【課題】ミラーをアクチュエータの出力軸に必要十分な力で連結させてもミラー反射面に歪みが発生せず、かつ、コイルが温度上昇してもミラー反射面に歪みが発生しないスキャナ装置を提供すること。
【解決手段】ミラー４を支持するマウント部材８の一方の端部の中心に出力軸５に係合する穴８ｃを、他方の端部に深さ方向が穴８ｃの中心軸Ｏ方向で幅方向が中心軸Ｏに関して対称であるミラー４を嵌合させるための溝８ｇを設け、いずれの位置においても中心軸Ｏに垂直な断面が中心軸Ｏに関して点対称であるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 平板状の可動部（可動板）を有するプレーナー型アクチュエータにおいて、可動板の反りを補正して可動板を平面化する。
【解決手段】 可動板３が下面側へ向かって凸状に反っている場合に、可動板３の上面に圧縮応力を発生する第一の応力膜６を形成すると共に、第一の応力膜７の上に第一の応力膜６により補正しきれなかった可動板３の反り成分（差分）を補正する圧縮応力を発生する第二の応力膜を形成する。第一の応力膜６は可動板３のＸ軸方向とＹ軸方向の反り成分のうち、反り量が小さいＸ軸方向の反り成分を過不足無く補正すると共に、Ｙ軸方向の反り成分の一部を補正するように作用し、第二の応力膜７は第一の応力膜６により補正しきれなかったＹ軸方向の反り成分のみを選択的に過不足無く補正するように作用する。これにより、可動板３全体としての反りが過不足無く補正されて可動板が平面化する。 （もっと読む）

【課題】光スキャナの反射面の面積を可及的に小さくすることができ、また、取付スペースを可及的に小さくすることができる光スキャナ、およびそれを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】入射した入射光を反射する反射面の揺動により、その反射面からの反射光を走査する光スキャナにおいて、反射面を回折構造により形成した。画像信号に応じた光束の走査によって画像を形成する画像形成装置であって、光束を出射する光源と、反射面に回折構造を形成した光スキャナを有し、当該光スキャナにより、光源から出射した光束を走査する走査部を有する。 （もっと読む）

【課題】装置全体の小型化を図りながら、更にガルバノミラーの小型化及び軽量化を図ることができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザマーキング装置は、レーザ光源１から出射されるレーザ光Ｌを、第１及び第２のガルバノミラー３，４によって２次元的に走査させつつ対物レンズ６を通して被印字対象物Ｗ上に照射させることにより文字等の印字を行う。レーザ光源１からのレーザ光Ｌのビーム径Ｄ１を広げるための収束レンズ２と収束レンズ２にてビーム径が拡大されたレーザ光Ｌを収束させ略平行光にするコリメータレンズ５との間に第１及び第２のガルバノミラー３，４が配される。第１及び第２のガルバノミラー３，４それぞれは収束レンズ２を通ったレーザ光Ｌのビーム径がレーザ光源１から出射されるレーザ光Ｌのビーム径Ｄ１より小さくなる位置である収束レンズ２の焦点位置Ｓ近傍に配置される。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を招くことなく機械的な剛性を確保しつつ振動体としての必要条件を満たすことが可能な構成を備えた振動素子、この振動素子を備えた光走査装置、この光走査装置を備えた画像表示装置の提供。
【解決手段】反射面１９ｂを備えた振動部１９ａと、振動部１９ａに設けられ振動部１９ａを振動させるためのコイル１０２とを有し、振動部１９ａは、反射面１９ｂの反対側で反射面１９ｂに交わる方向に設けられた斜面１９ｆを有し、コイル１０２の少なくとも一部を、斜面１９ｆに設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被走査面上で光ビームを所望の走査性で走査させるための光走査装置用調整ユニットおよび該ユニットを用いた調整方法を提供する。
【解決手段】調整ユニット２０には３つの中央センサ（第１センサ）２３Ｃ、左端センサ（第２センサ）２３Ｌおよび右端センサ（第３センサ）２３Ｒが設けられるとともに、露光ユニット６を位置決めピン２２によりユニット本体２１に対して位置決めすることで走査レンズ系６６の射出側において、(a)中央センサ２３Ｃが光軸ＯＡ上に位置する、(b)左端センサ２３Ｌおよび右端センサ２３Ｒが光軸ＯＡに対して対称となる、という配置関係を満足するように調整ユニット２０は構成されている。このため、各センサ２３Ｌ，２３Ｃ，２３Ｒからの検知信号に基づき角度ズレを解消するために必要な情報として第１通過時間Ｔ1と、振幅ズレを解消するために必要な情報として第２通過時間Ｔ2が得られる。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの振れ角(振幅)の変動を高精度に低減でき、高品位な画像形成が行える光走査装置を提供する。
【解決手段】密閉された空間内に振動ミラーを立設して装着することにより、振動ミラーにより攪拌される空気の容積を限定するとともに、空間内の雰囲気が定常状態となるように外気からの熱伝達を抑止し、これにより振動ミラーの置かれる雰囲気を安定的に保ち、回転に対する負荷変動を最小限に抑え、振れ角(振幅)の変動を低減する。回路基板４４９には、入出射する光ビームを透過する透過窓４５９を備え、断熱性が高い部材で成形された封止部材としてのカバー４６７を上部から嵌め込み、振動ミラー４６０の装着部を封止する。カバー４６７は、回路基板４４９の上面を全体的に覆うカバー本体部４６７ａと、該カバー本体部４６７ａの中央部に突出するように設けられ、振動ミラー４６０の周囲を限定的に覆う振動ミラー覆い部４６７ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 光偏向器を用いた画像表示装置において、温度変化などの要因によって生じる画像表示位置の変動（ズレ）を制御する。
【解決手段】 イメージセンサと二分探索手法によって限定化された光源の発光パターンによって画素ズレ情報を検出する。 （もっと読む）

【課題】偏向ミラー面によって主走査方向に光ビームを被走査面上に走査させる光走査装置において、光ビームの焦点位置を調整して高精細なビームスポットを被走査面上に形成する。
【解決手段】光源６２からの光ビームが副走査断面において偏向器の偏向ミラー面６５１に対して斜めに入射する、いわゆる斜入射構成を採用している。また、この偏向器では、第１および第２ピエゾ積層アクチュエータ部に与える電圧を調整することによって法線方向Ｚに可動部材（偏向ミラー面６５１）を変位させることができる。このため、上記電圧調整による偏向ミラー面６５１の変位量に応じた距離だけ光ビームの焦点位置も光軸方向に移動する。このように、光ビームの焦点位置を調整して高精細なビームスポットを感光体表面（被走査面）２１上に走査させることができる。 （もっと読む）

【課題】製造に用いるウエハの平面サイズについての制限を低減可能なマイクロミラー素子、および、その製造方法を提供すること。
【解決手段】材料基板から一体的に成形された、ミラー部１１１を有する可動部１１０，１２０と、フレーム部１３０と、当該フレーム部１３０および可動部１１０，１２０を連結するトーションバー１５０とを備えるマイクロミラー素子Ｘ１において、フレーム部１３０は、可動部１１０，１２０よりも厚い部位を有することとする。 （もっと読む）

【課題】 誤動作を検出でき、反射ミラーの揺動精度を高めることができる光走査装置、画像表示装置、光走査装置又は画像表示装置における反射ミラーの位置調節方法及び揺動状態検出方法を提供する。
【解決手段】 光スキャナにおいては、反射ミラー部２２２が揺動される範囲の中で中間位置における反射ミラー部２２２の位置が基準位置として規定されている。エリアセンサ２７４は、反射ミラー部２２２で反射された検出光の受光結果によって反射ミラー部２２２の位置が反射ミラー部２２２の基準位置であるか否かを検出可能な位置に配設されている。 （もっと読む）

【課題】一体成型される反射ミラーモジュールを提供する。
【解決手段】投影システムに用いられる反射ミラーモジュールは、バース台、サポート台、回転軸ユニット及び少なくとも一つの駆動デバイスを含む。ベース台は基準面を有し、サポート台はベース台に設置され、且つ反射面を有し、回転軸ユニットは、サポート台の側辺に設けられ、またサポート台及びベース台と接続され、駆動デバイスはサポート台の底面に設置され、回転軸ユニットに対して反射面を揺動させる。 （もっと読む）

【課題】 静電駆動型のマイクロミラーは、静電力を得るために揺動軸方向に櫛型電極を多く配置する必要があるため、揺動軸方向に長くなる。しかしこれは、光走査装置自体の厚みを厚くするという課題を生じさせることになった。
【解決手段】 マイクロミラーへの入射光に対して第１の反射面と、マイクロミラーからの反射光を反射する第２の反射面の２つの反射面との２つの反射面を設けることで、マイクロミラーを走査光面に対して傾け、若しくは寝かせた状態の配置で揺動させることができるようにする。 （もっと読む）

【課題】ガルバノスキャナの耐久性を向上させる。
【解決手段】 補助モータ制御部１５４は、ロータリエンコーダ１５１から供給された、軸１６１の回転角度を示す信号に基づいて、補助モータ駆動回路１５５を制御し、補助モータ９３を駆動させる。補助モータ駆動回路１５５は、補助モータ制御部１５４の制御の基に、補助モータ９３を駆動させるための駆動電流を生成し、補助モータ９３に供給する。補助モータ９３は、補助モータ駆動回路１５５からの駆動電流に基づいて、軸１６１を１回転させる。本発明は、光を走査して画像を表示させる表示装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 正弦振動する偏向ミラー面により偏向走査される光ビームを被走査面上にスポット状に結像する光走査装置および該装置を装備して被走査面上に潜像を形成する画像形成装置において、小型で簡易に、被走査面上でのスポット径を均一化しながらスポットを等速走査させる。
【解決手段】 ミラー長さ方向ＸＸに沿った偏向ミラー面６５１の長さは入射中心位置ＣＰで長さＷcpとなっており、揺動軸（駆動軸）ＡＸと平行な駆動軸方向Ｙにおいて最も短い。そして、偏向ミラー面６５１の長さは入射中心位置ＣＰから駆動軸方向Ｙの両側（図面中の上下側）に離れるにしたがって長くなっており、上端および下端で長さＷegで最長となっている。また、入射光ビームのスポット寸法Ｗspが入射中心位置ＣＰでの偏向ミラー面６５１の長さＷcpよりも長くなっている。 （もっと読む）

【課題】 高エネルギー加工を行う場合においても良好な平面度を保つことができるスキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機を提供する。
【解決手段】 セラミックス材料からなるスキャンミラー本体３と、スキャンミラー本体３の上に、セラミック材料の線膨張係数βに対して０．７β〜１．５βの範囲内の線膨張係数を有する金属による膜６とを備える。 （もっと読む）

処理光のための幾何波形オシレータであって、複数の質量、少なくとも一つの力発生要素、及び複数の弾性要素を含み、力発生要素のそれぞれは、それぞれ一つの質量と連結され、少なくとも一つの質量は、光処理モジュールを含み、力発生要素のそれぞれは、質量に力を加え、弾性要素は、互いに質量を連結し、弾性要素は、質量をそれぞれサポートと連結し、質量の質量値、力の力値、及び弾性要素の弾性係数が選択されて、光処理モジュールが幾何波形で振動する。
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【課題】 剛性の高い可動部材を備え高速で駆動が可能な光制御素子およびその製造方法、並びにこの光制御素子を用いた表示装置を提供する。
【解決手段】 矩形状の平板からなる可動部材１０を、対向する２辺においてそれぞれ支持部２０を介して外枠部に連結する。可動部材１０の裏面に桟構造１１を設ける。可動部材１０自体を薄くして共振周波数を高めることができると共に、桟構造１１により可動部材１０を補強し剛性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】光スキャナの配線構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】金属配線領域が所定の深さにエッチングされたガラス基板（１０）と、金属配線領域に形成された金属配線と、ガラス基板上で金属配線をカバーするように形成された拡散障壁層（１１２）と、ガラス基板（１０）と結合された光スキャナ構造物と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 マイクロマシニング製造技術で製造でき、斜面に光偏向子を配置しても電極取出しが容易な光偏向素子，光偏向装置を提供する。
【解決手段】 シリコンウェハー９−１上に柔軟な樹脂９−２を被覆した素材９の一方に光偏向子部２を形成し他方に電極部３を形成した光偏向素子であって、前記光偏向子部と電極部との間はシリコンウェハー部分８がなく屈曲可能な光偏向素子により前記課題を解決する。 （もっと読む）