【課題】光通信用の光学フィルタとして用いられる多層膜光学素子を製造する際に、マイクロクラックの発生を回避しつつ多層膜光学素子のサイズを大形化する。
【解決手段】所定の溶解速度をもつ第１剥離層２ａと、この第１剥離層２ａより小さい溶解速度をもつ第２剥離層２ｂとが積層された構成を有する剥離膜２を基板１の上に成膜する（図（ａ））。次に、剥離膜２の上に多層光学膜を成膜する（図（ｂ））。その後、多層光学膜を所定のサイズに切削する（図（ｃ））。最後に、剥離膜２を溶解させて多層光学膜を基板から分離する（図（ｄ））。剥離膜２は、溶解速度の異なる第１剥離層２ａおよび第２剥離層２ｂから構成されているため、これら第１剥離層２ａ、第２剥離層２ｂの厚さを適宜設定することで、剥離膜２全体の溶解速度を多層光学膜３に応じて任意に調整可能となる。 （もっと読む）

【課題】量産適正に優れ、安価で薄く、かつ、イメージセンサへの光の入射角度を制限して精細な画像を取得することができる密着型の撮像装置を提供する。
【解決手段】密着型撮像装置１０は、イメージセンサ１６に被写体１１を近接させて、被写体１１の画像を取得する撮像装置であり、角度制限フィルタ１５を備える。角度制限フィルタ１５は、平行平板のガラス基板２６と、ガラス基板２６上に設けられた誘電体多層膜２７とからなり、表面に対して略垂直に入射する特定波長域の光を透過するとともに、この特定波長域外の光と、この特定波長域内の波長の光であっても表面に対して斜めに入射する光を遮光する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧を低減しつつ、優れた光学特性を有する光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動部２１の固定反射膜３５側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に固定的に設けられた第１の電極３３と、可動部２１の固定反射膜３５と反対側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に対し固定的に設けられた第２の電極４３とを備え、第１の電極３３および第２の電極４３のうち、一方の電極は、可動部２１との間の静電容量を検出するための検出電極として機能し、他方の電極は、可動部２１との間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１の位置および／または姿勢を変化させるための駆動電極として機能する。 （もっと読む）

本発明は、基板と、基板の第１の面上の電子装置と、薄膜電子装置上で第１の光学特性を有する第１の無機材料の第１の薄膜層と、第１の薄膜層上の第１の光学特性と異なる第２の光学特性を有する第２の無機材料の第２の薄膜層とを有し、第１の層又は第２の層の少なくとも一方が封入層でもあり、第１の薄膜層と第２の薄膜層が光学フィルタの少なくとも一部分を構成する、封入電子装置を対象とする。
（もっと読む）

【課題】２個以上の光学材料が接着剤を用いることなく接合された接合光学部品とその製造方法を提供すること。
【解決手段】２個以上の光学材料（Ｎｄ：ＹＡＧ結晶とＹＡＧ結晶）１とこれ等光学材料間に設けられ材料間の反射を防止する誘電体多層膜２とを具備した特定波長域を透過させる接合光学部品であって、光学材料とその両面に原子層堆積（ＡＬＤ）法により成膜された両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜とで構成される２個以上の誘電体多層膜構造体10がその誘電体多層膜を介し直接接合されて成ることを特徴とする。また、接合光学部品の製造方法は、光学材料の両面にＡＬＤ法により両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜を同時に成膜して誘電体多層膜構造体を製造し、得られた２個以上の誘電体多層膜構造体をその誘電体多層膜を介し直接接合して接合光学部品を製造することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可視域から近赤外域にかけて平坦な特性を与える設計ができ、可視域のみならず近赤外域まで広くカバーすることが可能な多層膜ＮＤフィルターを提供すること。
【解決手段】透明な基板の両面に複数の光吸収膜と複数の誘電体膜を積層状に成膜させて構成される多層膜ＮＤフィルターにおいて、前記光吸収膜として単体ゲルマニウム（Ｇｅ）及び単体シリコン（Ｓｉ）の少なくともいずれか一方を使用するようにした。これによって従来の可視域を重視した特性に設計することもでき、可視域に加えて赤外域までをも平坦とするような設計も可能な多層膜ＮＤフィルターを提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】阻止帯域と透過帯域との境界における分光特性の立ち上がりが急峻で透過帯域でのリップルを抑制し、成膜時の制御が容易な膜構成で光学特性が安定した光学フィルタ、及び光学機器を提供する。
【解決手段】低屈折率層２０と高屈折率層２１とが交互に積層され、高屈折率層２１の屈折率が基板１８に向かって漸次高く変化する第１の積層部２２と、第１の積層部２２に隣接し、高屈折率層２１の屈折率が第１の積層部２２を構成する高屈折率層２１のうち最も高い屈折率と略同一である第２の積層部２３と、第２の積層部２３に隣接し、高屈折率層２１の屈折率が第２の積層部２３側から漸次低く変化する第３の積層部２４とを備え、第１から第３の積層部２２〜２４を構成する低屈折率層２０の屈折率が略同一とされ、第１の積層部２２と第３の積層部２４とを構成する高屈折率層２１の屈折率勾配の絶対値が異なる構成とされる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カッティング時（打抜き加工時）に異物として基材のガラス片の混入やクラックの発生がなく、また高温下において近赤外線反射膜にクラックが発生しない、透明性および近赤外線カット能に優れる近赤外線カットフィルターを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の近赤外線カットフィルターは、（Ａ）環状オレフィン系樹脂と（Ｂ）ガラスフィラーとを含む透明基板の少なくとも一方の面に、誘電体層Ａと、該誘電体層Ａが有する屈折率よりも高い屈折率を有する誘電体層Ｂとを交互に積層した誘電体多層膜からなる近赤外線反射膜を有することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】光電変換素子に対する配線層側からの赤外光の入射を防止した固体撮像素子を提供する。
【解決手段】一方の面に受光面を有する半導体基板と、半導体基板の他方の面上に設けられた配線層と、受光面と配線層との間に設けられた撮像画素部と、撮像画素部の周辺であって半導体基板の他方の面側に設けられた周辺回路部と、を備えた固体撮像素子であって、撮像画素部は、２次元アレイ状に配列された複数の光電変換素子と、光電変換素子を画素ごとに区切る素子分離層と、少なくとも、光電変換素子と配線層との間に部分的に設けられた赤外線カットフィルタ膜もしくは遮光膜とを有する。 （もっと読む）

【課題】膜応力がバランスして反りの発生を低減できかつ１枚の基板に対する膜層数も大幅に低減された誘電体多層膜ミラーを提供すること。
【解決手段】特定波長域を反射させる誘電体多層膜ミラーであって、基板１の両面に両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜２が原子層堆積（ＡＬＤ）法により成膜された誘電体多層膜構造体10を２枚以上接合して成ることを特徴とする。また、このミラーの製造方法は、原子層堆積（ＡＬＤ）法により基板１の両面に両面対称構造を有する一対の誘電体多層膜２を同時に成膜して誘電体多層膜構造体10を製造し、得られた２枚以上の誘電体多層膜構造体を接合して誘電体多層膜ミラーを製造することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クロストークの発生を極力防止し、誤作動しない双方向通信タイプの光伝送モジュールを提供する。
【解決手段】光信号Ｌ１を送信する１つ以上の送信用光素子１９と、光信号Ｌ２を受信する１つ以上の受信用光素子２０と、１つ以上の光信号Ｌ１、光信号Ｌ１とは波長の異なる１つ以上の光信号Ｌ２の光路を変換する光学部材５とを有し、光ファイバ２の光軸に対し傾斜した傾斜面を２面以上有し、傾斜面の１つに各光信号の一部またはほぼ全部を透過、あるいは各光信号の一部を反射させる光フィルタ１７を設け、傾斜面の他の１つに光信号Ｌ１またはＬ２を反射させる反射面１５ｒを形成し、光ファイバ２と対向するファイバ側端面５ｆにファイバ用レンズ１４ｆを設け、光フィルタ１７は、送信用光素子１９と受信用光素子２０の配置に応じて送信用光素子１９から送信した光信号Ｌ１が相手側の送信用光素子に漏れ込まない分波特性が設定されている。 （もっと読む）

【課題】アーキングの抑制とクリーニング頻度の低減により、欠点の少ない膜を生産性よく製造する。
【解決手段】陽極部(30)の内部又はその近傍に補正磁気回路(32)を設け、ターゲット(18)を貫通する磁力線の一部が防着板(27)を迂回して陽極部(30)の一部を貫通する磁界を形成する。防着板(27)は、補正磁気回路(32)単独の磁力線が陽極部(30)表面の法線と最も平行に近くなる点のうち、該法線方向の前記陽極の一部を貫通する磁界の貫通位置に近い方の点における法線の方向(48)とのなす角度が１０度以下の着膜側表面(27Ａ)を有する。 （もっと読む）

【課題】膜への水分浸入がなく低応力、かつ、簡易に形成可能な誘電体多層膜を提供する。
【解決手段】本発明は、基材１０４上に形成された、高屈折率膜１０１と低屈折率膜１０２とを組み合わせた誘電体多層膜１００であって、誘電体多層膜１００の最外層１０３を形成する膜材料粒子の粒子間隔を水分子の大きさよりも小さくすることにより、前記最外層１０３が多層膜１００内部への水分の浸入を防ぎつつ、最外層１０３以外の層を構成する膜の充填率を高くする必要がないことから内部応力を自由に調整することができ、膜への水分浸入がなく低応力な誘電体多層膜を簡易に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】カルーセルのような回転ドラムを使用した成膜において、カルーセルの回転軸と装置本体の軸受けの非常に微小な偏芯が製品の特性バラツキに影響を及ぼす。
【解決手段】チャンバーであるチャンバー３内に円筒状または多角形状のドラムが回転可能に設けられ、該ドラムの外周面上に基板１０が格納される基板ホルダ９が取り付けられ、該ドラムが垂直な回転軸の周りを回転しながら基板１０に成膜するカルーセル型のスパッタ成膜装置において、チャンバーであるチャンバー３内壁に設けられ基板１０に成膜するターゲット７，８と、基板ホルダ９がターゲット７、８と正面に対向した位置のターゲットと基板１０との距離を測定して回転ドラムの偏芯量を測定する偏芯測定装置１３と、を備え、偏芯測定装置１３からの出力により、各基板ターゲットに対応してターゲット電力を修正する。 （もっと読む）

【課題】光学特性を犠牲にすることなく、更に光学特性の観点からは過剰な積層数を必要とせず、基板の膜応力に起因する変形をより低減する。
【解決手段】ＩＲ阻止域の薄膜積層構造体４３が最も厚い構成になることから、基板３１の片面に第３阻止域Ｃの薄膜積層構造体４３、他面に第１阻止域Ａ、第２阻止域Ｂの薄膜積層構造体４１、４２を成膜する。連続したＩＲ阻止域の薄膜積層構造体を分割して基板両面に積層することにより、基板両面の物理膜厚の差を小さくすることができ、膜応力を低減できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は多層膜からなる偏光子の有効な偏光分離波長領域を、入射角の制限や使用できる材料を持つ屈折率の制限のもとで拡大し、さらに特定の複数の波長の直線偏光だけを透過するといった選択性を同時に有する機能を単独で実現できる多層膜偏光子を提供しようとするものである。
【解決手段】本発明の多層膜偏光子は、屈折率の異なる少なくとも２種類以上の膜材料からなる多層膜に、斜入射光線の入射角に伴う反射帯の立ち上がり・立ち下がりの偏光透過特性の違いを利用し、互いに直交する偏光成分を透過・反射させる多層膜偏光子において、互いに長、短波長を中心波長とする２つの反射帯多層膜層をその分離面に設け、短波長反射帯の長波長側立ち上がりと長波長反射帯の短波長側立ち下がりを近接させ、それぞれの反射、透過偏光特性を乗ずることにより偏光分離有効波長帯を拡げるものとした。 （もっと読む）

【課題】見る角度によって視認できる色相変化を自由に調整して、色相変化の設計自由度を向上させることができ、優れた意匠性及び鮮映性を発揮し得る発色構造体を提供する。
【解決手段】２４０〜５００ｎｍの一定の間隔で配列した、複数の透明な凸部２ａ及び／又は凹部を表面に有する基材２と、該基材の凸部及び／又は凹部の頂部上に、複数の層３、４を積層した複数の積層構造体５とを有し、上記複数の積層構造体同士を互いに所定の間隔を有するように配列して成る発色構造体１である。上記凸部及び／又は凹部の頂部から底部までの高さ（Ｈ）と、上記凸部及び／又は凹部の間隔（Ｐ_凹凸）の比（Ｈ／Ｐ_凹凸）が０．２〜３．０であることが好ましい。 （もっと読む）

安全積層体及び物品であって、安全積層体は、第１の主表面と第２の主表面とを有する、第１の基材と、基材の第１の主表面に沿って貼り付けられる、複数の再帰反射素子とを含み、再帰反射素子は、外側コア表面を備える、固体球形コアであって、外側コア表面は、第１の界面を提供し、芯表面を被覆する内側表面と、外側表面とを有する、第１の完全同心光学干渉層であって、第１の完全同心光学干渉層の外側表面は、第２の界面を提供し、第１の完全同心光学干渉層と、第１の完全同心光学干渉層の外側表面を被覆する内側表面と、外側表面とを有する、第２の完全同心光学干渉層であって、第２の完全同心光学干渉層の外側表面は、第３の界面を提供する、第２の完全同心光学干渉層と、を含み、安全積層体は再帰反射性である。安全物品は、第２の基材の主表面に貼り付けられる、上記の安全積層体を含む。
（もっと読む）

【課題】光学多層膜付きガラス部材において、スパッタリング法等による圧縮応力を有する光学多層膜の切断時等における膜クラックや膜剥がれの発生を抑制する。
【解決手段】光学多層膜付きガラス部材１は、ガラス基板２と、ガラス基板２の主表面２ａに付着力強化層３を介して形成され、圧縮応力を有する光学多層膜４とを具備する。付着力強化層３は膜厚が５０ｎｍ以上で、かつ圧縮応力を有する酸化珪素膜からなる。 （もっと読む）

【課題】基板表面の高度な研磨の有無に関わらず、基板上に樹脂組成物の極平坦面を作製し、その極平坦面上に光学薄膜を積層することにより得られる複合基板を用いた光学部品を提供する。
【解決手段】光学基板上に、光硬化性樹脂組成物、熱硬化性もしくは熱可塑性樹脂組成物などの樹脂組成物を載せ、光学基板よりも極めて平坦な平面を有する極平坦プレス板にて印圧し、樹脂組成物を光や温度変化によって硬化させて複合基板を形成し、上記複合基板上に、機能性無機光学薄膜、誘電体多層光学薄膜、光学機能性金属薄膜などの薄膜を、低温スパッタ法、イオンビームスパッタ法などで積層して、反射ミラー、ビームスプリッタ、バンドパスフィルタ、バンドストップフィルタ、エッジフィルタなどの光学部品を成形する。 （もっと読む）