【課題】シリコン半導体の製造などに用いられる熱処理装置などに好適に使用できる新規な熱線反射部材を提供する。
【解決手段】熱線反射部材１は、基材１０と、熱線反射層２０を備える。熱線反射層２０は、基材１０の上に配されている。熱線反射層２０は、シリコン層２２と酸化シリコン層２１とが交互に積層されてなる。酸化シリコン層２１は、第１の領域２１ａと、第２の領域２１ｂとを含む。第２の領域２１ｂは、第１の領域２１ａとシリコン層２２との間に位置する。第２の領域２１ｂの屈折率ｎ２は、第１の領域２１ａの屈折率ｎ１よりも高い。 （もっと読む）

【課題】眼鏡レンズ等に適用した場合、近赤外線の長波長側域の広い波長域における優れた熱線カット作用を奏して、目の保護の観点から望ましく、且つ、酷暑における熱線カットによる涼感が得られる光学要素を提供すること。
【解決手段】透明基材１０の少なくとも一面に多層の無機蒸着膜１６を備えた光学要素。無機蒸着膜１６が、基材側から順に熱線カット複合層および光学複合層を備えている。熱線カット複合層は、周期表１０族の群から選択される１種以上の金属元素（例えば、Ａｇ）からなる又は基とする金属層と、該金属層の上下に隣接してチタニア（複合酸化物を含む。）からなる接着層とで構成する。 （もっと読む）

【課題】高断熱性を維持したままで日射透過性を向上できる透明積層フィルムと、これを用いた複層ガラスを提供する。
【解決手段】透明高分子フィルム１２の少なくとも一方面に、金属酸化物薄膜と金属薄膜とが交互に積層されてなる透明積層部１４を有する透明積層フィルム１０において、透明積層部１４の最外膜は高屈折率の金属酸化物薄膜であり、この最外膜に接して低屈折率層１６が設けられている。また、この透明積層フィルム１０を２枚のガラス板間に配置した複層ガラスとする。 （もっと読む）

【課題】青色レーザ光を使用する光情報記録再生用光学系において、高温時に反射防止膜が設けられた光学素子の光学面に発生する微細な形状変化を防止しつつ、リム強度の改善を図る。
【解決手段】樹脂製の光学素子及び対物レンズを有する光情報記録再生用光学系が提供される。光学素子及び対物レンズに高温耐久性の高い材料を用いて、かつ前記光学素子及び前記対物レンズの光学面に設けられる機能膜において、光触媒作用に関係する元素を含む薄膜層の導入に一定の制限を加える。また、リム強度の改善を図るために、対物レンズの光ディスクと反対側の面に所定の反射特性の機能膜を与える。 （もっと読む）

特にＥＵＶリソグラフィ装置用の応力低減型反射光学素子を構成する軟Ｘ線及び極端紫外線波長域内の作業波長用の反射光学素子であり、前記反射光学素子は、基板（２）上に前記作業波長で屈折率の異なる実数部を有する少なくとも２つの交互材料（４１，４２）からなる第１の多層膜系（４）を備え、該多層膜系が前記基板（２）に層応力を及ぼし、前記基板（２）上に周期的に交互の少なくとも２つの材料（６１，６２）からなる第２の多層膜系（６）を備え、該多層膜系が前記第１の多層膜系（４）と前記基板（２）との間に配置され、前記基板（２）に反対方向の層応力を及ぼし、前記第２の多層膜系（６）の前記少なくとも２つの材料の第１の材料（６１）が、前記第２の多層膜系（６）の少なくとも１つの他の材料（６２）の１ｎｍまでの厚さの層によって、前記第１の材料（６１）がアモルファス状態で存在するような間隔で遮断されている。第２の実施例では、前記第２の多層膜系（６）の一つの材料はニッケル又はニッケル合金である。
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【課題】第一、第二屈折整合層の厚み及び屈折率整合（refractive index matching）により、反転位相の効果を生じさせ、エッチング工程による痕跡が視覚に与える影響を干渉可能とすること。
【解決手段】光学フィルム構造は、基板と、前記基板上に形成された多層膜構造とを含み、前記多層膜構造は、前記基板に最も近い位置から順に第一屈折整合層と第二屈折整合層と第三層とを積層してなる。 （もっと読む）

【課題】同時押出しポリマー多層光学フィルムを製造する方法および装置を提供する。
【解決手段】多層光学フィルムは、多層光学フィルム全体として特定の層厚さおよび規定の層厚さ勾配を有する２種類以上の材料の層の規則正しい配列を有する。方法および装置は、光学フィルムの個々の層厚さ、層厚さ勾配、屈折率、層間付着、および表面特性の調整を改善することを可能にする。上記の方法および装置は、紫外、可視および赤外スペクトルの多様な部分で光学的に有効な干渉偏光子、鏡および着色フィルムの製造に有用である。 （もっと読む）

【課題】 ＮＤフィルタ及び透過光選択フィルタの成膜プロセスを簡略化して成膜プロセス時間の短縮と製品の低コスト化を可能にした光学フィルタを提供する。
【解決手段】 光学フィルタ１０を構成する透明基材１２の片方の面にフィルタコート層１４を設けた。そして、このフィルタコート層１４を、可視光帯域の光線の透過率を制御するＮＤフィルタ機能と、透過される可視光線の波長を選択する透過光選択フィルタ機能とを有する構成にした。 （もっと読む）

本発明は、透光性のランプ管、このランプ管に収容された発光手段およびランプ管上に配置された干渉フィルタから成り、干渉フィルタは複数の光学低屈折率層および光学高屈折率層を備えた複数の積層体（３０，３２，３４）を有しており、その第１の積層体（３０）は望ましくない光スペクトルを吸収する吸収フィルタとして少なくとも２つの吸収層とそのあいだに配置された光学低屈折率中間層とから構成されている、ＮＩＲ波長領域の光を形成するＮＩＲ白熱灯、特にハロゲン白熱灯に関する。本発明によれば、第１の積層体（３０）は主として赤色スペクトル領域の光に対して小さい透過率を有し、その他の積層体（３２，３４）はＮＩＲ波長領域にフィルタエッジを有する。
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【課題】波長４３０〜６００ｎｍの透過帯域の透過率が９０％以上で、光軸方向のスペースを最小限にでき、基板上に多層膜の成膜を施しても反りがほとんど発生しない赤外線カットフィルタを提供する。
【解決手段】透明基板上に形成された、高屈折率材料からなる透明薄膜と低屈折率材料からなる透明薄膜とが、交互に複数積層された多層膜とからなり、波長４３０ｎｍ以上６００ｎｍ以下の透過帯域と波長７５０ｎｍ以上１０５０ｎｍ以下の不透過帯域を有し、前記透過帯域と前記不透過帯域に挟まれた波長領域の透過率が前記透過帯域側から前記不透過帯域側にかけて漸減する透過率特性を有し、前記透明基板の主面にアルミナ薄膜層を形成し、前記透明基板側から前記高屈折率材料からなる透明薄膜、前記低屈折率材料からなる透明薄膜の順で交互に配置され、最終層が前記低屈折率材料からなる赤外線カットフィルタ。 （もっと読む）

【課題】 設計が簡単であり、表面の機械的強度や耐水性に優れた赤外光透過フィルタを提供すること。
【解決手段】 赤外光透過性基板の一方の面に、屈折率が２．１０〜２．３０の硫化亜鉛薄膜と屈折率が３．００以上の高屈折率薄膜とを最上部に高屈折率薄膜が配置されるように交互に積層し、その上にさらに屈折率が２．０１〜２．３０のダイヤモンドライクカーボン薄膜を積層してなる赤外光透過フィルタ。 （もっと読む）

【課題】 長期に亘って安定した分光特性を有するＮＤフィルターを提供することを目的とする。また、多数の濃度または連続的に変化する減衰率を有する薄膜型ＮＤフィルターを容易に且つ一体化して供給可能とするＮＤフィルターの構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る薄膜型ＮＤフィルターは、光透過性の基板上に１層以上の透明誘電体膜と低級金属窒化膜とが積層形成されてなることを特徴とする。また、本発明に係る他の薄膜型ＮＤフィルター６１は、光透過性の基板６２上に１層以上の透明誘電体膜６３ａ，６３ｂ，６３ｃと光吸収膜６４ａ，６４ｂとが積層形成されてなる薄膜型ＮＤフィルターであって、上記透明誘電体膜６３ａ，６３ｂ，６３ｃは同一膜内において略等しい膜厚を有し、上記光吸収膜６４ａ，６４ｂは同一膜内において異なる膜厚を有することを特徴とする。 （もっと読む）