【課題】使用波長ごとにビームスプリッタを交換しないことによって、簡便でコンパクトな光学機器を提供する。
【解決手段】直線偏光を試料に照射して、前記試料から放射される光線を検出する光学機器において、実質的に波長依存性のない平行平面板ガラス５を、前記直線偏光の照明光路と前記光線の検出光路の合成部分に配置し、前記直線偏光を前記平行平面板ガラス５へＳ偏光で入射してその反射光を前記試料へ導き、前記試料からの前記光線は前記平行平面板ガラス５を透過させて検出することを特徴とすることによって解決される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数のスライス画像を同時取得することが可能であり、しかもそれらのスライス画像の高さ関係を変更することのできる共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】共焦点顕微鏡は、点光源（２３１）を形成する点光源形成光学系（２４）と、前記点光源から射出した照明光を試料上に集光する集光光学系（２５，２６）と、前記照明光に応じて前記試料から射出し前記集光光学系へ入射した観察光を、前記照明光の集光点と共役な位置に配置された共焦点絞り部（２８０）を介して検出器（５７）で検出する検出光学系（２４，２７，５７）とを備え、前記点光源形成光学系と前記検出光学系とからなる照明検出ユニット（１００）は、前記集光光学系の光軸方向に亘って複数化されており、複数の前記照明検出ユニット（１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ）は、前記点光源と前記共焦点絞り部との光学的関係を個々のユニット内で保持しつつ、前記点光源から前記集光光学系までの光学的距離をユニット毎に調節することが可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】波面収差補償技術を採用して広範囲の対象物について観察または計測をすることができる観察装置を提供する。
【解決手段】観察装置１は、光源部１０、二軸走査系２０、波面変調部３０、光分岐部４０、光検出部５０、波面検出部６０および制御部７０等を備える。波面変調部３０は、入力光の収差を補償する補償用位相パターンを呈示するとともに、入力光を第１および第２の光に分岐する分岐用位相パターンを呈示する。波面検出部６０は、入力された光を受光して、その光の波面を検出する。波面検出部６０による光の波面歪みの検出と、この検出結果に基づく制御部７０による位相パターンの調整と、波面変調部３０による位相パターンの呈示と、を含むループ処理において、波面収差補償を行う為の補償用位相パターンはフィードバック制御される。 （もっと読む）

【課題】被写体を多様な方向から観察しつつコストダウン、小型化を図る上で有利なビデオマイクロスコープおよび観察用アダプタを提供する。
【解決手段】撮像装置１４の撮像光学系３６は、載置面３０の上方から被写体２に光軸Ｌを向けて被写体２の像を撮像素子３８に導くものである。撮像装置用支持機構１６は、載置面３０と直交する旋回中心軸Ｘを中心に撮像装置１４を旋回可能に支持する。第１ミラー２４および第２ミラー２６は、載置面３０と撮像光学系３６との間に設けられ被写体２の像を被写体２から撮像光学系３６に導くまでの光路を屈曲させて撮像光学系３６に導く撮像光学系３６の光軸Ｌを含む単一の平面上を延在する屈曲光路４６を形成する。ミラー用支持機構２８は、第１、第２ミラー２４、２６を撮像光学系３６の光軸Ｌ回りに回転可能に支持する。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡が受ける振動による像ぶれを補正し、像ぶれのない標本像の観察が可能な顕微鏡と、これに用いられる像ぶれ補正結像レンズと、顕微鏡の像ぶれ補正方法を提供すること。
【解決手段】ステージ１４と、対物レンズ１７と像面Ｉ１、Ｉ２との間に配置された結像レンズ１８と、前記結像レンズを光軸に直交する平面内で移動させる駆動装置と、前記結像レンズの光軸に対して直交する平面における前記対物レンズと前記ステージとの位置の変位量を検出する少なくとも１つの変位検出センサーＳ１と、前記変位検出センサーが検出した信号に基づき、前記駆動装置を駆動して前記結像レンズを移動し、前記像面における像ぶれを補正する制御装置２２と、を有することを特徴とする顕微鏡１。 （もっと読む）

【課題】安定して所望の動作をすることが可能で小型化可能な観察装置等を提供する。
【解決手段】光源１１から出力される第１の方位の直線偏光のコヒーレントな第１の光は、空間光変調器５１において画素毎に位相変調されて出力され、結像レンズ６１によりフーリエ変換されて対象物９１において結像される。光源２１から偏光選択部２２を経て出力される第２の方位の直線偏光の第２の光は、空間光変調器５１において位相変調されることなく出力され、結像レンズ６１を経て対象物９１に照射される。結像レンズ６１により第２の光が対象物９１に照射されて生じる光（反射光、散乱光）は観察部３１に入力され、この入力光に基づいて対象物９１が観察される。 （もっと読む）

【課題】安定して所望の動作をすることが可能で小型化可能な観察装置等を提供する。
【解決手段】光源１１から出力される第１の方位の直線偏光のコヒーレントな第１の光は、空間光変調器５１において画素毎に位相変調されて出力され、結像レンズ６１によりフーリエ変換されて対象物９１において結像される。光源２１から出力される第２の光は、空間光変調器５１および結像レンズ６１を経て対象物９１に照射される。結像レンズ６１により第２の光が対象物９１に照射されて生じる光（反射光、散乱光）のうち第２の方位の直線偏光の光は偏光選択部２２を経て観察部３１に入力され、この入力光に基づいて対象物９１が観察される。 （もっと読む）

【課題】観察方法の切換え時の光軸上に対する素子の挿脱操作を１回でも少ない回数で行える操作性のよい顕微鏡を提供する。
【解決手段】コンデンサレンズ５ＡにおいてＲＣスリット２１と同一光軸上に配置されてＲＣスリット２１と一体で照明光軸Ｌ１上に挿脱可能なＲＣ観察用ポラライザ２２を備えるとともに、ＲＣスリット２１の照明光軸Ｌ１上への挿脱とは独立して照明光軸Ｌ１上に配置されるＤＩＣ観察用ポラライザ２３を備えるので、観察方法の切換え時には、ＲＣ観察用ポラライザ２２の挿脱切換えをＲＣスリット２１の挿脱切換えと別個に行う必要がなく、挿脱操作の回数を減らすことができるようにした。 （もっと読む）

本発明は、走査型顕微鏡でサンプルを結像する方法に関し：
‐検出器の露出段階を開始するステップ；
‐該検出器において該サンプルの光学画像を生成するステップ；
‐該露出段階を終了するステップ：
を含む。
本発明に従って、光学画像を生成するステップは、検出器においてその光学画像をずらすステップを含む。有利にも、その光学画像をずらすステップは、検出器においてその光学画像を閉鎖した線に沿ってずらすステップを含む。
本発明は、また、走査型顕微鏡に対する結像システムに関し、当該結像システムは：
‐検出器；
‐サンプルの光学画像を該検出器において生成するためのレンズ系；及び
‐該検出器の露出段階の間に該検出器における光学画像をずらすための画像変位手段；
を含む。
有利にも、該画像変位手段は、サンプルから検出器までの光学経路に配置された回転可能なミラーを有する。
本発明は、上記で特定されたような結像システムを有する走査型顕微鏡にさらに関連する。有利にも、その走査型顕微鏡は、サンプル内において光点のアレイを生成するための手段を有する。
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【課題】本発明は、高分解能、高効率な近接場光プローブを提供することを目的とする。
【解決手段】基板表面に形成された幅が徐々に小さくなった平面状の散乱体11を用いて近接場光を発生させる。このとき散乱体11の面積を光スポットの面積より小さくし、さらに散乱体の材質、形状、寸法をプラズモン共鳴が発生するように設定することにより、近接場光強度を増強する。
【効果】 光の光利用効率の近接場光発生装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】より確実に標本を観察できるようにする。
【解決手段】コントローラ１２は、標本上の共振型スキャナ２６により励起光が走査される領域と、ガルバノスキャナ２５により刺激光が走査される領域とを一致させるために、ガルバノスキャナ２５の駆動信号を補正する補正値を求める。そして、ガルバノスキャナ２５および共振型スキャナ２６を同時に駆動させて、標本を共焦点観察する場合、コントローラ１２は、求めた補正値により駆動信号を補正し、補正後の駆動信号によりガルバノスキャナ２５を駆動させる。本発明は、共焦点顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】安価で高精度且つ高速に高さ情報を測定可能な走査型レーザ顕微鏡を提供することを課題とする。
【解決手段】光偏向器９により被検物３上をライン状に走査して得られる１ライン分の高さプロファイルを、その走査方向に所定量だけずらしながら複数取得する。演算処理部１９は、取得した複数の高さプロファイルを繋ぎ合わせて１つのプロファイルを求める。 （もっと読む）

【課題】
励起光の波長の切換時に使用の光学素子の交換または特殊な調整を行う必要なく、波長の異なる励起光の差込入射が可能であるよう、蛍光励起に適する光源の光路、好ましくは、共焦レーザ走査顕微鏡の光路の光学装置を構成、改良することにある。
【解決手段】
少なくとも１つの光源（２）の励起光（３）を顕微鏡に差込入射し且つ物体（１０）で散乱、反射された励起光（３）を分離抽出するまたは物体（１０）から検知光路（１２）を介して来る光（１３）から励起波長を分離抽出する少なくとも１つのスペクトル選択素子（４）を有する形式の、蛍光励起に適する光源の光路、好ましくは、共焦レーザ走査顕微鏡の光路の光学装置は、簡単な構造で構成を変更できるよう、スペクトル選択素子（４）によって、波長の異なる励起光（３，９）を分離抽出できることを特徴とする。代替方策として、この種の光学装置は、スペクトル選択素子（４）を分離抽出すべき励起波長に設定できることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ステージの移動量を明確に表示でき、かつ簡素な構成で利便性の高い顕微鏡を提供することができるようにする。
【解決手段】ステージ２０の上板２３がＸ方向であって、図中左方向にフルストローク移動させられたことにより、指標５２がＸ方向スケール５１のメモリ「２０」を指しており、この状態から上板２３をさらに左方向に移動させることはできない。上板２３が図中左方向にフルストローク移動させられた状態であっても、観察者は、ステージ２０の最も上側に位置する上板に取り付けられたＸ方向スケール５１を指標５２とともに常に視認できることは勿論、ステージ２０において、上板２３の下に位置する中板２２に取り付けられたＹ方向スケール５３も指標５４とともに常に視認できる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ端面部の画像取得において、複数の場所の像の向きがそろう光学系の装置の提供。
【解決手段】結像光学系は、集光レンズ２、視野絞り４、リレーレンズ５、ロンボイドプリズム６Ａ、および落射照明ユニット１０から構成され、ウエハ１の端面部である、上側周辺部＋上ベベル部、下側周辺部＋下ベベル部の像の偏向後の光が１つに合成されるように複数配置される。このとき、複数の結像光学系のそれぞれにおける光を偏向する回数は、偶数回または奇数回でそろっており、撮像素子７は、複数の結像光学系のそれぞれによる、偏向後の端部の各部位の像を同一の面で撮像する。 （もっと読む）

【課題】主たる観察者の観察野を遮ることなく、容易に助手用観察光学系の位置を変更できる実体顕微鏡を提供する。
【解決手段】手術用顕微鏡１（実体顕微鏡）は、術者用顕微鏡６内の観察光学系３０と、助手用顕微鏡７内の助手用光学系を有する。助手用顕微鏡７は、対物レンズ１５の光軸Ｏに平行な軸を中心に回転可能である。それにより、術者の右側と左側に助手用顕微鏡７を切り替えて配置できる。反射部材５０は、照明光の光路や観察光学系３０に入射する照明光の反射光の光路から退避した位置に設けられ、対物レンズ１５を経由した反射光を光軸Ｏと異なる方向に反射する。助手用顕微鏡７の位置が変更されると、ギア６０、６１及び駆動軸６２の動作により、光軸Ｏに直交する軸Ａを中心に反射部材５０が回転される。それにより、反射部材５０は、対物レンズ１５を経由した反射光を位置変更後の助手用顕微鏡７に導く。 （もっと読む）

【課題】光源から出力される光の光路内に空間光変調部材が配置された場合であっても、光源の高出力化によるデバイスの製造効率の向上に貢献できる照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】露光装置１１は、露光光源１２から出力された露光光ＥＬをレチクルＲに導く照明光学装置１３を備えている。この照明光学装置１３は、アレイ状に配列された複数の可動マルチミラー２２を備え、各可動マルチミラー２２は、可動する反射面を有する複数の要素ミラーをアレイ状に配列することによりそれぞれ構成されている。また、全ての可動マルチミラー２２は、露光光源１２から出力される露光光ＥＬの光路内にそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】倒立顕微鏡の視認性、操作性、作業性の向上を図る。
【解決手段】倒立顕微鏡では、結像光学系２０２の光路P１５と光路P１７とが、上方から見たときに、互いに直交するように、各光路が設定されている。即ち、図示はしないが、この倒立顕微鏡には、結像光学系２０２の光路P１３乃至光路P１７を伝搬した光を観察者に導く接眼光学系が存在する。この接眼光学系から観察者への観察対象２１０からの光の射出方向と直交する方向に、光路P１５が形成されている。本発明は、倒立型顕微鏡に適用可能である。 （もっと読む）

既知の走査型共焦点顕微鏡システムは、共焦点走査ヘッドに対して光を与えるために光ファイバを用いる。ファイバからの照射は一様でなく、ファイバ内には大きな光損失が生じ得る。この発明によれば、光源からの光ビームを走査型共焦点顕微鏡システムの共焦点走査ヘッドに入力するためのアセンブリが提供され、当該アセンブリは、ビーム幅調整器（６ａ、６ｂ）と、光ビームの経路を制御するためのビーム指向器（８，１０）と、前記共焦点走査ヘッドの光入力における所定の合焦点にビームを導くためのビーム合焦手段（１２）とを備える。
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【課題】構造化照明を有する顕微鏡装置において、正確な位相変化量を計算する方法を提供する。
【解決手段】撮像手段の実視野範囲内において一様に反射光を生じる標準標本が、標本１３の位置において、光学系中に挿脱可能に配置されている（図示せず）。標準標本上に形成された構造化照明の強度分布を結像系を通して撮像手段で撮像する。その画像をフーリエ変換して、周波数と位相変化量を求める。この作業を構造化照明の位相を変化させるたびに行い、回折格子３のステップ移動量に対する、画像の位相変化量を求める。 （もっと読む）