【課題】所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータを容易に得ることができるアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１００の共振周波数の調整方法は、交流電圧を印加することによって、第１の質量部１、１１が駆動し、それに伴い第２の質量部２が回動するアクチュエータ１００の共振周波数の調整方法であって、前記第１の質量部１、１１と前記第２の質量部２との少なくとも一方の質量部本体１４の所定箇所に、質量調整用の物質を必要に応じて所定量付加することにより、共振周波数を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳ型のスキャニング装置において、ミラーの振れ角を大きくすることなく、ミラーによるビームの走査範囲を大きくする。
【解決手段】 基材にバネ部を介して連結されたミラー１０と、ミラー１０の反射面１１にビームＬＢを入射する光源５０とを備え、ミラー１０は、光源５０からのビームＬＢを反射するとともに、力を印加したときにバネ部の弾性力によって矢印Ｙ１方向に回転振動するようになっているスキャニング装置において、ミラー１０の反射面１１は、角度の異なるミラー面１１ａ、１１ｂを複数有して構成されたものであり、光源５０からのビームが、角度の異なるミラー面１１ａ、１１ｂにて同時に反射するようになっている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で制御も容易なマイクロミラー駆動方式の光偏向器及びこれを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器２０は、支持基板１と、該支持基板１に弾性体２を介して揺動自在に支持された可動板７を有している。捻り軸中心Ｎを境にして、図中左側には固定電極３と可動電極４が設けられ、右側には可動電極５と固定電極６が設けられている。可動電極５と固定電極６は可動板７を揺動可能な揺動手段２１を構成し、可動電極５と固定電極６は可動板７の揺動を検知可能な揺動検知手段を構成している。 （もっと読む）

【課題】可動櫛歯状構造体と固定櫛歯状構造体の間の噛み合いアライメントを比較的容易に達成できる揺動体装置である。
【解決手段】揺動体装置は、可動板１０５と、可動板１０５を支持基板１０７に対して揺動可能に軸支する軸支部１０４と、可動板１０５から延びる可動櫛歯状構造体１０８、１０９と、可動櫛歯状構造体１０８、１０９と隔間して噛み合う位置に配置される固定櫛歯状構造体１１０〜１１３と、可動櫛歯状構造体１０８、１０９と固定櫛歯状構造体１１０〜１１３との間に静電力を働かせて可動板１０５を揺動・変位させる静電駆動手段を備える。可動櫛歯状構造体１０８、１０９が、互いに接続層１０３で接合される第一の可動櫛歯層１０８と第二の可動櫛歯層１０９からなり、固定櫛歯状構造体１１０〜１１３が、互いに電気的に分離する絶縁層１０３で接合される第一の固定櫛歯層１１０、１１１と第二の固定櫛歯層１１２、１１３からなる。 （もっと読む）

【課題】 光走査部の光学手段の焦点距離を可変として、照射対象物に照射する光ビームの焦点位置を、光学部品を設けることなく調整可能とした可変焦点型光学装置を提供する。
【解決手段】 固定部１１にトーションバー１２，１２を介して軸支した可動部１３に反射ミラー又はレンズからなる光学手段１４とヒータコイルを兼ねる駆動コイル１５を設け、駆動コイル１５に静磁界発生手段１７Ａ，１７Ｂにより静磁界を作用させる光走査部３を備え、駆動コイル１５に、駆動電流に重畳して可動部加熱用のヒータ電流を供給制御して、可動部１３の変形量を制御して光学手段１４の焦点距離を可変する構成とした。 （もっと読む）

【課題】構造が単純で、起動時の回転トルクを得やすい。
【解決手段】ミラー１１１が形成された可動部材１０１は、２層構造（可動部材１３４、１３５、絶縁材１３６）であり、梁部材１０２も２層構造であり、保持部材１０４も２層構造（保持部材１３１、１３２、絶縁材１３３）である。櫛歯状電極１１４と１１５、櫛歯状電極１１２と１１３、櫛歯状電極１１８と１１９、櫛歯状電極１１６と１１７がかみ合うように形成される。コンタクト部１２５、１２２、電極１１６、１１４にＶ１、可動電極に０Ｖを印加することにより、可動部材１０１は時計方向に回転し、コンタクト部１２７、１２１、電極１１８、１１２にＶ２、可動電極に０Ｖを印加することにより、可動部材１０１は反時計方向に回転する。 （もっと読む）

【課題】 MEMSミラースキャナにおいて、ポリゴンミラースキャナと同等以上の高速スキャニングを実現でき、例えば、レーザープリンタ用途で高精度スキャニングを実現することを目的とし、特にスキャニングミラー自体の形状、寸法などの最適化を図った構成のMEMSミラースキャナの提供。
【解決手段】 入射角が浅く(小さく)なるほどかかる光経路の範囲を大きくする必要があり、光の入射角度が出射対象表面の直交方向に対して25°〜90°の範囲で、スキャニングミラーの揺動軸方向長さYと揺動軸に直交する方向長さXの比が1:1.1〜1:1.9が必要であり、ミラー周辺の空間を入射側が小さく、出射側が大きくし、光透過窓は当該ミラーに対して入出射側で非対称の形状とすることで、高精度化と小型化が達成できる。 （もっと読む）

【課題】ミラーと周辺部材とが干渉し難い構造とすることができ、ミラーの傾き角度を容易に大きくできるガルバノミラーを提供する。
【解決手段】少なくともミラー３を有する可動部２と、可動部２を第１の軸Ｙおよび第１の軸Ｙとほぼ直交する第２の軸Ｘの回りに傾き可能に支持する支持手段６と、可動部２を第１の軸Ｙ回りに傾ける第１の駆動手段（８，２７，２８）と、可動部２を第２の軸Ｘ回りに傾ける第２の駆動手投（７，２７，２８）とを有するガルバノミラー１において、支持手段６は可動部２の回転中心Ｇ近傍に配置し、第１の駆動手段（８，２７，２８）および第２の駆動手段（７，２７，２８）は、可動部２の回転中心Ｇに対して、第１の軸Ｙの延在方向に配置する。 （もっと読む）

高性能ＭＥＭＳスキャナが開示される。いくつかの実施形態では、スキャナミラーは、回転ポリゴン面に類似の広く短いアスペクト比を有する。長いねじりアームにより、２０°以上の大きな片振機械的回転角が可能になる。サスペンションは、走査ミラーをねじりアームに結合し、トルク負荷を広げることによって動的なミラー変形を低減する。ねじりアームの遠位端の「てこ部材」は、応力集中を低減する助けとなる。取付フレームを排除することで、デバイスの歩留まりが増加する。ヒーターリード線により、スキャナの共振周波数を正確に調整することが可能になる。圧縮力のあるマウントは、取付構造に対して取付パッドを保持する。
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電子写真式プリンタは、光ビームを感光体上に走査させるよう動作可能なＭＥＭＳスキャナを備えた露光ユニットを含む。前記ＭＥＭＳスキャナは、一般に使用される回転ポリゴンスキャナの面の形状と類似した縦横比を有するミラーを含む。好適な実施例において前記走査ミラーは、回転軸に平行な方向に約７５０マイクロメートルの長さを有し、回転軸に直角な方向に約８ミリメートルの長さを有する。前記ＭＥＭＳスキャナは、約５ＫＨｚの周波数で、かつ約２０度の機械的片側振幅走査角で走査するよう動作可能である。
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変調ライン像を発生させるライン像発生装置を備え湾曲表示面上に画像を表示させる表示装置において、そのライン像発生装置を、レーザ光源、直線型空間光変調器及び投射レンズから構成する。直線型空間光変調器は、レーザ光源にて発生した照射ビームを変調することによって、その照射ビームの一部次数の回折成分を変調ライン像として出射し、投射レンズはこの変調ライン像をライン像走査器へと送る。その光像が湾曲表示面の曲率中心付近に位置することとなるよう配置されたライン像走査器は、変調光ビームによる走査を繰り返すことで湾曲表示面上に二次元画像を形成する。
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【課題】レーザービームによって材料を加工する装置
【解決手段】材料を加工するための上記装置は、レーザービーム（１１）を発生させるためのレーザー光源（１）、レーザービーム（１１）の光路中に配置され、互いの角度を形成するミラー軸（３８、４８）に対して回動する少なくとも二つの反対のミラー（３５、４５）を有している偏向装置、およびレンズ（５）の形状をした結像を有する。上記偏向装置（２）の駆動装置のそれぞれは、ドメイン反転によって反対に分極された領域を交互に構成する圧電偏向プレート（３、４）によって形成され、交互に反対の分極を持つ電圧が印加されると、偏向プレートの各自由端（３５、４５）の捩じりおよびミラー軸（３８、４８）が有効に機能する。
この件に関し、電子回路基板および回路基板などの基板（６）を、非常に高精度かつ高速で加工することが可能となる。 （もっと読む）

電気力学的マイクロミラー配列素子は第１層と第２層を有する素子基板から成り、前期第１層上に配置された制御回路と、前記第２層上に配置された複数のマイクロミラーからなっている。そのようなマイクロミラー素子からなる配列素子が開示され、また、空間光変調器（ＳＬＭ）として使われる。配列素子は１次元と２次元の素子がある。マイクロミラー素子およびその素子からなる配列素子を製造する方法も開示される。この製造方法は、第１層上の制御回路を製作し、第２層上のマイクロミラーを製作することを含み、第１層および第２層からなる素子基板を提供する。 （もっと読む）