【課題】ディスプレイパネルの品種切り替えに必要となる作業時間を短縮し、ディスプレイパネルの点灯検査における生産性を向上させる。
【解決手段】ディスプレイパネル１を点灯表示させる点灯信号発生手段４と、この点灯信号発生手段４からの信号をディスプレイパネル１に伝達する信号伝達手段５と、この信号伝達手段５をディスプレイパネル１の端子電極に接触させる接触接続手段８と、この接触接続手段８を圧縮ガスにより動作させる駆動手段とを有するパネル点灯検査ユニット１８、および、このパネル点灯検査ユニット１８が着脱可能に載置される点灯検査ユニット固定ベース２３を備え、パネル点灯検査ユニット１８は点灯検査ユニット固定ベース２３に電気接続するための電気接続受け手段２９を有する。 （もっと読む）

【課題】 アクティブマトリクス基板において２重露光処理される継ぎ部領域が目視されるおそれがなく、高精細化された液晶表示パネルの表示品位を著しく向上させることができる。
【解決手段】 基板上に形成される各画素に対応した光透過部のパターンを、基板を分割した複数の分割領域の露光処理によって形成するとともに、各分割領域の間に設けられる継ぎ部領域の各光透過部のパターンを、各分割領域のそれぞれの露光処理によって形成される２重露光領域を介して、相互に重ならないように単一露光領域を離散的に形成する２重露光処理を行う。この場合、各露光処理において、行方向および列方向において、それぞれ相互に隣接する一対の光透過部の画素を１単位として各画素に対応したパターンをそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】アレイ基板の製造工程を単純化して製造単価を節減して、画素電極オープン不良を防止する。
【解決手段】複数の画素領域が定義された基板２１０と、画素領域の所定部分に一方向に構成された複数のゲート配線と、絶縁膜を介して交差するデータ配線と、ゲート配線とデータ配線との交差地点に位置して、ゲート配線から延長されたゲート電極、アクティブ層、ソース電極及びドレイン電極を含む薄膜トランジスタと、薄膜トランジスタでソース電極及びドレイン電極間のアクティブ層上に形成されたチャネル絶縁膜２４２と、画素領域でドレイン電極と接触して形成される画素電極２８１と、ゲート配線から延長されて一端に形成され、ゲート絶縁膜を介して透明電極パターンと接触するゲートパッド２７７と、データ配線から延長されて一端に形成され、アクティブ層パターン上に形成されたデータパッド２７８とを含む。 （もっと読む）

【課題】 各投影光学ユニットに調整手段を付設することなく、マスクの撓みの影響を抑えて良好な光学性能を確保してマルチ走査型の投影露光を高精度に行うことのできる露光装置。
【解決手段】 投影光学系に対して第１基板（Ｍ）および第２基板（Ｗ）を走査方向に相対移動させて、第１基板に形成されたパターンを投影光学系（ＰＬ）を介して第２基板上へ投影露光する露光装置。投影光学系は、走査方向と交わる所定方向に沿って配列されて、第１基板のパターンの像を第２基板上に形成するための複数の投影光学ユニット（ＰＬ１〜ＰＬ５）を有し、複数の投影光学ユニットにそれぞれ対応する複数のスリット状照明領域は、第１基板上において第１曲線または該第１曲線を走査方向に平行移動して得られる第２曲線に沿って規定されている。 （もっと読む）

【課題】 下部に液処理部を備え、その上に乾燥処理部を備え、前記液処理部と前記乾燥処理部との間がシャッタにより開閉自在である基板処理装置において、そのシャッタ上の液残りを減少させる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 洗浄処理装置１は、ウエハＷを液処理する液処理部２と、液処理部２の上側に設けられ、ウエハＷを乾燥させる乾燥処理部３と、液処理部２と乾燥処理部３との間でウエハＷを搬送するウエハガイド４と、液処理部２と乾燥処理部３との間を開閉し、その略中心に排液口９１が形成されたシャッタ１０と、排液口９１に接続されたアスピレータ９２と、排液口９１の開口上に設けられた吸引制御部材９３と、を有する。アスピレータ９２を動作させた際に、シャッタ１０の上面に沿って流れて排液口９１に流入する流体流れを吸引制御部材９３により生じさせ、シャッタ１０上の液残りを低減する。 （もっと読む）

【課題】レジストの膜減り及びレジストパターンの不良の発生を防止する。
【解決手段】 端縁が面取り処理された透光性基板と、前記透光性基板の前記面取り処理された部分に形成され、前記透光性基板の透光率よりも低い透光率を有し、前記面取り処理された部分に入射した前記光が透過するのを抑制する膜７３とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 薄型の板ガラスに適用しても割れが生じることなくマーキングを施すことができ、板ガラス一枚ごとのマーキングを読取って板ガラスを識別して効率よく製造及び管理できる板ガラス及び板ガラスの製造方法を提供する。
【解決手段】 板ガラス１の端面２に当該板ガラス１の識別情報を得るための膜状のマーク３を施す。前記板ガラス１は板厚が０．３〜１．３ｍｍであるディスプレイ基板用板ガラスである。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示パネル製造の歩留まり向上を図る。
【解決手段】 貼り合わされた２枚の基板２ａ，２ｂ間の液晶２２の広がり程度は、滴下された液晶２２の量によって左右されることに着目してなされたもので、貼り合わされた２枚の基板２ａ，２ｂ間に広がる液晶２２を基板撮像部６で撮像し、制御回路７１は、基板撮像部６による出力信号に基づき、液晶２２の滴下量を制御する。
従って、２枚の基板２ａ，２ｂの貼り合わせ時から紫外線照射によるシール剤硬化（あるいは固化）までの時間長が不足して、液晶２２の広がりが十分得られない場合であっても、制御手段７１は、滴下手段４を制御して液晶が適正に広がるように、液晶２２の滴下量を制御するので、後続の貼り合わせ基板は適正な液晶の広がりが得られ、液晶表示パネル製造の歩留まりは向上する。 （もっと読む）

【課題】 被吸着物を、その大きさに関わらず確実かつ傷付けずに吸着固定することができる吸着装置を提供する。
【解決手段】 被吸着物Ｇを支持する支持面２ａを有すると共に支持面２ａに穴２ｃを設けた吸着ステージ２と、支持面２ａを覆うように吸着ステージ２に取り付けられた通気性を有する多孔質部材１１と、穴２ｃの内部に真空圧を発生させて被吸着物Ｇを多孔質部材１１上に吸着固定する真空ポンプ１０とを備えた吸着装置であって、多孔質部材１１が弾性を有する有機材料で形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半透光部の透過率分布が良好で、かつチャネル部のパターン精度が良好なグレートーンマスク及びその製造法を提供する。
【解決手段】被転写基板上のレジストにポジ型レジストを用い、厚レジストパターン形成部を遮光部、無レジスト領域形成部を透光部とした、石英等の透明基板１１上に、ソース電極及びドレイン電極に対応する領域に形成された、半透光膜パターン１２ａと、ソース電極及びドレイン電極の対向部分に対応する領域に形成され、かつチャネル部に対応する透光部１７側に、所望のマージン領域１８を空けて半透光膜パターン１２ａの上に形成された遮光膜パターン１３ａを有する。遮光膜パターン１３ａが半透光膜パターン１２ａと積層された部分が遮光部、遮光部以外の半透光膜が形成された領域が半透光部、半透光膜１２ａも遮光膜１３ａも形成されていない領域が透光部である。 （もっと読む）

【課題】基板などの板状ワークの移動路の幅方向に複数の噴出部を配置して板状ワーク上の液体を気体の噴出により押し流して除去するようにしたエアナイフ装置において、気体使用量の増大を抑えつつ、板状ワークの大形化に対応できるようにし、もって、例えば、液晶表示装置の分野では、大形液晶表示パネルのコスト削減に寄与できるようにする。
【解決手段】複数の噴出部３１ａ〜３１ｃを、板状ワークｗの移動路を斜めに横断する方向に沿って略直線状に配列するとともに、板状ワークｗの移動方向斜め後側に向かって気体を噴出するようにし、その上で、各噴出部３１ａ〜３１ｃに対する板状ワークｗの移動位置に応じて該噴出部３１ａ〜３１ｃの噴出作動を制御部５０により制御するようにする。 （もっと読む）

材料の表面上の欠陥または汚染を特定する方法およびシステム。この方法およびシステムでは、半導体ウェハなどの材料を提供し、非振動式接触電位差センサを用いてウェハを走査し、接触電位差データを発生し、このデータを処理して、欠陥または汚染の特性を示すパターンを特定する。

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【課題】低コスト且つ容易な構成で、基板２０を損傷させる原因となる異物１５の混入を検出することにより、基板２０の損傷を未然に防止する。
【解決手段】基板吸着装置１は、基板２０を保持するための吸着面１２を有するステージ１１と、ステージ１１の吸着面１２に設けられた複数の吸着口１３と、吸着口１３に排気通路１７を介して接続された真空ポンプ１４とを備えている。そして、排気通路１７内の圧力を検出する圧力センサ１８を備え、ステージ１１には、吸着口１３が設けられている位置以外の領域に、ステージ１１の吸着面１２とステージ１１の側面との双方に開放されている複数のリーク溝３０が形成されている。 （もっと読む）

パターン層の印刷方法は、印刷機のベッド上のサブベッド群に支持されたクラッチ板群の位置及び整合を該クラッチ板群の位置合わせマークを用いて検出する工程（図４の工程３１）を有する。検出されたマザーガラスの領域群の位置及び整合、並びにクラッチ板の位置及び整合に従って、サブベッド群の位置が調整される（図４の工程３２）。それからクラッチ板にインキングされる（図４の工程３３）。代わりに、工程３２及び３３は入れ換えられてもよい。印刷機サブベッドに支持されたクラッチ板からブランケット16にインクが転写される（図４の工程３４）。ブランケット16表面の材料がマザーガラスに転写される（図４の工程３５）。新規の印刷機ベッドは、共通平面内で個々に位置合わせ可能なサブベッド群の配列を有する。
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【課題】 各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、汎用性に富むとともに、スループットにも優れる基板洗浄技術を提供する。
【解決手段】 基板洗浄部Ｂは、複数種類の薬液で洗浄処理可能な多機能洗浄槽３（３ａ、３ｂ）と、専用の薬液で洗浄処理可能な単機能洗浄槽４（４ａ、４ｂ）とを組み合わせてなる洗浄槽列１（１ａ、１ｂ）が２組設けられてなり、各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、スループットにも優れる。 （もっと読む）