【課題】
【解決手段】光学システムが、少なくとも４つのミラー及び焦点調節光学系を有する対物光学系を含み、これらのミラーは２０：１以下のアスペクト比を有する最外部のミラーを含み、焦点調節光学系は屈折光学素子を含む。対物光学系は、０．７以上の開口数及び３５％の中心不明瞭化で結像を行う。対物光学系は２つ以上のミラーを有することができ、１つは、最外部のミラーの中心開口を密封する屈折モジュールを有する。広帯域撮像システムが、１つの対物光学系及び２つ以上の結像経路を含むことができ、これらの結像経路は、０．７以上の開口数及び０．８ｍｍ以上の視野で結像を行う。光学撮像システムが、対物光学系及び２つ以上の結像経路を具えることができる。これらの結像経路は、２つ以上のモードにおいて、試料の２つ以上の広帯域像を同時に提供することができる。これらのモードは、異なる照明及び／または集光瞳孔開口、あるいは試料における異なる画素サイズを有することができる。 （もっと読む）

【課題】収差を持たせたレンズを構成に含む光素子モジュールにおける、発光素子又は受光素子の搭載位置精度を良好に検査することが可能な搭載位置精度検査装置を提供する。
【解決手段】搭載位置精度検査装置２１は、光素子モジュール２２における発光素子２３の搭載位置精度を検査するための装置であって、撮像デバイス２４と、この撮像デバイス２４からの信号が入力される画像処理装置２５と、画像処理装置２５で処理された結果を出力するための表示装置２６とを備えている。また、搭載位置精度検査装置２１は、光素子モジュール２２の収差を持たせたレンズ２７と撮像デバイス２４との間に配置される一又は複数枚の収差補正用レンズ２８を備えて構成されている。収差補正用レンズ２８は、収差を持たせたレンズ２７の収差を補正することができるようなものとなっている。 （もっと読む）

【課題】光透過特性を劣化させることなく高屈折率化を実現したプラスチック製の光学レンズ及び、この光学レンズを含む光学系ユニットを提供する。
【解決手段】デジタルカメラの撮影光学系が、絞り４、第１レンズ５、第２レンズ６、撮像素子の光電面を保護する平行平面板７で構成されている。第１レンズ５は屈折率が１．５１０の従来のプラスチック材料で成形されたプラスチックレンズで構成される。第２レンズ６は、高分子鎖末端または側鎖に無機微粒子と化学結合する官能基を有する熱可塑性樹脂に無機微粒子を混合したナノコンポジット材料で成形された屈折率１．６５４の光学レンズである。平行平面板７は屈折率１．５１６のガラスで構成される。第２レンズ６をプラスチックレンズで構成しても、光透過特性を劣化させずに十分な値の屈折率を得ることができ、全長をコンパクトにまとめた撮影光学系が得られる。 （もっと読む）

【課題】特に半導体製造等におけるフォトリソグラフィーにおいて、光学系の特性を短時間で容易に測定できる方法及び測定を提供する。
【解決手段】レチクルと像面を互いに直交して配置する。レチクル上の複数のパターンは容積空間内に投影される。前記空間内で検出ないし記録された像を度量衡的手段で分析し、光学系の投影特性を求める。フォーカス、像湾曲、非点収差、球面収差、コマ収差、及び／又はフォーカス面ずれが測定される。 （もっと読む）

【目的】例えば、スペクトルを検出および処理するのに必要な合計捕捉時間を低減できるリソグラフィ装置内のインライン測定及び検査装置を提供する。
【解決手段】高い開口数を有する反射屈折光学システムは、広域スペクトル範囲で動作する。反射屈折光学システムは、補正板、第１の反射表面、及び第２の反射表面を備えている。補正板は、少なくとも１つの収差を補正するように電磁放射を調整する。第１の反射表面は、補正板によって調整された電磁放射を反射させるように位置決めされている。第２の反射表面は、第１の反射表面によって反射した電磁放射を基板のターゲット部分に集束させるように位置決めされている。第１の反射表面によって反射し、第２の反射表面によって集束された電磁放射は、屈折エレメントによって屈折されず、それにより反射屈折光学システムが広域スペクトル範囲で動作することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】作業の効率化を図れるとともに、被測定物に応じた観察を適切に実施可能な対物レンズ、および光学測定装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡の対物レンズ２００は、被測定物に対向するとともに、この被測定物Ａの測定面で反射した光を透過するレンズ２２２と、レンズ２２２の後段に設けられるとともに、レンズ２２２を透過した光の主光軸に対して略直交する光通過面における光通過孔の開口径を変更する虹彩絞り２３０と、光通過孔を通過した光を結像するズーム結像レンズを備えた胴体部のレボルバに着脱可能に設けられるとともに、レンズ２２２および虹彩絞り２３０を保持する筒状本体部２１０と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】２つのレンズセルを具える光学システムにおいて、各レンズセルは多数のレンズエレメントを具え、２つのレンズセルの距離を変えることによって広い距離範囲と広い倍率の範囲を提供する。実施例はまた、計測機器の視野内で走査可能なレーザ光学分光測定を提供する。 （もっと読む）

【課題】小さいスペースで迅速かつ高精度に複数の視野を切り替えることができる視野切替部、及び、該視野切替部を備える小型かつ高性能な赤外線誘導装置の提供。
【解決手段】検知器に入射赤外線を集光する集光光学系３に視野切替部５を設け、視野切替部５を、光軸（高視野光軸１５ａ及び狭視野光軸１６ａ）が一点で交差するように配置された複数の視野のレンズ群（高視野用レンズ１５及び狭視野用レンズ１６）と、これらを支持する支持体１７とで構成し、支持体１７に、複数の光軸が交差する点を通り複数の光軸を含む面に直交する方向に延びる回転軸１８を設け、視野切替部５を回転軸１８を中心に回転させることによって集光光学系３を構成するレンズ群を切り替えて、複数の視野の切り替えを可能にする。 （もっと読む）

【課題】 可視域の光に対して軸上色収差および倍率色収差が良好に補正され、且つ広い視野範囲において中心部から最周辺部まで所要の高解像力を確保することのできる結像光学系。
【解決手段】 第１面と第２面とを光学的に共役にする本発明の結像光学系は、第１面側から順に、第１面側に凹面を向けた負メニスカスレンズ（Ｌ１１）と、正レンズ（Ｌ１２）とを有する第１レンズ群（Ｇ１）と、正レンズ（Ｌ２１）と負レンズ（Ｌ２２）とからなる接合レンズ（Ｓ２１）を有する第２レンズ群（Ｇ２）と、開口絞り（ＳＰ）と、第１面側に凹面を向けた負メニスカスレンズ（Ｌ３１）と第２面側に凸面を向けた正メニスカスレンズ（Ｌ３２）とからなる負屈折力の接合レンズ（Ｓ３１）を有する第３レンズ群（Ｇ３）と、正屈折力の接合レンズ（Ｓ４１）を有する第４レンズ群（Ｇ４）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】複数の撮像光学系を含む撮像装置において、簡素化、小型化等を図る。
【解決手段】被写体光を複数の光路に分割してそれぞれの光路上で被写体を撮像するべく、被写体光の主光線を光軸Ｌと平行に導く物体側テレセントリックレンズ光学系３０、物体側テレセントリックレンズ光学系の出射光を複数の光路に分割する光路分割要素４０、光路分割要素により分割された複数の光路上に配置された複数の撮像レンズ光学系５０、７０を含む。これにより、被写体が所定の撮像位置から変動しあるいは周辺領域を撮像する場合でも、物体側テレセントリックレンズ光学系により、被写体の変動あるいは撮像領域に影響されない高精度な画像を撮像することができる。又、複数の撮像レンズ光学系５０，７０は、単一の物体側テレセントリックレンズ光学系３０を共用するため、部品点数を削減でき、構造の簡素化、装置の小型化、低コスト化等を達成できる。 （もっと読む）

【課題】 設計および製作の容易な簡素な構成にしたがって、球面形状の被検面の面形状を高精度に測定することのできる面形状測定装置。
【解決手段】 球面形状の被検面（２０ａ）の面形状を測定する本発明の面形状測定装置は、反射した球面波の光を被検面に直入射させるためのミラー（３）と、被検面で反射された光に基づいて被検面の面形状を測定するための測定部（１，２）とを備えている。測定部は、ミラーの前側に配置された参照面（２ａ）で反射された参照光と被検面で反射された測定光との干渉に基づいて被検面の面形状を測定するための干渉計（１）を有する。ミラーは、入射した平行光を球面波の光に変換して被検面の曲率中心（２０ｂ）に集光させるための放物面ミラーを有する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図るとともに、書込み位置情報の誤信号の発生を抑えることのできる光走査装置を得る。
【解決手段】レーザダイオード１と、レーザダイオード１から放射された光束を主走査方向Ｙに偏向するポリゴンミラー５と、ポリゴンミラー５にて偏向された光束を被走査面（感光体ドラム）上に結像する走査レンズ１１，１２と、画像の書込み位置を検出するためにポリゴンミラー５からの光束を受光するセンサ２５と、ポリゴンミラー５からの光束をセンサ２５に導くための光路折曲げ部材２１と、を備えた光走査装置。光路折曲げ部材２１から出射されてセンサ２５に向かう光束が、ポリゴンミラー５側に配置されている走査レンズ１１の前面を主走査方向Ｙに横切り、かつ、副走査方向Ｚに走査される。 （もっと読む）

【課題】従来の光信号処理装置においては、単レンズを含む空間光学系において発生する光結合損失の低減が十分でなかった。性能の良いレンズは製作が難しく、高価であった。また、光信号処理装置の製造時における調整加工が複雑となり、製造コストが高いという問題点があった。さらに、光学系における反射減衰量を確保し、クロストーク量を低減する必要があった。
【解決手段】ＴＡＳの低減に着目して、各レンズ面の屈折力（Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４）をパラメータとして、本発明のレンズ構成を見出した。従来技術の単レンズではなく、２群２枚レンズにおいて、２枚のレンズの焦点距離が近く（Ｄ１ｆ＋Ｄ２ｆ≒Ｄ３ｆ＋Ｄ４ｆ≒０．５）、かつ、第２の集光レンズが、凸側を第１の集光レンズ側に向けた平凸レンズである場合（Ｄ３ｆ≒０．５）に、波長依存の光結合損失が著しく小さくなることを見出した。 （もっと読む）

【課題】標準的な商業的光学ペンに適合する寸法を有しながら、改良された範囲検知性能を与えるレンズ構造を与える。
【解決手段】色分散レンズ構造は、色範囲検知のために光学ペン中で利用される。レンズ構造は、負パワー複レンズと正パワーレンズ部分を含む。正パワーレンズ部分に含まれるレンズのアッベ数は、複レンズの２つの部分のアッベ数の間にある。複レンズの２つの部分で使用された材料のアッベ数の間の関係は、同様の形状寸法の標準的な複レンズで用いられるそれらの関係と、ほぼ逆である。複レンズは、正レンズ部分で生ずる正の球面収差を効率的に打ち消す負の球面収差を有する。１つの実施形態において、レンズ構造中の全てのレンズ要素は球面レンズである。 （もっと読む）

【課題】 投影露光装置の投影光学系の波面収差を投影露光装置上で直接測定可能と
する露光装置を実現すること。
【解決手段】 第１物体のパターンを第２物体上に投影する投影光学系と、
前記投影光学系の光学特性を測定する干渉計と、を備え、
前記干渉計は、光源からの光を前記第１物体側又は第２物体側から前記投影光学系に導く対物レンズを有し、
前記対物レンズは、前記干渉計の他のレンズとは独立して、前記第１物体のパターンが位置する面に沿って移動可能であること。 （もっと読む）

【課題】可視領域の全ての波長において良好なスリットの結像性能を有し且つ大量生産に向く凹面回折ミラー及びこれを用いた分光装置を提供する。
【解決手段】凹面で且つ非球面であるとともに表面に回折格子が形成された反射面、を備える凹面回折ミラーであって、回折格子は、反射面の中心点を通る面であるとともに該回折格子の分散方向の面である基準面に対して面対称な形状であり、且つ、前記中心点を通る仮想的な基準球面の該中心点での仮想的な接平面に対して該接平面法線方向に投影してなる形状が基準面と直交する方向に直線となる形状であり、反射面の基準面方向における断面形状は、前記中心点を挟んだ一方側の断面形状の曲率が該中心点からの離間距離が大きくなるほど基準球面の曲率よりも小さくなり、他方側の断面形状の曲率が該中心点からの離間距離が大きくなるほど基準球面の曲率よりも大きくなる形状である凹面回折ミラーとする。 （もっと読む）

【課題】赤外線撮像用光学系及びレーザ測距用受信光学系の二つの光学系の対物レンズを共用化しても、収差が発生しなく、結像性能が低下することのない赤外線撮像・レーザ測距装置を得る。
【解決手段】赤外線撮像用光学系及びレーザ測距用受信光学系の二つの光学系の対物レンズを共用する赤外線撮像・レーザ測距装置であって、前記対物レンズとして、片面または両面に回折面を有する対物回折レンズ５を用いると共に、前記対物回折レンズ５の後方に配置され、撮像用の赤外線を反射し、測距用のレーザ光を透過するダイクロイックミラー６を備える。 （もっと読む）

【課題】反射ミラーの数を極力少なくして構成を簡単化し、レーザ光導光装置に組立てるにあたって取扱者による調整を簡易にする。
【解決手段】レーザ光導光装置１０は、アジマス軸ｐを中心に回動可能に設けられた第１の回動体１２と、第１の回動体１７の底部からアジマス軸ｐに沿って入射するレーザ光ａを受け、アジマス軸ｐとほぼ直交する方向に導光し、更に他の方向にレーザ光ａを反射することができるパラレルミラー１３と、このパラレルミラー１３にて反射されたレーザ光ａを受け、第１の回動体１２のエレベーション軸ｅ方向に光反射する第１のミラー１４と、この第１のミラー１４にて反射されたレーザ光ａを導光し、クロスエレベーション軸ｈ方向にレーザ光ａを反射する第２のミラー１５と、エレベーション軸ｅを中心として回動可能に設けられる導光体１６と、第２のミラー１５にて反射したレーザ光ａを受光する微動鏡１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光強度が大きく縦縞干渉模様を広角に投影可能な縦縞干渉模様投影レンズを提供する。
【解決手段】 縦縞干渉模様投影レンズ１は、ある方向に並列して伸びる同形状の二つの凸部３，４を有するレンズ第１面２と、レンズ第２面５とを備える。このレンズ第１面２からレーザ光を入射させると、一方の凸部３を通過した光と他方の凸部４を通過した光とが干渉してレンズ第２面５から出射される光で対象物に縦縞干渉模様を形成することができる。レンズ第１面２の二つの凸部３，４は例えば並列して直線的に伸びる形状を有するものとし、またレンズ第２面５は平面とすることができる。 （もっと読む）

【課題】光路上の空気の揺らぎや不要光による悪影響を受け難く安定した測定結果を得ることができるとともに、アライメント調整等の作業性に優れ、かつ製造後における補正加工を行うことも可能な非球面測定用素子と、このような非球面測定用素子を用いた光波干渉測定装置と方法、非球面の補正加工方法、およびシステム誤差補正方法を得る。
【解決手段】単体のレンズ部材からなる非球面測定用素子６Ａを、測定光学系と被測定体７Ａの被測定非球面７１Ａとの間に配置する。その参照基準球面６１Ａは、該球面に対し略垂直に入射された測定光の一部を透過せしめるとともに、測定光のその余を反射せしめて参照光となすものであり、反対側の非球面６２Ａは、参照基準球面６１Ａから被測定非球面７１Ａに至る測定光の各光線が被測定非球面７１Ａに略垂直に入射し、かつ該各光線の光路長が互いに略一定となるように形状設定がなされている。 （もっと読む）