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Fターム[2H087LA01]の内容

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【課題】NA>1の開口数で液浸リソグラフィを可能にする真空紫外(VUV)領域で使用するのに適する反射屈折投影対物レンズを提供する。
【解決手段】物体面101上に設けられたパターンを像面102上に結像するための反射屈折投影対物レンズ100であって、物体面上に設けられたパターンを第1中間像103に結像する第1対物レンズ部110、第1中間像を第2中間像104に結像する第2対物レンズ部120、及び第2中間像を像面上に結像する第3対物レンズ部130、を備え、第1連続鏡面を有する第1凹面鏡121と、第2連続鏡面を有する少なくとも1つの第2凹面鏡122とが、第2中間像の上流側に配置され、ひとみ面が、物体面と第1中間像との間、第1及び第2中間像の間、及び第2中間像と像面との間に形成され、すべての凹面鏡が、ひとみ面から光学的に離して配置される。 (もっと読む)


【課題】 小型化を確保した上で高速フォーカシングを行う。
【解決手段】 負の屈折力を有し固定された第1レンズ群と、正の屈折力を有する第2レンズ群と、絞りと、接合レンズから成る第3レンズ群と、正レンズから成る第4レンズ群と、フォーカス群である負レンズから成る第5レンズ群と、正レンズから成る第6レンズ群とを物体側から像側へ順に配置した。
これにより、一枚のレンズによって構成された第5レンズ群をフォーカスレンズ群として光軸方向へ移動させているため、フォーカシングを行うレンズ群の重量が小さく、小型化を確保した上で高速フォーカシングを行うことができる。 (もっと読む)


【課題】構成光学部品での光量ロスを最小化して光学系全体での光量増加を図るとともにシンプル、安価、小型化可能な投影装置を提供する。
【解決手段】投影装置は、可視光を射出する固体発光素子と、射出光をフレネルレンズ素子に導く集光用凸レンズと、両面に同一屈折力のフレネルレンズ面が形成され、両面のフレネルレンズの中心が一致し、ピッチが同一であるフレネルレンズ素子と、フレネルレンズの光射出面側に配置される画像フィルムと、画像フィルムの画像を投影するための投影レンズとを備え、固体発光素子の虚像発光点からフレネルレンズ素子の光入射側のフレネルレンズ面を見込む開口角と、投影レンズの入射瞳からフレネルレンズ素子の光射出面側のフレネルレンズ面を見込む開口角とが等しく、入射側のフレネルレンズ面に入射して射出側フレネルレンズ面から射出する光の進行方向は、光軸と平行であるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】405nmから656nmまでの波長域で収差補正された顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】液浸系顕微鏡対物レンズは物体側より正レンズ群Gaと正レンズ群Gbとレンズ群Gcとレンズ群Gdとレンズ群Geから構成される。レンズ群Gaは物体側が平面の平凸レンズと物体側が凹面のメニスカスレンズの接合レンズと2つの正単レンズからなる。レンズ群Gbは1つの3枚接合レンズからなる。レンズ群Gcは1つ以上の接合レンズを含む。レンズ群Gdは像側が強い凹面のメニスカス形状である。レンズ群Geは物体側が強い凹面の負レンズを含む。H1をレンズ群Gbから射出するマージナル光線高、H2をレンズ群Gdに入射するマージナル光線高、fを対物レンズの焦点距離、f(Gb)をレンズ群Gbの焦点距離とすると、次式を満足する。
0.5≦H2/H1≦0.75
7.8≦f(Gb)/f≦ 20 (もっと読む)


【課題】投写型表示装置において、装置の筐体とスクリーンとの距離を短縮可能とし、低コスト化、小型化、簡素化を図り、フォーカス調整時の像の劣化を抑制し、良好な投写性能を有する。
【解決手段】投写型表示装置は、屈折光学系1と、屈折光学系1と共軸系で負のパワーを持つ反射光学系2を有する投写光学系10を備える。屈折光学系1の内部に、面頂点の接平面からのサグ量が光軸から周辺へ向かうに従い縮小側へ増加する形状をともに有する隣り合う光学面で挟まれた空気間隔であって、縮小側の光学面の有効径の5割から10割の高さとなる範囲で周辺に向かうに従いその空気間隔が狭くなる狭窄空気間隔を設ける。屈折光学系1の少なくとも一部を光軸方向に移動させ、少なくとも1つの狭窄空気間隔を含む屈折光学系1の3つ以上の空気間隔を変化させることによりフォーカス調整を行う。 (もっと読む)


【課題】投写型表示装置において、装置の筐体とスクリーンとの距離を短縮可能とし、低コスト化、小型化、簡素化を図り、良好な投写性能を有する。
【解決手段】投写型表示装置は、4つのレンズ群からなる屈折光学系1と、屈折光学系1と共軸系で負のパワーを持つ反射光学系2とを有する投写光学系10を備える。画像表示素子3の表示面の中心が光軸Zに対して偏心配置され、表示面の中心の拡大側共役位置が光軸Zに対して鉛直上方に位置するとき、共役像の下端中央に結像する光束11の下光線11sと、共役像の上端中央に結像する光束13の上光線13uとの交点14が、屈折光学系1の最も反射光学系2に近いレンズ面の面頂点よりも縮小側に位置する。屈折光学系1の縮小側から2番目および3番目のレンズ群のみを光軸方向に移動させることによりフォーカス調整を行う。 (もっと読む)


【課題】BD/DVD/CDの3種類の光ディスクの互換を共通の対物レンズで行うことを可能としつつ、温度や光源の波長変化時にも高次球面収差を発生することが抑制され、また波長特性と温度特性とのバランスを良好に確保できる光ピックアップ装置用の対物レンズ、及びそれを用いた光ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】光ピックアップ装置用の対物レンズにおいて、BD/DVD/CDの3種類の光ディスクの互換を共通の対物レンズで行うことができ、対物レンズの中央領域と中間領域に重畳した基礎構造において、境界を挟んで中央領域側のピッチと中間領域側のピッチとの大小関係と、段差の向きとの関係とから、第3の光ディスク使用時にオーバーの球面収差を与えてフレア出しを行うことができるという特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】良好な光学性能及び合焦性能を有する撮影レンズ、この撮影レンズを有する光学機器、及び、撮影レンズの製造方法を提供する。
【解決手段】カメラ1等に用いられる撮影レンズSLは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、を有し、合焦に際し、第1レンズ群G1及び第3レンズ群G3が像面に対して固定され、第2レンズ群G2が光軸に沿って移動するように構成される。 (もっと読む)


【課題】良好な光学性能を有する光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法を提供する。
【解決手段】カメラ等に用いられる光学系OSは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、を有し、合焦に際し、第1レンズ群G1及び第3レンズ群G3が像面に対して固定され、第2レンズ群G2が光軸に沿って移動するように構成される。 (もっと読む)


【課題】 比較的大きな変倍比を保ちつつ、変倍時のどの焦点距離の状態においても防振
機能を利用可能で、防振時に偏芯誤差の影響が小さく、画像の劣化も小さく、補正可能な
像の移動量が大きい防振光学系とそれを含む撮像装置を提供する。
【解決手段】 撮像光学系Lの物体側に配置され、光軸に沿って並んだ、正の屈折力を有
する正レンズ群GPと、負の屈折力を有する負レンズ群GNとを有し、光軸と直交する回
転中心軸Oを中心にレンズ系全体を回転させて逆向きに配置させ、テレコンバーターとし
ての機能とワイドコンバーターとしての機能を切り替え可能なコンバーターレンズCLに
おいて、回転中心軸Oを中心にレンズ系全体を揺動させて、画像ブレ補正を行うことが可
能な構成である。 (もっと読む)


【課題】結像光学素子を構成する遮光部材の貫通孔への塵埃の侵入を効果的に防止して高品質な物体の正立等倍像を形成する。
【解決手段】レンズ512を有するレンズアレイ51a、51bを積層配置して原稿(物体)OBの正立等倍像を形成する結像光学系51と、原稿OBで反射した光を通過させる貫通孔52aを有し、光が貫通孔52aを通過して原稿OBに最も近い位置に配置された結像光学系51のレンズアレイ51aに形成されたレンズ512に入射されるように結像光学系51の物体(原稿)側に配置される遮光部材52と、光を透過する材料で形成され、遮光部材52の物体側に配置されて貫通孔52aを覆う透過性平板55とを備えている。 (もっと読む)


【課題】良好な光学性能を有する光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法を提供する。
【解決手段】カメラ1等に用いられる光学系OSは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、を有し、第2レンズ群G2は、開口絞りSと、この開口絞りSよりも物体側に配置された少なくとも1枚のレンズから構成され、正の屈折力を有する前群G2Fと、を有し、合焦に際し、第1レンズ群G1及び第3レンズ群G3が像面に対して固定され、第2レンズ群G2が光軸に沿って移動するように構成される。 (もっと読む)


【課題】良好な光学性能及び合焦性能を有する撮影レンズ、この撮影レンズを有する光学機器、及び、撮影レンズの製造方法を提供する。
【解決手段】カメラ1等に用いられる撮影レンズSLは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、を有し、合焦に際し、第1レンズ群G1及び第3レンズ群G3が像面に対して固定され、第2レンズ群G2が光軸に沿って移動するように構成される。 (もっと読む)


【課題】良好な光学性能を有する光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法を提供する。
【解決手段】カメラ等に用いられる光学系OSは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、を有し、合焦に際し、第1レンズ群G1及び第3レンズ群G3が像面に対して固定され、第2レンズ群G2が光軸に沿って移動するように構成される。 (もっと読む)


【課題】良好な光学性能を有する光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法を提供する。
【解決手段】カメラ等に用いられる光学系OSは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、を有し、合焦に際し、第1レンズ群G1及び第3レンズ群G3が像面に対して固定され、第2レンズ群G2が光軸に沿って移動するように構成される。 (もっと読む)


【課題】撮像面が湾曲した固体撮像素子に結像するための撮像レンズであって、小型かつ高性能で、シェーディングを抑制できる撮像レンズを提供すること。
【解決手段】撮像レンズ10は、固体撮像素子51に被写体像を結像させるものであって、正レンズと負レンズを含む2枚以上のレンズからなる。固体撮像素子51の撮像面Iは、浅い凹の球面状に湾曲しており、光軸AXのまわりに対称性を有する回転面となっている。撮像レンズ10は、最像側レンズである第3レンズL3と固体撮像素子51との間以外の位置に開口絞りSを有する。この撮像レンズ10は、既に説明した条件式(1)
0.43<YD/EXPC<2.00 … (1)
を満足する。ここで、YDは、撮像面の最大像高であり、EXPCは、近軸射出瞳位置すなわち射出瞳位置と撮像面Iとの光軸上の距離である。 (もっと読む)


【課題】撮像面が湾曲した固体撮像素子に結像するための撮像レンズであって、小型かつ高性能で、シェーディングを抑制でき、良好な成形性を持ったレンズからなる、成形性に優れた撮像レンズを提供すること。
【解決手段】撮像レンズ10は、第1レンズL1と、第2レンズL2と、第3レンズL3とからなる。固体撮像素子51の撮像面Iは、浅い凹の球面状に湾曲している。最像側レンズである第3レンズL3の像側面3bを非球面形状とすることで、良好なテレセントリック特性を確保しつつ、湾曲した撮像面Iに適合する像面湾曲とすることができる。
以上の撮像レンズ10は、条件式(1)
0.50<EXPD/EXPC<2.00 … (1)
を満足する。ここで、EXPDは、最大画角光束における射出瞳位置であり、EXPCは、近軸射出瞳位置である。 (もっと読む)


【課題】良好な光学性能を有する光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法を提供する。
【解決手段】カメラ1等に用いられる光学系OSは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、を有し、第2レンズ群G2は、開口絞りSと、この開口絞りSよりも物体側に配置された少なくとも1枚のレンズから構成され、正の屈折力を有する前群G2Fと、を有し、合焦に際し、第1レンズ群G1及び第3レンズ群G3が像面に対して固定され、第2レンズ群G2が光軸に沿って移動するように構成される。 (もっと読む)


【課題】衝撃や振動によるレンズの光軸ずれを防止した対物レンズと、これを有する顕微鏡を提供すること。
【解決手段】複数のレンズG1〜G5をそれぞれレンズ保持枠21〜25を介してレンズ鏡筒10内に固定する対物レンズ1において、前記レンズ保持枠は略円筒状部材からなり、前記円筒状部材の二つの端面の少なくとも一方が、前記レンズ鏡筒の中心軸に直交する平面に対して傾斜して形成されていることを特徴とする対物レンズ1。 (もっと読む)


【課題】小型で、構成枚数が少なく、高性能で、コマ収差、特にサジタルコマ収差、球面収差の少ない光学系、この光学系を有する撮像装置、及び、光学系の製造方法を提供する。
【解決手段】一眼レフカメラ1等に搭載される光学系OSは、光軸に沿って物体側から順に、前群GFと、正の屈折力を有する後群GRと、を有し、前群GFは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ成分LFPと、正レンズL12と負レンズL13とが接合され、負の屈折力を有し、物体側に凸面を向けた第2レンズ成分LFN1と、物体側に凹面を向け、負の屈折力を有する第3レンズ成分LFN2と、を有し、後群GRは、物体側から順に、負レンズL21と正レンズL22とが接合され、物体側に凹面を向けた第1レンズ成分LRNと、正の屈折力を有し、像側に凹面を向けた第2レンズ成分LRP1と、正の屈折力を有する第3レンズ成分LRP2と、を有する。 (もっと読む)


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