【課題】光源アレイを用いた画像表示装置における不要輻射ノイズのレベルを抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】プロジェクター１０は、スクリーン９０の水平方向Ｄ１に対応して複数の光源素子２５０を配列した光源アレイ５０と、光源アレイ５０から放射される放射光をスクリーン９０の垂直方向Ｄ２に走査する走査部６４と、複数の光源素子２５０の各々に駆動電流を供給するタイミングを、少なくとも二つの光源素子の間でずらして制御する発光制御部３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の駆動パターンで駆動可能であり、利便性の高い光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射部２２を有する可動板２と、可動板２を支持する支持部３と、可動板２の両側に設けられ、可動板２と支持部３とを連結する一対の連結部４、５と、可動板２を変位させる変位手段６とを有し、連結部４、５は、支持部３に対して回動可能な駆動部４１、５１と、駆動部４１、５１および可動板２を連結する第１の軸部４２、５２とを有し、第１の軸部４２、５２は、その長手方向の途中で可動板２の厚さ方向へ屈曲可能であり、変位手段６によって駆動部４１、５１を回動させ、当該回動によって第１の軸部４２、５２を屈曲させることにより、可動板２を変位させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板を振動させた際にミラー部を支持する梁部の位置が変わらずに必要な振幅が得られる光走査装置を提供する。
【解決手段】基板１の梁部３が接続された一対の基板舌部８に当該梁部３の接続部近傍であって基板長手方向の軸線Ｍに対して軸対称となる位置に基板舌部８の剛性を低下させる基板剛性低下部９が各々形成されている。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の平面度を改良した光走査装置を提供する。
【解決手段】ミラー部４は、金属基板１上にシリコン基材にミラー面が形成されたシリコンミラー８が弾性接着剤９を介して貼り合わせて形成されている。 （もっと読む）

【課題】周辺部材に振動が伝わることを極力防止可能な可動部を備える光スキャナを得る。
【解決手段】正四角錐状の凹部２０３は、異方性エッチングにより形成される。ウェハ上に正方格子状のマスキングを施し、ＫＯＨ、あるいは水酸化テトラメチルアンモニウムを用いて異方性エッチングを行う。マスキングを施された部位が第１及び第２の突起２４０、２５０における等脚台形の断面において、頂辺を形成する。異方性エッチングは、マスキングされた部位から斜め方向にウェハを腐食させる。腐食により、正四角錐状の凹部２０３の斜面が形成される。等脚台形の長辺と正四角錐の斜面との角度は約５４．７度である。正方格子状のマスキングにおいて、格子どうしの距離は、光反射面２０１と裏面２０２との間の長さが約２から５μｍとなるように決定される。これにより、複数の正四角錐状の凹部２０３が格子状に裏面２０２上に並べられる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を備えた可動部の正確な駆動とミラー部の正確な角度測定が可能なミラーデバイスおよび製造コストの低減したミラーデバイスの製造方法を得ること。
【解決手段】ミラー部１０を備えた可動部３０が回転軸Ａを中心に回転することによって、可動部３０に設けられた第１電極５０の第１の面５１と枠体４０に設けられた第２電極６０の第２の面６１とで形成される容量が変化する。容量は、第１の面５１と第２の面６１との対向する面積で大部分が幾何学的に決まるので、温度変化等の影響を少なくできる。したがって、ミラー部１０を備えた可動部３０の正確な駆動とミラー部１０の正確な角度測定が可能なミラーデバイス１００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】反射部以外での光の反射を防止できる光偏向器を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結された支持部材３０を備え、弾性支持部２２の表面に光吸収膜２３が、支持部材３０の表面に光吸収膜３３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ２つのプレーナ型アクチュエータを適正に設置することができ、保持部材の干渉が生じることがなく、さらに配線の取り回しを容易に行うことのできるプレーナ型プレーナ型アクチュエータの取付けユニットを提供する。
【解決手段】 一次側アクチュエータ支持枠９と二次側アクチュエータ支持枠１０とを備えた取付けフレーム８を、一次側アクチュエータ支持枠９と二次側アクチュエータ支持枠１０とのなす内角が所定の角度に保持されるように一体化した。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】水平駆動ミラーを形成すると共に、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは２つ以上の支持要素を介してフレーム構造（３）に接続し、このフレーム構造に対して水平方向に動作するミラープレート（１）を含むマイクロメカニカルミラー構造であって、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは全ての支持要素（２）とミラープレート（１）との接続領域（４）を、ミラープレートの外側縁（５）からミラープレートの中心（６）の方へと内側にオフセットさせて配置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラー部を支持する捻れ梁部を有する基板に圧電体、磁歪体又は永久磁石体を配置し、基板の板波を利用してミラーに捻れ振動を生じさせることにより、簡単な構造で効率的にミラーに捻れ振動を発生することができる光走査装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の光走査装置は、基板に捻れ梁部を形成し、該捻れ梁部により支持されたミラー部を揺動させてなる光走査装置において、前記基板の一部に圧電体、磁歪体又は永久磁石体を固定あるいは形成し、該圧電体、磁歪体又は永久磁石体に電圧あるいは磁界を印加して基板に誘起される板波を利用して捻れ梁部に支持されたミラー部を励振させることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】目標領域におけるレーザ光の走査位置を示す信号を精度良く検出することにより、レーザ光の走査精度を高め得るビーム照射装置を提供する。
【解決手段】Ｓ／Ｈ回路３４は、サンプルタイミングごとに入力電圧信号をホールドし、ホールド電圧信号を減算器３５に出力する。減算器３５は、入力電圧信号から、ホールド電圧信号を減算した減算電圧信号を、端子３２ｂおよび比較回路３６に出力する。Ａ／Ｄ変換回路３８は、減算電圧信号を、Ｓ／Ｈ回路３４におけるサンプルタイミングに同期してデジタル信号に変換し、ＰＳＤ処理回路７に出力する。こうすると、Ａ／Ｄ変換回路３８の分解能が有効に活用されるため、Ａ／Ｄ変換回路３８から入力される信号に基づいて信号演算回路７ｂにて位置検出信号を生成することにより、位置検出信号の精度が高められ得る。 （もっと読む）

【課題】高コスト化を招くことなく、高精度の光走査を行うことができる光走査装置を提供する。
【解決手段】 振動ミラーユニット２１０４を保持する第１保持部材５１００、該第１保持部材５１００を保持する第２保持部材５３００、該第２保持部材５３００を光学ハウジングに取り付けるための取り付け部材５５００を備えている。第２保持部材５３００は、振動ミラーユニット２１０４をＹ軸に平行な軸回りに回動させるための２つの切り欠きを有している。そして、第１保持部材５１００は、第２保持部材５３００の２つの切り欠きに対応した２つの切り欠きを有している。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、時間開口率を高くしつつ、画像の台形歪みを防止することのできる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】画像形成装置１は、投影面２１に対し、光を走査することにより画像を描画するよう構成され、光出射部と、回動可能に設けられた第１の反射面および第２の反射面を有し、光出射部から出射された光を投影面２１に対し、第１の方向および第２の方向に走査することで２次元的に走査する光走査部５とを備え、第２の反射面の回動中心軸の方向から見たとき、第２の反射面が回動することにより、第１の反射面で反射した光の第２の反射面への照射位置が変化するよう構成されており、第２の反射面は、光出射部から光を出射した光出射状態で、光出射部から出射された光を投影面２１に対して２次元的に走査したとき、投影面２１上での光の第１の方向の振れ幅が、第２の方向に沿って一定になる曲面形状を有している。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、容易かつ確実に、画像の第２の方向の歪みを防止することのできる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】画像形成装置１は、投影面２１に対し、光を走査することにより画像を描画するよう構成され、光出射部と、回動可能に設けられた第１の反射面および第２の反射面を有し、光出射部から出射された光を投影面２１に対し、第１の方向および第２の方向に走査することで２次元的に走査する光走査部５とを備え、第２の反射面の回動中心軸の方向から見たとき、第２の反射面が回動することにより、第１の反射面で反射した光の第２の反射面への照射位置が変化するよう構成されており、第２の反射面は、光出射部から光を出射した光出射状態で、光出射部から出射された光を投影面２１に対して２次元的に走査したとき、投影面２１上の第２の方向に沿って並ぶ描画ラインの間隔が一定になるような曲面形状を有している。 （もっと読む）

【課題】プレート部材の形状やサイズ寸法によらずに、工程上安定した組立を可能にし、衝撃などが加わっても高品位な画像品質を提供可能とする。
【解決手段】少なくとも１つは表面がビームを反射する反射面となっており共振振動により揺動する複数の可動子を備えたプレート部材と、前記可動子を駆動するアクチュエータ部と、これらを一体に保持するホルダとを備えた光偏向装置において、前記ホルダが前記プレート部材と接する面、或いはその近傍で前記プレート部材と対向する面には、固定作業に使用する貫通穴を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を走査させて光学的に情報を読み取る光情報用駆動モジュールは、従来の共振駆動方式を用いた場合、走査開始時は走査角が定常動作時より常に小さく、走査開始から過渡期を経て定常動作時の走査角に至るまでは、正常な読み取りが実行できない。
【解決手段】走査ミラー２１は、シャーシ２ａ上に植立される軸２４に軸受け部２３を嵌合するすべり軸受けによる軸摺動方式を採用し、走査ミラー２１の背部とシャーシ２ａにとの間を連結するばね２６を設ける。ばね２６の形状、材質及び厚さを調整して、往復回動によるレーザ光の走査を開始させる際に、共振周波数、駆動周波数及び信号周波数を調整して、意図的に起動時の過渡期における走査の振幅を大きくして起動時の走査角が定常駆動状態を上回るように走査ミラーの駆動部２２を駆動し、走査開始直後から情報の読み取りを行うための光情報用駆動モジュールである。 （もっと読む）

【課題】被走査面上での複数の光束における光学特性のばらつきを小さくすることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】 それぞれ少なくとも主走査対応方向に関して互いに離間している２つの発光部（Ｌ１、Ｌ２）を有する４つの光源、各光源からの複数の光束の光路上に配置されたアナモフィックレンズ２２０４、該アナモフィックレンズ２２０４を介した複数の光束が入射する偏向反射面を有し、該偏向反射面を副走査方向に平行な軸回りに振動させて、アナモフィックレンズ２２０４を介した複数の光束を偏向する振動ミラー２１０４を備えている。そして、アナモフィックレンズ２２０４は、各光源の２つの発光部から射出された２つの光束が、いずれも偏向反射面における変曲点に対応する部分が含まれる領域に入射するように、各光束の光路を変更する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子のパッケージの気密性を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部６およびこのミラー部６を振動させる駆動部７、９を有する光学反射素子５と、この光学反射素子５を内包するとともに、ミラー部６の上方に開口部２０を有するパッケージ１２と、このパッケージ１２の開口部２０上を覆い、上側が凸となる湾曲形状の光透過部１３とを備え、パッケージ１２は、開口部２０の周縁からパッケージ１２の上方へ突出する突起部２１を有し、光透過部１３は、突起部２１の外側に載置され、光透過部１３と突起部２１との隙間には、シール材２３が挿入されているものとした。これにより本発明は、光透過部１３とパッケージ１２との接合強度が高まり、結果としてパッケージ１２の気密性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】デバイス特性に関わらず、マイクロミラーを効果的に大きく傾斜させる。
【解決手段】マイクロミラーデバイス１０において、可動電極２０Ａ、２０Ｂをマイクロミラー１２からＸ軸方向に延ばす一方、固定電極３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃを支持フレーム１６からマイクロミラー１２に向けて延ばし、可動電極２０Ａ、２０Ｂと交互に並んで配置させる。そして、可動電極２０Ａ、２０Ｂ、固定電極３０Ａ〜３０Ｃに、同じ幅の複数の可動電極凸部２２Ａ_１〜２２Ａ_５、固定電極凸部３２Ａ_１〜３２Ａ_５をＸ軸に沿って形成し、固定電極凸部３２Ａ_１〜３２Ａ_５のピッチ間隔を一定にする一方、可動電極凸部２２Ａ_１〜２２Ａ_５のピッチ間隔を、マイクロミラー１２から離れるほど大きくする。 （もっと読む）

【課題】安価に反射面の汚れを防止することのできる光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学デバイス１は、光を反射する反射膜２１を有する可動板１１と、可動板１１をＸ軸周りに回動可能に支持する弾性支持部１３とを備え、可動板１１の側面１４は、Ｘ軸と反対側に反射膜２１の外縁より突出している。これにより、可動板１１をＸ軸周りに回動させたときに、気流によって可動板１１に吸い寄せられる塵や埃などが、反射膜２１ではなく可動板１１の側面１４に付着する。 （もっと読む）