本発明は、マイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）を回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心として回動させるためのカスケード接続されたマイクロマシニング型のアクチュエータ構造体に関する。本発明によれば、トーションばね装置が設けられており、該トーションばね装置が、一方で保持体（ＶＳ）に取り付けられていて、他方でマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）に取付け可能であり、トーションばね装置が、複数のトーションばね（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）を有しており、該複数のトーションばねが、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に沿って延びているかまたは回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に対して平行に延びており、回動駆動装置が設けられており、該回動駆動装置が、複数の回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）を備えており、該回動駆動体が、トーションばね装置（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）に結合されており、各回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）が、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心とした１つのマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）の全回動角に数分の一ずつ寄与するようになっている。
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【課題】光走査モジュールにおいて、レーザー光の幅を出射アパーチャで設定する場合、アパーチャ端部に掛かったレーザー光にはけられによって回折が生じ、出射されたレーザー光のメインのピークにサブピークが重畳し、読み取りのための走査レーザー光にスポットの乱れとして発生し読み取り性能を低下する。
【解決手段】光走査モジュールは、半導体レーザーから出射されて、走査されたレーザー光における走査面と、そのレーザー光における半導体レーザーの活性面とが成す角度θ１が０度＜θ1＜９０度の範囲で調整され、レーザー光の出射光軸を中心軸とする傾きにより、出射アパーチャの端部に掛からずにレーザー光が通り抜けて整形されたレーザー光を走査して対象物に照射し、その反射光を受光して情報を得る。 （もっと読む）

【課題】隣り合う素子における揺動主部について近接配置するのに適したマイクロ揺動素子、そのようなマイクロ揺動素子を含んでなるマイクロ揺動素子アレイ、および、そのようなマイクロ揺動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ１は、フレーム２０と、揺動主部（１１，１１’）を有する揺動部１０と、フレーム２０および揺動部１０を連結して揺動部１０の揺動動作の軸心を規定する捩れ連結部４０とを備える。フレーム２０は、一対の延び部２０Ａを有する。一対の延び部２０Ａは、軸心Ａ１の延び方向に離隔し、且つ、揺動動作の方向において空隙を介して揺動主部（１１，１１’）に対向して当該揺動主部に沿って延びる。 （もっと読む）

【課題】高い走査速度を実現する。
【解決手段】回転軸線ｃを中心として動かすことができるように配置された偏向ミラー２１によってレーザ光線２００を、回転軸線ｃに対して垂直な走査平面内で偏向させる偏向装置２を提供する。回転軸線ｃの方向に縮められた光線幅でレーザ光線２００を偏向ミラー２１上に投射するように構成された光線成形光学素子２２が偏向ミラー２１の上流に配置され、偏向ミラー２１は、レーザ光線２００の、光線成形光学素子２２の上流での、縮められていない入射光線幅よりも狭い、回転軸線ｃの方向のミラー幅を有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１を介して対向するとともに、このミラー部１とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子３と、これらの第一の音叉形圧電振動子３とそれぞれ第二の支持部５で連結された枠体６と、この枠体６とそれぞれ第三の支持部７で連結された対の第二の音叉形圧電振動子８と、これらの第二の音叉形圧電振動子８とそれぞれ第四の支持部１０で連結された支持体１１とを備え、第三の支持部７および第四の支持部１０はそれぞれミアンダ形状であり、これらの第三の支持部７または第四の支持部１０の少なくとも一方には、第一のモニター素子１７が設けられたものである。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】部品種類が少なく安価な構成で二次元走査が可能な光走査装置を提供するとともに、この光走査装置を用いて往復走査記録させたときでも画像品質の良好な画像記録装置を提供する。
【解決手段】光源からのレーザ光を垂直方向に偏向する第一の振動ミラー１０と、この第一の振動ミラー１０からの光を水平方向に偏向する第二の振動ミラー２０により二次元走査を行う光走査装置である。このような光走査装置において、片方の振動ミラーの共振周波数が他方の振動ミラーの共振周波数の２倍になる関係で駆動され、両振動ミラーは両端が固定された梁の中央にミラーが設置された構成で、同一形状の振動板が用いられている。 （もっと読む）

【課題】三次元形状を有するスクリーンに画像を投影するのに適した光走査装置を提供する。
【解決手段】回転軸近傍が中空に形成された中空モータ３０と、中空モータ３０の回転軸上に配置され、回転軸が中空モータ３０の回転軸に対して略垂直に設けられた１次元走査ミラー２０と、１次元走査ミラー２０と中空モータ３０を挟んで反対側に設置されたレーザ光源４０とを備え、レーザ光源４０から発射されたレーザ光が中空モータ３０の中空部分を通過して１次元走査ミラー２０に入射する。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、可動板２と、可動板２の両側部に一端部がそれぞれ接続されており、可動板２の１つの揺動軸を構成する一対のヒンジ３と、可動板２の周囲を囲むように配され各ヒンジ３の他端部を支持する固定フレーム４と、固定フレーム４に形成されたストッパ部６を備えている。ストッパ部６は、ヒンジ３の側方にヒンジ３に沿うように形成されており、その先端部が、可動板２のヒンジ３が接続された部位に形成された凹部２ｅの内側に位置するように配置されている。可動板２が側方に変位すると、ストッパ部６が凹部２ｅの側縁部に接触し、可動板２の側方への変位が制限され、外部から衝撃が加わってもヒンジ３の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した振動ミラーを生産性よく低コストで製造することの可能な振動ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】振動子1の支持部４の一部を除去加工し、除去加工前後の慣性モーメントの変化量と除去加工前後の共振周波数の値から振動ミラー１０のばね定数および慣性モーメントを計算し、この計算結果に基づいて目標の共振周波数にするための追加除去加工量を計算した後、この計算結果に基づいて再度除去加工することによって振動ミラー１０を所望の共振周波数に調整する。 （もっと読む）

【課題】異種材料を貼り合わせて構成された振動ミラー素子を用いた光走査装置において環境温度が変化しても性能劣化のない安価な装置を提供する。
【解決手段】線膨張係数の異なる材料で構成されたミラー５と振動子１とを接合して構成された振動ミラー素子１０を用いた光走査装置において、ヒータ７によって振動ミラー素子１０の温度を変えることでミラー５の反り量をコントロールしビーム結像位置を一定位置に保つことができる性能劣化のない装置を提供することができる。 （もっと読む）

要約すると、一以上の実施形態に従って、走査プラットフォーム（１１４）に基づくＭＥＭＳが、走査プラットフォームの第一のフレームに第一の湾曲部材（２１０）のねじれ回転を介した振動を行わせるために、第一のフレームに配置された一組の櫛型の指状部（２１４、２１６）に駆動電圧を印可することによって直接走査プラットフォームの第一のフレーム（１１６）を駆動することにより、また第二の湾曲部材を介した第一のフレームと第二のフレームの機械的な結合を介して、間接的に走査プラットフォームの第二のフレーム（２１２）を駆動することにより、更に効率を向上させるために配置されている。減衰損失と仕事容量については、一組の指状部が第二のフレームの上に配置されて直接的に駆動電圧によって駆動される場合よりも、走査ミラーの操作がより効率良くなる。走査プラットフォームは、一次元スキャナ、二次元スキャナまたは多次元のスキャナから構成することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタなどのレーザースキャンユニットなどに用いる小型の光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体１に支持された第一の支持部２ａ，２ｂと、第一のアーム３ａ，３ｂと第二のアーム４ａ，４ｂを有する音叉振動子６ａ，６ｂと、第二の支持部１１ａ，１１ｂと、ミラー部１２とを備え、音叉振動子６ａ，６ｂをミラー部１２に対向配置させ、振動中心９ａ，９ｂとミラー部１２の回転軸とを同一線上に配置し、第一の支持部２ａ，２ｂおよび第二の支持部１１ａ，１１ｂをミアンダ形状とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】反射面の歪みを防止することが可能となる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、本体部２がベース３に装着されて構成されている。本体部２は、外側に固定枠６を備え、一方、内側には、反射面８Ａが形成された平面視略円形の反射ミラー部８を有する振動体１０を備えている。振動体１０は、更に、反射ミラー部８の外周面から揺動軸１５に対して直交する両半径方向外側に同一面上に延びて、該反射ミラー部８の周囲を囲むように配置される平面視四角形のミラー支持枠７に連結される一対のミラー支持梁１１、１１と、このミラー支持枠７の揺動軸１５方向の両側面部から外側方向に同一面上に延びて、そのミラー支持枠７を固定枠６に接合する一対のはり部１６Ａ、１６Ｂとを備えている。また、各枠側板ばね部１８Ａ〜１８Ｄには、各下部電極２１Ａ〜２１Ｄ、各圧電素子２２Ａ、２２Ｂ、各上部電極２３Ａ〜２３Ｄが積層されている。 （もっと読む）

【課題】光走査装置全体の寸法の増大を抑制しつつ、効率よく反射部の振動の角度振幅を大きくする
【解決手段】光走査装置１は、鏡面が表面に形成される本体部１１と、本体部１１に設けられて櫛歯状に形成された櫛歯電極部１４，１５と、櫛歯電極部１４，１５と一定間隔を空けて噛み合う櫛歯電極部２１，２２と、櫛歯電極部２１，２２を駆動させる櫛歯駆動部２５，２６と、本体部１１と櫛歯電極部２１，２２を揺動可能に支持する支持部３とを備える。櫛歯駆動部２５，２６を作動させることにより、櫛歯電極部２１，２２を所定周波数で支持部３に対して振動させることができる。これにより、本体部１１の振動による櫛歯電極部１４，１５の位置変化に応じて、櫛歯電極部１４，１５と櫛歯電極部２１，２２とが対向するように、櫛歯電極部２１，２２の位置を変化させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化、作動応答速度の低下、寿命の低下を抑制することができ、駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつき（ジッタ）を低減することが可能となる揺動体装置等を提供する。
【解決手段】保持部に対し、バネ性を備えた支持梁部によってねじり軸を中心にねじり振動可能に少なくとも片側が支持された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置であって、
前記可動板は、前記駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつきを低減するための突起が、該可動板の前記ねじり軸を中心とする両側端部に形成されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】バーコードから走査レーザ光を照射する光読取装置に搭載される光走査装置は、ミラーが設けられたロータがシャフトを中心として揺動機構により揺動動作を行っている。揺動機構は、ミラーの安定的揺動を行うために、ロータが一定の揺動角度を保持し、シャフトの延在方向及び径方向における移動が規制される。
【解決手段】光読み取り装置に搭載される光走査装置は、Ｓ字を組み合わせた形状の板ばねを途中でＬ字状に屈曲させて、付勢力を支配するばね成分と往復遥動を支配するばね成分が設計的に分離される支持ばねを用いて、走査ミラー本体を揺動させるために嵌合するシャフトの延在方向への移動を制限し、且つ走査ミラー本体の往復回動動作を阻害にしないように付勢して当接状態を維持し、シャフトの径方向における移動を制限する。 （もっと読む）

【課題】反射面に歪みが生じることを防止し、面精度を維持することにより、入射されたレーザ光の集光性能の低下や、照射位置のずれが生じることを防止する光学ミラー装置、および光学ミラーの固定方法を提供する。
【解決手段】光学ミラー装置３０は、入射されたレーザ光を照射位置へ反射する反射面３６を備えた光学ミラー３５と、反射面に連なって対をなす側面部３７の両側から光学ミラーを押圧して挟持することにより、光学ミラーを固定する固定手段４１と、固定手段に連結されるとともに回転駆動される駆動軸２４を備える回転駆動手段２３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能な光走査ユニット及び光学系の取り替えが簡単に可能な観察装置を提供する。
【解決手段】この光走査ユニット５０は、ミラーＭを繰り返し傾斜させるＭＥＭＳ光スキャナと、対物レンズ５２と、を備え、光をＭＥＭＳ光スキャナで傾斜するミラーにより走査して対物レンズを介して対物レンズの光軸に沿って出射させる。 （もっと読む）

【課題】高速の光ビーム偏向が可能であり、なおかつコンパクトで大きい偏向角を実現できる新規な光偏向素子を実現する。
【解決手段】基板１１０上に、光入力部１１１、光分配部１１２、光導波路アレイ１１３、光出力部１１４、制御電極１２０等を有し、光入力部に入力した光を光分配部により光導波路アレイの各光導波路に分配し、制御電極１２０等により、光導波路アレイ１１３を導波する光に、光導波路間で位相差を与えて光出力部から射出させる光偏向素子であり、光導波路アレイ１１３が、高屈折率差光導波路による２本以上の光導波路のアレイ配列で、少なくともコア１１６等が電気光学効果を有する材料で形成され、かつ、各光導波路が曲率をもつ曲がり光導波路部分１１８を有する位相変調構造を有し、制御電極が、光導波路アレイにおける位相変調構造に対し、電気光学効果により光導波路間で異なる位相差を導波光に与える位相変調を行う。 （もっと読む）

【課題】回転軸の軸振れを小さくすることのできる軸受構造及びそれを用いたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】回転自在な軸５２のラジアル方向への変位を規制する非接触式のラジアル磁気軸受５４を備えた軸受構造であって、軸５２の長手方向にラジアル磁気軸受５４と間隔をあけ、ラジアル方向とスラスト方向の両方の変位を規制可能な軸受５５を設けた。 （もっと読む）