつつ、大きな回動角を有するアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、質量部２１と、支持部２３１、２３２と、固定平板電極３と、可動平板電極２２と、支持部２３１、２３２と質量部２１とを連結する１対の第１の連結部２４１、２４２と、質量部２１と可動平板電極２２とを連結する１対の第２の連結部２５１、２５２とを有し、固定平板電極３と可動平板電極２２との間に電圧を印加し、固定平板電極３と可動平板電極２２との間に静電力を発生させることで、可動平板電極２２と固定平板電極３とを略平行に保ちつつ、可動平板電極２２をその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、第１の連結部２４１、２４２および第２の連結部２５１、２５２のそれぞれを変形させつつ質量部２１を回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】製造の容易化を図りつつ、所望の振動特性を発揮することのできるアクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の連結部２３、２４と、可動板２１の厚さ方向に伸縮する圧電素子５１〜５４とを有し、通電により圧電素子５１〜５４を伸縮させることで、連結部２３、２４を捩れ変形させて可動板２１を回動させるように構成されており、連結部２４には、回動中心軸Ｘから離間した位置に圧電素子５１の伸縮により発生する駆動力を連結部２３に伝達するための伝達点を構成する突起６１が形成され、突起６１が圧電素子５１の伸縮方向での一端と接触している。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の出射位置をライン走査の先頭位置に戻す戻し走査のためにレンズあるいは反射ミラーの変位動作を必要とするため、この戻し走査の期間がレーザ光により目標領域を走査する際の高速化の阻害要因となる。
【解決手段】走査光学部品の走査ミラー６を円筒曲面状の凹面６ａ（あるいは６ｃ）及び凸面６ｂが交互に積層される形態としており、走査ミラー６により反射されるレーザ光の向きを１ラインを走査するライン走査方向及びこのライン走査方向と略直交する方向に変位させるべく前記走査ミラーを互いに直交する２軸方向に駆動されるようにすることで前記凹面及び凸面を交互に順次レーザ光によりトレースするようにしている。これにより１ライン走査が完了した時点でライン走査方向における走査ミラー６の変位位置がライン走査の先頭位置に対応するレーザ光の出射位置になるようにしている。 （もっと読む）

【課題】省電力化を図りつつ、梁を大きく曲げ変形させることができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、長手形状をなす梁２３２１と、梁２３２１に接合された圧電素子４１１〜４１４とを有し、圧電素子４１１〜４１４に通電して圧電素子４１１〜４１４を伸縮させることにより、梁２３２１を曲げ変形させるように構成され、圧電素子４１１〜４１４のそれぞれについて、その圧電素子の伸縮方向に間隔を隔てて設けられ、その圧電素子と梁２３２１とを接合する１対の接合部５１１、５１２と、圧電素子４１１〜４１４のそれぞれについて、１対の接合部５１１、５１２の間でかつその圧電素子と梁２３２１との間に形成された空間部５１３とを有している。 （もっと読む）

【課題】ねじり振動による共振振動によってミラー部を揺動状態にて共振振動させて光を走査する光走査素子であり、かつ、ねじり振動の共振周波数の低域側と高域側とに、縦振動又は横振動の副次的な共振振動が発生する第１共振周波数と第２共振周波数がある光走査素子において、副次的な共振振動によって損傷することを防止する。
【解決手段】光走査素子を振動させる駆動信号の周波数を第１共振周波数と第２共振周波数との間の周波数であって、ねじり振動の共振周波数よりも高い特定周波数に設定して駆動信号の出力を開始し、その後駆動信号の出力が開始された後、出力している駆動信号の周波数をねじり振動の共振周波数に移行させるようにした。 （もっと読む）

【課題】長時間にわたって連続的に使用される場合であっても、安定した駆動を維持することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるアクチュエータ１は、質量部２１と支持部２２と質量部２１を片持ち支持するように、支持部２２に対して質量部２１を回動可能に連結する連結部２４と質量部２１を回動させるための圧電素子４１、５１を備えた１対の駆動源４、５とを有し、１対の駆動源４、５は、回動中心軸Ｘを介して互いに離間して設けられ、各駆動源４、５は、連結部２４または支持部２２に対して摺動可能に設けられ、１対の圧電素子４１、５１を互いに逆位相で伸縮させることにより、連結部２４の少なくとも一部を捩れ変形させつつ質量部２１を回動させるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】２軸静電型のチルトミラー素子において、容易に作製可能にして製造時の良品率を向上させる。
【解決手段】素子１は、酸化膜１２０を介し第１のシリコン層１００ａと第２のシリコン層１００ｂとが接合されて成るＳＯＩ基板１００から構成されている。素子１は、ミラー部２と、ミラー部２を第１のヒンジ５を介し支持する可動フレーム３と、可動フレーム３を第２のヒンジ６を介し支持する固定フレーム４と、ミラー部２及び可動フレーム３間、可動フレーム３及び固定フレーム４間にそれぞれ配された第１の櫛歯電極７及び第２の櫛歯電極８とを有している。第１の櫛歯電極７は第２のシリコン層１００ｂに形成され、第１のヒンジ５は第１のシリコン層１００ａに形成されている。ミラー部２の２つのシリコン層１００ａ，１００ｂは互いにコンタクトホール９を介し電気的に接続されている。一対の櫛歯電極を同時に形成できるので容易に作製可能である。 （もっと読む）

【課題】入射する光束径が反射部より大きい場合や反射部と入射光束とに位置ずれがある場合でに、反射部の背後の部材による不要な反射を回避する。
【解決手段】光偏向器１０１は、基板部１０３と、該基板部に対して揺動可能な反射部１０２と、該偏光器への入射光束のうち、反射部に向かって入射して該反射部で反射されて射出する光束を通過させるための開口１０７が形成され、入射光束のうち該開口に入射する光束以外の光束の少なくとも一部を遮る絞り部１０６とを有する。絞り部の開口縁３０１のうち少なくとも一部を、該絞り部において入射光束が入射してくる前面１０６ａ側から反射部側に向かって開口幅を狭める形状とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、低速駆動を行うことのできるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４と、質量部２１を支持部２４に対し回動可能とするように質量部２１と支持部２４とを連結する１対の連結部（弾性部）２２、２３と、質量部２１を回動駆動させるための駆動手段４とを有し、駆動手段４を作動させることにより、連結部（弾性部）２２、２３を捩れ変形させながら、質量部２１を回動させるように構成されたアクチュエータ１であって、弾性部２２、２３は、それぞれ、長手形状をなし、その長手方向での少なくとも一部が、樹脂材料を主材料として構成された樹脂部であることを特徴とする。 （もっと読む）