反射屈折対物系、及びそのような反射屈折対物系を含む投影露光装置を提供する。反射屈折対物系は、中心波長λ付近の波長帯域からの電磁放射線を用いて像側開口数ＮＡで対物系の物体面内の物体視野からのパターンを対物系の像面領域内の像視野に結像するように光軸に沿って配置された複数の光学要素を含む。光学要素は、凹ミラー及び複数のレンズを含む。投影対物系は、異なる波長に対して互いに偏位する波長帯域の各波長λに対するそれぞれのペッツヴァル面内にパターンの像を形成する。実施形態では、像視野の縁部視野点での（最大像高さｙ’での）平面基準面からの所定の波長でのペッツヴァル面の像面領域内の光軸に対して平行に測定された縦方向逸脱ｐが、ｄｐ／ｄλ＜（０．２λ／ＮＡ²）／ｎｍに従って波長λと共に変動する。 （もっと読む）

【課題】撮像レンズにおいて、良好な光学性能を保持するとともに、小さなＦ値と小型化を図る。
【解決手段】物体側から順に、物体側に凸面を向けた負の第１レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズである第２レンズＬ２と、絞りと、像側に凸面を向けた正の第３レンズＬ３と、第４レンズＬ４および第５レンズＬ５の接合からなり、全体として正の屈折力を有する接合レンズＬＣとを備える。また、第２レンズＬ２のｄ線に対するアッベ数をν_２とし、第１レンズＬ１の物体側の面頂点から像面までの光軸上の距離をＬとし、全系の焦点距離をｆとし、全系のバックフォーカスをＢｆとしたとき、下記条件式（１）〜（３）を満足する。
ν_２＞３０ … （１）
２．５＜Ｌ／ｆ＜４．０ … （２）
０．５＜Ｂｆ／ｆ＜１．３ … （３） （もっと読む）

【課題】このような点の解消を課題の一つとし、一つの機構でより精度良く複数の収差を補正することを可能とした液体レンズ、ピックアップ装置、及び収差補正方法等を提供することを目的する。
【解決手段】本願は、電極Ａ、電極Ｂ、電極Ａと電極Ｂとを絶縁する絶縁体２１及び一対の窓部を備えた容体によって、内部に第一の液体及び第二の液体が封止されている液体レンズであって、第一の液体及び第二の液体は界面を介して分離された状態で隣接しており、電極Ａと電極Ｂの間に印加される電圧に応じて界面の形状が変化し、電極Ｂは複数に分割され、分割された分割電極は互いに絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】 パルスレーザとビーム偏向手段、Ｆθレンズ、ウインドウを含むレーザ加工装置において、製造時は収差がなくても使用条件の環境変化などによって像面彎曲が出現することもある。Ｆθレンズの像面彎曲を個々の構成要素のレンズを再加工することなく簡単な手段で補正するようにすること。
【解決手段】 ウインドウが一様厚さでなく厚みが場所によって変化するようにする。像面彎曲に応じてウインドウの厚みを場所によって増減し、ウインドウ通過による光路長変化が像面彎曲を打ち消すようにする。 （もっと読む）

【課題】全長の短縮化と共に高い結像性能を実現できるようにした撮像レンズ、およびその撮像レンズを搭載して高解像の撮像信号を得ることができるカメラモジュールならびに撮像機器を提供する。
【解決手段】物体側から順に、正のパワーを有する第１レンズＧ１と、負のパワーを有する第２レンズＧ２と、像側の面が凸面で正のパワーを有する第３レンズＧ３と、物体側の面が光軸近傍において凹面または平面であり、負のパワーを有する第４レンズＧ４とを備え、かつ以下の条件式を満足する。ｆは全体の焦点距離、ｆ４は第４レンズＧ４の焦点距離とする。
０．２８＜｜ｆ４／ｆ｜＜０．６０ ……（１） （もっと読む）

【課題】環境温度が変化しても高い精度で焦点検出が可能な位相差方式の焦点検出装置の光学系を提供する。
【解決手段】撮影レンズの予定焦点面の後方に配置されたコンデンサーレンズと、その後方にあってコンデンサーレンズと同軸に配置された補助レンズ群と、この補助レンズ群の後方に接近して配置された、複数のレンズを一体に成型した樹脂製のセパレーターレンズと、このセパレーターレンズによって対となる被写体像をセンサー上に再結像させる、焦点検出装置の光学系であって、上記補助レンズ群を、少なくとも、１枚の負の屈折力を有する樹脂補助レンズと、１枚の正の屈折力を有するガラス補助レンズとにより構成した。 （もっと読む）

【課題】高温環境においても光学的性能が劣化せず、また、諸収差が良好に補正されており、かつ光学長が短く、しかも十分なバックフォーカスが確保されている。
【解決手段】第1絞りS₁と、第1接合型複合レンズ14と、第2絞りS₂と、第2接合型複合レンズ16とを具え、物体側から像側に向って、第1絞り、第1接合型複合レンズ、第2絞り、第2接合型複合レンズの順に配列されて構成される撮像レンズである。第1接合型複合レンズは、物体側から像側に向って、第1レンズL₁、第2レンズL₂及び第3レンズL₃の順に配列され、第2接合型複合レンズは、物体側から像側に向って、第4レンズL₄、第5レンズL₅及び第6レンズL₆の順に配列される。第1レンズ及び第3レンズ、第4レンズ及び第6レンズが硬化性樹脂材料で形成される。また、第2レンズ及び第5レンズは、高軟化温度の光学ガラス材料で形成される。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図るとともに、書込み位置情報の誤信号の発生を抑えることのできる光走査装置を得る。
【解決手段】レーザダイオード１と、レーザダイオード１から放射された光束を主走査方向Ｙに偏向するポリゴンミラー５と、ポリゴンミラー５にて偏向された光束を被走査面（感光体ドラム４０）上に結像する走査レンズ１１，１２と、画像の書込み位置を検出するためにポリゴンミラー５からの光束を受光するセンサ２５と、ポリゴンミラー５からの光束をセンサ２５に導くための光路折曲げ部材２１と、を備えた光走査装置。光路折曲げ部材２１から出射されてセンサ２５に向かう光束が、ポリゴンミラー５側に配置されている走査レンズ１１の前面を主走査方向Ｙに横切り、かつ、光路折曲げ部材２１の光束出射位置とセンサ２５上での光束入射位置とが副走査方向Ｚに異なっている。 （もっと読む）

【課題】レンズ保持機構を設ける必要のあるレンズの枚数を減らしつつ、レンズの偏芯ずれおよび傾きによる性能の劣化を抑制した撮像レンズを提供する。
【解決手段】本発明に係る撮像レンズ１ａは、被写体側に配置された、正の屈折力を有するレンズ群１６ａと、撮像素子１５の被写体側の面に直接または間接的に形成された、曲面形状を有する第３レンズ１３ａと、を備えていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】レンズ保持機構を設ける必要のあるレンズの枚数を減らしつつ、レンズの偏芯ずれおよび傾きによる性能の劣化を抑制した撮像レンズを提供する。
【解決手段】本発明に係る撮像レンズ１ａは、被写体側に配置された、正の屈折力を有するレンズ群１６ａと、撮像素子１５の被写体側の面に直接または間接的に形成された、曲面形状を有する第３レンズ１３ａと、を備えていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】軽量かつ製造が容易で、色収差と同時に球面収差を良好に補正可能な色消しレンズ系等を提供する。
【解決手段】正の屈折力を有する樹脂レンズＬ１１と負の屈折力を有する樹脂レンズＬ１２とを接合してなる全体として正の屈折力を有する接合樹脂レンズと、密着複層型回折光学素子Ｌ１１Ｅとを有しており、回折光学素子Ｌ１１Ｅは、前記接合樹脂レンズよりも像側に配置されており、回折光学素子Ｌ１１Ｅは、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素ＤＥ１１，ＤＥ１２を接合して構成されており、その接合面は回折格子溝が形成された回折光学面Ｇｆであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＮＡ＞１の開口数で液浸リソグラフィを可能にする値に達することができる非常に高い像側開口数の可能性を有する真空紫外（ＶＵＶ）領域で使用するのに適する反射屈折投影対物レンズを提供する。
【解決手段】 投影対物レンズの物体面に設けられたパターンを投影対物レンズの像面上に結像するための投影対物レンズにおいて、物体面に設けられたパターンを第１中間像に結像する第１対物レンズ部と、第１中間像を第２中間像に結像する第２対物レンズ部と、第２中間像を像面上に結像する第３対物レンズ部とを有する。
投影対物レンズが、正確に２つの鏡と正確に２つの中間像を有し、投影対物レンズが、ひとみの不明瞭がない明瞭形である。 （もっと読む）

【課題】 光強度が大きく縦縞干渉模様を広角に投影可能な縦縞干渉模様投影レンズを提供する。
【解決手段】 縦縞干渉模様投影レンズ１は、ある方向に並列して伸びる同形状の二つの凸部３，４を有するレンズ第１面２と、レンズ第２面５とを備える。このレンズ第１面２からレーザ光を入射させると、一方の凸部３を通過した光と他方の凸部４を通過した光とが干渉してレンズ第２面５から出射される光で対象物に縦縞干渉模様を形成することができる。レンズ第１面２の二つの凸部３，４は例えば並列して直線的に伸びる形状を有するものとし、またレンズ第２面５は平面とすることができる。 （もっと読む）

【課題】光利用効率を向上させる。
【解決手段】複数の面発光レーザを有する光源１４と、光源１４からの複数の光束を偏向するポリゴンミラー１３と、光源１４からの複数の光束をポリゴンミラー１３に導くカップリング光学系と、ポリゴンミラー１３で偏向された複数の光束を感光体ドラム９０１に導く走査光学系とを備える。そして、カップリング光学系と走査光学系とからなる光学系における主走査方向の横倍率の絶対値が副走査方向の横倍率の絶対値よりも大きく、感光体ドラム９０１の表面上での副走査方向のビーム径が、主走査方向のビーム径以下であり、かつ走査線間隔よりも大きくなるように設定する。 （もっと読む）

【課題】光学性能の維持及び小型軽量化を実現できる撮像レンズを提供すること。
【解決手段】 物体側から像面側に向かって順に、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズとされた第１レンズ２と、絞り３と、像面側に凸面を向けた正のパワーを有するメニスカスレンズとされた第２レンズ４と、負のパワーを有する両凹レンズとされた第３レンズ５とを配設し、かつ、０．１１＜ｄ_４／ｆｌ≦０．２５（但し、ｄ_４：光軸上における第２レンズと第３レンズとの間隔、ｆｌ：レンズ系全体の焦点距離）を満足するものである。 （もっと読む）

【課題】狭い投射空間においても大画面を投射でき、かつ自由に画面サイズを変化させることのできるプロジェクターに好適なズームレンズとそれを用いた投射型画像表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、縮小側の１次像面から拡大側の２次像面へ拡大投射するズームレンズであって、１次像面の中間像を結像し、変倍時、少なくとも２つ以上の群が光軸上を移動する第１光学系Ｌ１と、中間像よりも２次像面側に形成される凹面反射面を少なくとも１面有する第２光学系Ｌ２とを備え、第１光学系Ｌ１および第２光学系Ｌ２を構成する各面は共通の光軸を中心とした回転対称面で構成され、１次像面の中心から２次像面の中心に至る光線が光軸を交差し、次に凹面反射面で反射し、再度光軸と交差して２次像面に到達し、下記条件式
（１）０．５＜φ１/φ２＜３
（２）１＜ＡＳＴ/ＡＳＳ＜５
（３）｜ＡＳＴ｜/Ｌ１２＜１
を満足するズームレンズである。 （もっと読む）

共通基盤と、層状光学素子の第１のアレイとともに形成される、検出器のアレイを含むアレイ撮像システムであって、層状光学素子のそれぞれは、検出器のアレイ内の検出器と光学的に接続される。一実施形態では、複数の撮像システムを形成し、複数の撮像システムのそれぞれは、検出器を有する方法が、複数の撮像システムのそれぞれに対し、その検出器と光学的に接続される少なくとも１組の層状光学素子を形成することによって、共通基盤とともに記載のアレイ撮像システムを形成するステップを含み、形成ステップは、１つ以上の加工マスタの逐次的適用を含む。
（もっと読む）

【課題】簡単な構成で撮影画角の広く、特に中心軸に対して主に垂直方向からくる映像を撮像できる、小型で収差が良好に補正された透過光学素子とそれを用いた光学系。
【解決手段】中心軸１の周りの物体６を中心軸１に直交する平面の像面７に結像させる結像系であって、中心軸１の周りで回転対称な前群３と、中心軸１の周りで回転対称で正パワーを有する後群４とを備え、前群３は、中心軸１の周りで回転対称な透過面２１、２２を２面有する屈折率が１より大きな透明媒体からなる透過光学素子２を少なくとも１個備え、透過光学素子２の透過面２１、２２の少なくとも１面は、中心軸１と交差する近傍において、透過面２１、２２の法線が中心軸１と角度をなす形状を有する。 （もっと読む）

【課題】小型の投光光学系を提供する。
【解決手段】投光光学系は光源２０１とリレーレンズ群２０２と投光レンズ群２０３とを有している。リレーレンズ群２０２と投光レンズ群２０３は光源２０１から順に配置されている。リレーレンズ群２０２は、負の横倍率を有し、光源２０１から発散した光束を収束光に変換する。投光レンズ群２０３は、リレーレンズ群２０２からの光束に対し、射出光束が平行光束に近づくようにリレーレンズ群２０２からの光束を投光する。投光光学系は、０．９＜βｒ＜３．０を満足している。ここで、βｒはリレーレンズ群２０２の横倍率の絶対値である。 （もっと読む）

【課題】作動波長λ＞２００ｎｍの比較的広帯域の投影放射光で、ほぼ色収差がないマスク構造の縮小結像を確実に行うことができ、また同時に、狭い品質公差で経済的に製造されうる投影露光装置を提供する。
【解決手段】投影露光装置は、中央作動波長λ＞２００ｎｍを中心にした帯域幅△λ＞１０ｐｍを有する波長帯域の紫外線を放出する光源と、光源から光を受け取って、マスク１１５のパターン上に送る照明放射光を成形する照明系１１０と、マスク１１５の構造を感光基板１３０上に結像する投影対物レンズ１２０とを有する。投影対物レンズ１２０は、反射屈折投影対物レンズであって、投影対物レンズのひとみ面の領域内に配置された少なくとも１つの凹面鏡１２５と、ひとみ面の近傍の、結像の周縁光線高さ（ＭＲＨ）が主光線高さ（ＣＲＨ）より大きい領域内で、凹面鏡のすぐ近くに配置された少なくとも１つの負レンズを有する負レンズ群とを有する。 （もっと読む）