【課題】走査精度の低下を招くことなく、小型化と低価格化を図ることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】 光源ユニットは、光源及びカップリングレンズを有し、それらはホルダ１０に取り付けられている。このホルダ１０は、光源支持部材１１、第１傾斜部材、第２傾斜部材、及びレンズ保持部材１４を有している。第１傾斜部材は、２つの部材（１２_１、１２_２）が基準面上に貫通孔を挟んで第１の方向に並んで配置され、表面が基準面に対して傾斜角θａで傾斜している。第２傾斜部材は、２つの部材（１３_１、１３_２）が基準面上に貫通孔を挟んで第１の方向に直交する第２の方向に並んで配置され、表面が基準面に対して傾斜角θｂで傾斜している。 （もっと読む）

【課題】ミラーを高精度に駆動でき、高精細の画像を表示できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】ミラー２１０は、ホルダ２５０とカバー２５１により気密状態に保持されているので、空気抵抗が大きく、ミラー面積が大きいことも相まって、リンギングを抑制して精度良い低周波の非共振駆動を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】揺動体が固定されるトーションバーの真直度が悪いと、揺動体を効率よく揺動させることができない。
【解決手段】一端がベース２０に固定されたトーションバー２３と、ベース２０から突出するトーションバー２３の一端から離れてトーションバー２３に固定された光反射面２１を有する揺動体２２と、この揺動体２２をトーションバー２３の長手方向軸線Ａを中心として揺動させる素子駆動部１８とを備えた本発明による振動素子１７は、ベース２０に対するトーションバー２３の一端の取り付け中心Ｏを通り、かつトーションバー２３の長手方向に沿って一直線に延在する理想揺動軸線ＡRと揺動体の重心Ｇとを含む仮想平面に対して揺動体２２の光反射面２１が直交状態にあり、トーションバー２３および／または揺動体２２に固定される重心位置補正部材２４の重心が仮想平面内にあって揺動体２２の重心Ｇよりも理想揺動軸線ＡR側に位置している。 （もっと読む）

【課題】部品点数の削減や電気配線の簡略化等によって小型化とコストダウンを図ることができる光走査装置を提供することに。
【解決手段】光源であるレーザーダイオード２５と、該レーザーダイオード２５から出射するレーザービームを偏向するＭＥＭＳミラー２６と、該ＭＥＭＳミラー２６によって偏向されたレーザービームを走査面上に等速度で集光させる走査レンズを備えた光走査装置において、前記ＭＥＭＳミラー２６が一体に形成されたＳｉ基板２７上に前記レーザーダイオード２５を組み込み、該レーザーダイオード２５から出射するレーザービームを反射させて前記ＭＥＭＳミラー２６上に線状に結像させる自由曲面ミラー２８を設ける。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、消費電力の増加、偏向角や走査性能の低下を招くことのないマイクロスキャナを提供する。
【解決手段】接続部５が、主軸部３又はアクチュエータ４の少なくとも一方と第１伝達部５３（５４）を介して接続されるトーションバー５１を有するとともに、主軸部３とアクチュエータ４との間に第２伝達部５２で連結される部分を有しているマイクロスキャナＯＳ。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】基台１２に載置した固定部１３に連結された駆動梁４３，５３，６３，７３が変位部４１，５１，６１，７１に接続され、変位部４１，５１，６１，７１に接続した可動梁４２，５２，６２，７２のもう一方の先端に配置された可動部２０１，２０２，２０３，２０４に、光反射部材２０を支持する支持部材２３が固定される。このため、固定部１３と基台１２の固着によって発生する各可動梁及び各駆動梁の歪みを緩和することができ、破損を防止しながら安定的に駆動する光スキャナー１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】小型化と捩じればね定数の調整が可能で、かつ機械強度が従来よりも改善される光偏向器を提供する。
【解決手段】トーションバー部４は、ミラー部３の回転軸Ｃ３方向に延在する複数のトーションバー構成部１２ａ〜１２ｅと回転軸Ｃ３に対して直交する方向に延在する複数のトーションバー構成部１３ａ〜１３ｄとが交互に連接されて回転軸Ｃ３方向に九十九折された形状を有すると共に、支持部２ａとの接続部４ａ及びミラー部３との接続部４ｂが回転軸Ｃ３上とは異なる位置にそれぞれ位置し、かつ接続部４ａから回転軸Ｃ３までの距離Ｌ４ａと、接続部４ｂから回転軸Ｃ３までの距離Ｌ４ｂとが等しくなるように配置されている。複数のトーションバー構成部１２ａ〜１２ｅの合計の長さは、複数のトーションバー構成部１３ａ〜１３ｄの合計の長さよりも長い。 （もっと読む）

【課題】 ミラーマウントの剛性が高く、ミラーを短時間で交換することができるガルバノスキャナを提供すること。
【解決手段】 レーザ光を反射するミラーと一体のミラーマウントをモータの出力軸に固定して、ミラーを揺動動作させるガルバノスキャナにおいて、内径が出力軸４の外径よりも大径で、外周部にテーパ部を備える楔形リング７と、内径が出力軸４の外径よりも大径で、楔形リング７を出力軸４の軸線O方向に付勢するフランジ８（付勢手段）と、を設けると共に、ミラーマウント５に、テーパ角度が楔形リング７のテーパ部と同一の穴５ｂを設けておき、フランジ８、楔形リング７、ミラーマウント５の順で出力軸４に係合させ、この状態で、フランジ８をミラーマウント５に付勢することにより楔形リング７を径方向に変形させ、摩擦力によりミラーマウント５を出力軸４に固定する。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動動作に係る固有振動数を調整するのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ３は、揺動部３１０と、フレーム３２０と、揺動部３１０およびフレーム３２０を連結してフレーム３２０に対する揺動部３１０の揺動動作における揺動軸心Ａ３を規定する連結部３３０と、揺動部３１０について第１揺動方向に回転トルクを発生可能であり、且つ、当該回転トルクの大きさ及び／又は発生期間を制御可能な、第１駆動機構（３４１，３６１）と、揺動部について第１揺動方向とは反対の第２揺動方向に回転トルクを発生可能であり、且つ、当該回転トルクの大きさ及び／又は発生期間を制御可能な、第２駆動機構（３５１，３８１）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光反射面（全反射ミラー）を安定して自在に回動させるための制御が容易である、光スキャナーを提供する。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射面３ａを有する反射板３と、反射板３を支持する支持部材４１と、支持部材４１を介して反射板３を保持する可動部２と、可動部２から光反射面３ａと平行にそれぞれ延出し、中間部分に屈曲部７，８を有する一対の可動梁５，６と、可動梁５，６に直結し可動梁５，６を介して可動部２へ変位を付与する変位部２１，３１を有し、可動梁５，６の延出方向の端部にそれぞれ設けられた第１駆動装置２０，３０と、変位部２１，３１から延出し、光反射面３ａと平行し且つ可動梁５，６の延出方向と直交している一対の駆動梁９，１０と、駆動梁９，１０を固定するための支持枠１５と、可動部２へ、第１駆動装置２０，３０とは異なる変位を、直接付与する第２駆動装置４０と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光走査装置の走査性能を向上することのできる技術を提供する。
【解決手段】プレート部２０が、本体部２３と、本体部２３とミラー部２１を連結するヒンジ部と、本体部２３および前記ヒンジ部を囲む枠部２２とを有している。本体部２３は、枠部２２の片持部により片持ちされている。プレート部２０が、枠部２２で支持されて下ケース部４０に設けられており、上ケース部５０が、枠部２２を押さえて下ケース部４０と組み付けられている。そして、枠部２２と上ケース部５０との間で挟まれる弾性を有するスペーサ６０を備えている。 （もっと読む）

【課題】光走査装置の走査特性を向上することのできる技術を提供する。
【解決手段】枠部２２と、枠部２２で囲まれた開口部２７に一端側を固定して固定端が形成され、他端側に自由端が形成されたプレート本体部２３と、を有するプレート部２０と、自由端を切り欠くように形成された一対のプレート舌部２３ｂの間で、ヒンジ部２５によって揺動可能に軸支されたミラー部２１と、プレート本体部２３に設けられ、プレート本体部２３を撓ませることによってミラー部２１を揺動する振動源２４と、ヒンジ部２５の軸方向に設けられ、プレート舌部２３ｂと枠部２２とを接続する支持梁部２６と、を備えており、支持梁部２６が分岐して枠部２２と接続されている。 （もっと読む）

【課題】照明光の走査に拘わらず、波面変調素子によって付与した所望の波面を精度よくリレーでき、かつ、装置の小型化を図る。
【解決手段】光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、該走査機構９に固定され、光源２から入射された照明光の波面を変調して射出する波面変調部８とを備えるスキャナ４を提供する。また、光源２からの照明光を、その光軸に交差する方向に走査する走査機構９と、光源２と走査機構９との間の光路上に走査機構９との間に間隔を空けて配置され、光源２から入射された照明光の波面を変調して走査機構９に射出する波面変調部８とを備え、該波面変調部８が、該波面変調部８から走査機構９までの光路において波面に発生する変化を相殺する波面を、照明光に付与する波面に加算して付与するスキャナ４を提供する。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】光検出器からの信号に基づいて検出されたサーボ光の受光位置と理想の受光位置との差分に、迷光や電気的ノイズ等による外乱成分が含まれる場合にも、適正に、レーザ光を目標領域において走査させ得るビーム照射装置を提供する。
【解決手段】マイコン７は、ＰＳＤ３１５からの検出信号に基づいて取得されたサーボ光の受光位置と、理想の受光位置との差分を示す差分信号に基づいて、レーザ光が目標領域上の目標軌道を追従するよう、ミラーアクチュエータ１００を制御する。また、マイコン７は、差分信号に外乱成分が含まれるエラー期間を検出し、検出したエラー期間において、差分信号に応じて前記レーザ光を前記目標軌道に追従させる制御を停止させる。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる。
【手段】駆動装置（１００）は、ベース部（１１０）と、回転可能な被駆動部（１３０）と、弾性部（１２０）と、被駆動部及び弾性部により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部を回転させるための微振動をベース部に加える印加部（１４０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動型の光偏向装置の可動部の傾き角を検出する磁気センサの検出信号から、駆動用の電磁石に由来するノイズを除去する。
【解決手段】光偏向装置は、可撓梁によって基板に揺動可能に支持されている可動部と、可動部に固定されているミラーと永久磁石を備えている。可動部の揺動軸に沿う方向を第１方向とし、それに直交する方向を第２、第３方向としたときに、第２方向において永久磁石を挟んで対向している第１磁極と第２磁極とを有している電磁石と、磁気センサを備えている。とともに、第３方向の磁束密度成分を検出する磁気センサは、電磁石に通電したときに発生する磁束の第３方向成分がゼロとなる位置におかれている。 （もっと読む）

【課題】光ビームを周期的に往復走査して像担持体を露光する光走査装置において、主走査書き込みにおける主走査倍率補正をリアルタイムで行えるようにする。
【解決手段】光源２１の発光によって発生する光ビームをマイクロスキャナ２３によって周期的に往復走査して像担持体である感光体ドラム６を露光する。そのマイクロスキャナ２３による光ビームの走査領域中における画像領域外の所定位置で、その光ビームを先端同期センサ４１によって検知する。ＣＬＫ補正回路５３は、先端同期センサ４１によって光ビームを連続して２回検知する時間間隔を予め定めた時間間隔と比較し、その大小関係と差の大きさに応じて、書込クロック生成回路５２が生成する基準の書込クロックＣＬＫ１の周波数を変化させ、レーザ駆動回路５４がその補正された書込クロックＣＬＫ２に同期して、光源２１ｙの発光を画像データに応じて制御することによって、主走査倍率の変動を補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の独立した対象を効率良く走査することができる光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によれば、走査光源から出射する光を２つに分岐する光分岐手段と、分岐した一方の光を偏向するための第１の共振ミラーと分岐した他方の光を偏向するための第２の共振ミラーが並設された光偏向部と、前記第１の共振ミラーを正弦波駆動するための第１の駆動制御部と、前記第２の共振ミラーを正弦波駆動するための第２の駆動制御部と、前記第１の共振ミラーの第１の駆動波形と前記第２の共振ミラーの第２の駆動波形の位相関係を一定に保持するための位相関係フィードバック制御部と含む光走査装置が提供される。 （もっと読む）