【課題】光学系の小型化を実現できるとともに高い観察性能を得ることができること。
【解決手段】走査型共焦点顕微鏡１００は、標本１の共役面上に配置され、標本１上の異なる領域から発する複数の観察光を選択的に反射させるとともに観察光ごとに反射領域を所定領域に制限するマイクロミラーアレイ４と、マイクロミラーアレイ４が反射させた複数の観察光を１以上の観察光ごとに光検出器１８へ向けて順次偏向させて光検出器１８に入射させるガルバノミラー１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】微細な試料の表面各部の高さ情報から当該表面の画像を得るための新たな手法を提供する。
【解決手段】三次元形状測定器により取得された試料の表面各部の高さを示す高さ情報が高さ画像記憶部２０１で記憶される。画像−擬似輝度画像変換部２０７は、まず、当該試料の表面各部の高さ情報に基づいて当該表面各部の傾きを示す傾き情報を算出する。そして、この表面各部の傾きを当該試料表面の画像における当該表面各部の輝度に対応付けて当該画像における輝度情報を生成し、この輝度情報を用いて当該試料表面の輝度画像を構築する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、透明標本及び褪色が危惧される蛍光標本に対して、褪色することなく、標本位置（カバーガラス）を自動判別する標本スキャナ装置を提供する。
【解決手段】スライドガラスに標本を載置し、該標本を保護する標本保護部材で該標本を覆った該スライドガラスをステージに載置して、該標本を観察する顕微鏡に用いられる標本スキャナ装置は、前記スライドガラスに対して所定のレーザー光を相対的に走査させる走査制御手段と、前記走査されたレーザー光の反射光の光強度を検出する光強度検出手段と、前記走査制御手段により走査された前記スライドガラス上の位置と、前記光強度検出手段により検出された該位置に対応する前記反射光の光強度と、に基づいて、前記スライドガラス上の前記標本保持部材の位置を認識する標本保持部材認識手段と、を備えることにより、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】試料における集光位置の深さが変動することによる散乱の変化に関わらず、簡易に鮮明な蛍光画像を取得する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源と、該レーザ光源から出射されたレーザ光を試料Ａ上において走査させる走査部と、走査されるレーザ光の試料Ａ内における集光位置の深さを調節する集光深さ調節部と、試料Ａ内におけるレーザ光の集光位置から発せられる蛍光を検出する蛍光検出部と、集光深さ調節部によるレーザ光の試料Ａ内における集光位置の所定の基準深さの絶対高さＺ_１０を記憶する基準深さ情報記憶部と、レーザ光の各集光位置における、基準深さの絶対高さＺ_１０に対する相対高さｄ_１〜ｄ_５とレーザ光源、走査部または蛍光検出部の少なくとも１つの設定値ＨＷ_１〜ＨＷ_５とを対応づけて記憶するハードウェア設定記憶部とを備える走査型光学装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】反射率の異なる部分を有する被測定物上の被測定面の高さを高速で測定することができる表面測定装置を提供する。
【解決手段】共焦点光学系２を有した表面測定装置１であって、この共焦点光学系２の対物レンズ２７と結像レンズ２５との間に、この対物レンズ２７と同軸に設けた遮光板２６と、この対物レンズ２７と同軸に、被測定面６ａにレーザ光を照射するレーザ発振器２０と、前記対物レンズ２７を介して前記被測定面６ａの像の輝度を検出する光検出手段２１と、この共焦点光学系２の焦点面を被検物に垂直に相対移動させるピエゾ素子２５ａとを有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】蛍光顕微鏡にあっては、励起光を照射して発生した蛍光を検出するのが一般的であるが、蛍光が可視光である必要なため、可視光を発生させるための制約があり、可視光以外は検出できなかった。
【解決手段】試料・物質から発生する紫外、可視、赤外にかかわらず発生した放射線をダイクロイックミラーを介して複数の狭帯域の波長に分離・分割し、これらの各狭帯域の波長に虹色の一色を割り当て、虹色で各波長を表示する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの倍率と走査手段による照明光の偏向角と、これに基づく総合倍率との関係を理解した上での操作をユーザに強いることなく簡易に最適な調節を可能とする。
【解決手段】標本Ａに対して照明光を集光する対物レンズ６と、照明光を偏向して走査させる走査手段３と、該走査手段３により走査された照明光を対物レンズ６の瞳へ投影する瞳投影光学系４，５と、総合倍率を指定する総合倍率指定部２４と、対物レンズ６および瞳投影光学系４，５を含む光学系４，５，６の倍率が指定された総合倍率以下であり、光学系４，５，６の開口数が最大となるように、対物レンズ６および瞳投影光学系４，５の少なくとも一方を切り替える光学系選択部１４と、光学系４，５，６の倍率と総合倍率との比に基づいて、総合倍率が達成されるように、走査手段３による照明光の偏向角を決定する偏向角決定部１５とを備える走査型顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】異なる波長のレーザ光を照射して得られる複数の蛍光画像間における画素ずれをなくして、アンミキシング処理を精度よく行って、複数種類の蛍光を含んだ蛍光画像から個々の蛍光を分離することを可能とする。
【解決手段】異なる波長のレーザ光を切り替えて出射可能なレーザ光源８と、出射されたレーザ光の光軸ずれを補正するための補正量を決定する補正量決定部と、レーザ光の光軸を調節する光軸調節部１１と、レーザ光を２次元的に走査する走査部１４と、走査されたレーザ光を標本Ａに集光する一方、標本Ａにおいて発生する蛍光を集光する対物レンズ１５と、集光された蛍光を検出する光検出器２９と、走査部１４によるレーザ光の走査に同期して、レーザ光源８から出射されるレーザ光の波長を切り替えるとともに、補正量決定部により決定された補正量に基づき光軸調節部１１を制御する制御部５とを備える走査型レーザ顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】長時間にわたる経時的な観察を行う場合においても、レーザ光の光軸の位置ズレを精度よく補正して、安定した観察を行う。
【解決手段】光源７と、強度変調器８と、強度変調されたレーザ光Ｌを走査するスキャナ１４と、レーザ光Ｌを標本Ａに集光し、標本Ａにおいて発生した蛍光を集光する対物レンズ１５と、集光された蛍光を検出する光検出器１７と、強度変調器８と対物レンズ１５との間において、光源７からのレーザ光Ｌの位置ズレを検出するレーザ位置検出部１１およびその検出結果に基づいて位置ズレを補正するレーザ位置補正部１０と、これらを制御する制御部４とを備え、制御部４が、光検出器１７およびスキャナ１４を作動させる蛍光検出開始時刻から強度変調器８を安定させるのに要する時間と、レーザ光Ｌの位置ズレ検出および位置ズレ補正に要する時間との和だけ遡った時刻より前に強度変調器８を作動させるよう制御する顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズを切り替えることなく、細径の対物レンズを使用した実験小動物等の生きたままの観察において、広視野観察と高倍率観察とを切り替えて行うことを可能とする。
【解決手段】該対物レンズ８により集光された光を検出装置１０に結像させる結像レンズ９と、正パワーを有する補助光学系１１と、該補助光学系１１を対物レンズ８と結像レンズ９との間の光路に挿脱可能にする補助光学系挿脱装置１１ａと、補助光学系１１の挿脱に伴って生じる対物レンズ８の作動距離の変動に応じて、対物レンズ８と観察対象Ｂとの距離を変化させる作動距離補正装置６と、該作動距離補正装置６と補助光学系挿脱装置１１ａとを連動させる連動装置７とを備える顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】偏光異方性の高い検出能力を備えたレーザー走査型顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の上記課題は、レーザー光源からの直線偏光を試料に照射して、試料から発せられた蛍光の前記直線偏光と直交した偏光成分と、前記直線偏光と平行な偏光成分とを計測するレーザー走査型顕微鏡において、前記レーザー光源と前記試料の間の光路中に、入射光の偏光成分を分離しかつ外部信号により偏光成分の配分を制御する偏光分離光学素子を備え、前記、入射光の偏光成分を分離しかつ外部信号により偏光成分の配分を制御する偏光分離光学素子から射出される互いに直交する角度の直線偏光を前記試料に交互に照射することで解決される。 （もっと読む）

【課題】生きた動物観察に適し、内部フォーカス機構を有するコンパクトな光走査型観察装置を提供する。
【解決手段】標本Ａを照明するための光源２と、照明光を標本Ａに集光する対物光学系１０と、集光された検出光を照明光から分離する検出光分離手段１２と、分離された検出光を集光する検出光集光光学系１３と、集光された検出光を検出する検出器２０と、光検出光分離手段１２と対物光学系１０との間に配置されたフォーカス走査手段と、フォーカス走査手段と対物光学系１０との間に配置され、光源２からの照明光を標本Ａ上で光軸に対して略垂直方向に走査する横方向走査手段７とを備え、フォーカス走査手段が、少なくとも正レンズ群Ｇ_１と負レンズ群Ｇ_２とで構成されるフォーカス光学系６と、該フォーカス光学系６に含まれる少なくとも１群のレンズ群を光軸方向に動かして対物光学系１０の作動距離ＷＤを変化させるレンズ駆動手段６ａとを備える光走査型観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】カップリングレンズ以降において発生した光軸ズレによる光ファイバへの結合効率の低下を防止する。
【解決手段】短パルスレーザ光を出射する短パルスレーザ光源５と、該短パルスレーザ光源５からの短パルスレーザ光の分散を補償する分散補償光学系６と、該分散補償光学系６により分散を補償された短パルスレーザ光を顕微鏡本体３に導く光ファイバ７と、該光ファイバ７のコアに入射させる短パルスレーザ光を集光させるカップリング光学系８と、光ファイバ７のコアに入射させる短パルスレーザ光の光軸を調節するビーム位置補正機構９と、光ファイバ７の出射端７ｂと顕微鏡本体３との間に配置され、光ファイバ７から出射される短パルスレーザ光の光量を検出する光量検出器１０とを備える顕微鏡用照明装置２を提供する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズを交換しないで、倍率及び／又は検出範囲を変えることのできる顕微測定装置を提供する。
【解決手段】鏡筒１１に対して固定され、対物レンズＬｏからの平行光線を集光するための第１の中間レンズＬ１と、前記対物レンズＬｏ及び前記第１の中間レンズＬ１を通る光を一部通過させ一部を曲げるハーフミラーＨＭと、前記ハーフミラーＨＭによって曲げられた光の通る位置に、当該光路Ｃに沿って移動可能に設置された第２の中間レンズＬ２と、前記第２の中間レンズＬ２の先に設けられ光路Ｃに沿って移動可能に設置された検出器１６と、前記サンプルＳからの光が第２の中間レンズＬ２によって絞られた集光点に、前記検出器１６の結像位置が合うように、前記第２の中間レンズＬ２と検出器１６を移動させる移動機構Ｍ１，Ｍ２と、前記移動機構Ｍ１，Ｍ２の移動量を調節する制御部１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】光変調素子を共焦点ピンホールとして利用することにより試料の鮮明な共焦点画像を得ることができ、かつ、そのような鮮明な共焦点画像をリアルタイムに２次元的な画像を構築する。
【解決手段】光源１と、２次元配列された複数の微小光変調要素２９を備え、オン状態に作動される該微小光変調要素２９を一方向に切り替える微小光変調要素アレイ７と、微小光変調要素アレイ７を通過した照明光を集光して試料１９に照射する一方、試料１９からの光を集光する対物レンズ１１と、２次元配列された複数の画素を有し、試料１９からの光を検出する光検出器１７と、微小光変調要素アレイ７と対物レンズ１１との間に配置され、照明光を微小光変調要素２９の切替方向と直交する方向に走査する第１のスキャン手段９と、光検出器１７と微小光変調要素アレイ７との間に配置され、対物レンズ１１により集光され、第１のスキャン手段と同じ方向に走査する第２のスキャン手段５３とを備える走査型顕微鏡１０Ｄを提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、励起光波長を高速に切り換えることができるレーザー走査型顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の上記課題は、複数波長のレーザーを切り換えて試料に照射するレーザー走査型顕微鏡において、前記複数波長のレーザーを入射し、所望の波長のレーザーのみを選択的に前記試料に照射するための光路に射出する電気光学結晶と、前記所望の波長のレーザーによって励起された前記試料内の蛍光物質から放射された蛍光が前記電気光学結晶を通過した後の結像面に配置される、前記電気光学結晶の屈折率傾斜の方向に開口した共焦点スリットとを備え、前記電気光学結晶に印加する電圧を制御することによって、前記所望の波長のレーザーを動的に切り換えることによって解決される。 （もっと読む）

【課題】対物レンズから標本に向けて照射されるレーザ光の光軸を精度よく補正する。
【解決手段】２以上の波長のレーザ光を発振可能なレーザ光源２と、該レーザ光源２からのレーザ光を２次元的に走査する走査部４と、該走査部４により走査されたレーザ光を標本Ａ上に集光する対物レンズ５と、レーザ光源２から発せられるレーザ光の光軸ずれ量を検出する光軸ずれ検出部９と、対物レンズ５と光軸ずれ検出部９との間に、レーザ光の波長に応じて切替可能に配置された光学素子６と、該光学素子６の切り替えによるレーザ光の補正情報を記憶する記憶部１２と、光軸ずれ検出部９とレーザ光源２との間に配置され、光軸ずれ検出部９により検出された光軸ずれ量と、記憶部１２に記憶された補正情報とに基づいて、レーザ光の光軸を補正する光軸補正部１０とを備えるレーザ顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の複数の検査部位の表面高さを共焦点法により一括して測定する際に、各検査部位からの反射光線の干渉を防止できる。
【解決手段】広帯域波長の光線を複数に分割する伝送手段２と、分割された各光線の波長を異ならせるように選択する第１波長選択手段３と、波長選択された各光線を各検査部位に集光し、反射光線を受光する送受信手段５と、各検査部位からの反射光線を集光させる集光手段７ａ、７ｂと、集光された各反射光線を通過させる開口手段８と、各反射光線の波長を選択して他との干渉を避ける第２波長選択手段１０と、波長選択後の各反射光線の光量を検出する光検出器１１と、共焦点の原理により、検査部位の位置が送受信手段の焦点と一致した場合に反射光線の集光径が最小となり、光量が最大となるため、検出光量が最大となる送受信手段の位置を表面高さとして、各検査部位の表面高さを求める表面高さ演算手段１２とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】単一の光ファイバーを用いて多波長のレーザ光を照明光とした場合の照明光学系の色収差による全反射照明ずれを補正可能な全反射蛍光観察を提供すること。
【解決手段】対物レンズ２３を介して標本４１に全反射照明を行う全反射顕微鏡１であって、異なる波長の複数の光源１１、１２からの照明光を導く導光光学系５と、前記導光光学系５から射出した前記照明光を、前記対物レンズ２３の瞳面２５の全反射照明範囲に集光させる照明光学系７と、前記照明光学系７の色収差による前記全反射照明範囲からの集光ずれを補正する補正手段４３、４５とを有する全反射顕微鏡１。 （もっと読む）

【課題】基板に焦点が合っているか否かを検出するための煩雑かつ複雑な部品を必要としない方法及び装置を提供する。
【解決手段】基板がレンズのスキャトロメータの焦点面内にあるか否かを検出するため、スキャトロメータの光学システムの後側焦点面の前後において、所定値以上の放射の断面エリアを検出する。好ましくは、後側焦点面の前後にある検出位置を、反射した放射のパスに沿って後側焦点面から等距離におくことによって、基板がスキャトロメータの焦点面内にあるか否かを単純な比較により判断することができる。 （もっと読む）