【課題】製造工程の工数を増加させることなく、製造工程の途中でガラス基板がダメージを受けることを防止して、液晶装置の強度低下を抑えることができる液晶装置の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】液晶装置一個分の表示領域を複数有する第一の母基板と第二の母基板とを、各表示領域をそれぞれ囲うように形成されたシール材を介して貼り合わせることで、液晶装置複数分の大判パネルを形成し、大判パネルを複数の液晶装置に切り分けて複数の液晶装置を製造する液晶装置の製造方法であって、大判パネルを切り分ける工程の前に、第一の母基板又は第二の母基板のうちの少なくとも一方の外面に光学フィルムを貼り付ける工程を行う。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡単な表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による表示装置の製造方法は、ベースフィルム上に感光性表面活性剤をコーティングする工程と；表面活性剤上に有機層を形成する工程と；有機層上に所定のパターンの開口部が形成されたマスクを整列配置した後に露光して、表面活性剤と有機層の間の界面粘着力を減少させる工程と；ベースフィルム上の有機層を絶縁基板に付着させる工程と；熱を加えて有機層と絶縁基板の間の粘着力を増加させる工程と；ベースフィルムを絶縁基板から分離し、露光された表面活性剤に対応する有機層を絶縁基板に転写する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２枚の基板の相対的な位置合せを行う構成を簡素化し、装置の小型化を図ることができる貼合せ基板製造装置を提供する。
【解決手段】基板貼合せ前の上基板（ＣＦ基板）と下基板（アレイ基板）との位置決め時において、上基板に対する下基板の位置ずれの検出に基づき、下保持板８の保持面８ａに設けられる第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄの複数の電極に駆動電圧を印加して各電極と下基板に設けられる導電膜（複数のＴＦＴがマトリクス状に形成されることで所定抵抗値を有する導電膜となる）との間に静電力を発生させ、その下基板をＸ，Ｙ方向及びθ方向のいずれかに移動させて位置決めを行う構成とした。 （もっと読む）

【課題】マスクの温度変化を抑制して、パターンの焼き付け精度のばらつきを防止する。
【解決手段】制御装置６０の加温制御部６１は、露光処理を開始する前に、モータ駆動回路７０を制御してシャッター３４を所定時間開き、マスク２の温度を飽和温度又はそれに近い温度まで上昇させる。露光制御部６２は、モータ駆動回路７０を制御してシャッター３４の開閉を行い、これによって露光光をマスク２へ照射する工程（実際の露光工程）と露光光をマスク２へ照射しない工程（基板１の搬入、搬出等の工程）とを含む露光処理が行われる。保温制御部６３は、露光処理を中断している間に、モータ駆動回路７０を制御してシャッター３４を露光処理と同じ間隔で開き、マスク２の温度を飽和温度又はそれに近い温度に保つ。 （もっと読む）

【課題】液滴からなるパターンの膜厚均一性を向上させたパターン形成方法、液滴吐出装
置及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】第一吐出方向Ａａからの第一液滴Ｆａを第一形成領域Ｓａに吐出して、着弾
する第一液滴Ｆａに、第一形成領域Ｓａの内側から外側（第二形成領域Ｓｂ側）に向かう
速度成分（第一接線速度Ｖａ）を付与するようにした。また、第二吐出方向Ａｂからの第
二液滴Ｆｂを第二形成領域Ｓｂに吐出して、着弾する第二液滴Ｆｂに、第二形成領域Ｓｂ
の内側から外側（第一形成領域Ｓａ側）に向かう速度成分（第二接線速度Ｖｂ）を付与す
るようにした。 （もっと読む）

【課題】ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、加熱による変形量を定量化する。
【解決手段】液晶基板検査装置の装置内に撮像装置を設け、この撮像装置によって、液晶用ガラス基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、この基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を測定することによって、加熱による変形量を定量化する。基板の変形量測定方法は、撮像装置によって、基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、座標算出部によって、撮像装置の撮像画像に基づいて、基板アライメントマークの座標を撮像装置に固定した座標系上において算出し、変形量算出部によって、基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を算出する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエーハ、フォトマスク基板、液晶基板等のダメージを受けやすい基板でも、基板自体にダメージを与えずに超音波洗浄することができる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄物１０を超音波洗浄するための洗浄装置であって、少なくとも、超音波振動を発する超音波振動子３と、該超音波振動子が装着され、前記超音波振動が印加された洗浄液９と被洗浄物を接触させる手段２とを具備し、前記超音波振動子が、該超音波振動子が装着された面に対して横方向の超音波振動を付与するものであり、該超音波振動を前記洗浄液に印加して前記被洗浄物を洗浄するものであることを特徴とする超音波洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面の汚染に起因するパターン不良を防止できる基板処理装置を提供することである。
【解決手段】基板処理装置５００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、現像処理ブロック１２、レジストカバー膜用処理ブロック１３、レジストカバー膜除去ブロック１４およびインターフェースブロック１５を備える。インターフェースブロック１５に隣接するように露光装置１６が配置される。インターフェースブロック１５は、裏面洗浄処理ユニットＲＳＷを含む。裏面洗浄処理ユニットＲＳＷにおいて、露光処理前に基板Ｗの裏面が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】生産性を向上できるプラズマＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】プラズマＣＶＤ装置１の成膜チャンバ２の互いに対向した両側面部の相対するコーナ部８近傍の対称な位置にラジカル導入口33,34を設ける。ラジカル導入口33,34にラジカル発生器35,36を取り付ける。ラジカル発生器35,36からのエッチングラジカルＲをラジカル導入口33,34から成膜チャンバ２の内端面４,５に沿って流入させる。エッチングラジカルＲを成膜チャンバ２内のコーナ部８に効率良く流入できる。エッチングラジカルＲを成膜チャンバ２内の全体に亘って均一に導入できる。エッチングラジカルＲによる成膜チャンバ２内でのエッチングレートを等しくできる。 （もっと読む）

【課題】ＬＣＤ基板を取り外して再装着することなく基板上の電気配線の全領域に効率的にアクセスして、欠陥を検出、修正することができるリペア装置を提供する。
【解決手段】定盤１上に、ガイド２に従ってＹ軸方向に可動のメインガントリー３及びサブガントリー９を設け、メインガントリー３にはリペア加工を行いＸ軸方向に可動の光学系４を装着する。移動ホルダー５０上には、被検査体であるＬＣＤ基板６を配置する。メインガントリー３及びサブガントリー９に、Ｘ軸方向に可動でかつＸＹ平面内に回転可能なプローブセンサーヘッド１０ａ、１０ｂを装着する。プローブセンサーヘッドは、電極に電流を供給するプローブ部と、配線に供給された電流を検出してオープン／ショート欠陥を判別するセンサー部とが一体となって構成されている。 （もっと読む）

【課題】部材仕損軽減、作業性向上、分解工数低減を図ることができる液晶表示装置の加工方法および加工装置を提供する。
【解決手段】本発明の液晶表示装置の加工方法は、液晶パネルと付属ユニットとを接合し組み立てた液晶パネル組品を有する液晶表示装置の加工方法であって、液晶パネルを固定する第１の工程と、付属ユニットを液晶パネルから分離する工程とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを縮小するとともに、基板の配設に要する作業時間を短縮できるフラットパネルディスプレイの製造装置及びこれを用いた方法、並びにこれに適用されるストッカー及びローダーを提供する。
【解決手段】複数枚の基板１が収納されるカセット１００と、カセット１００が配設される棚２１０を備えたストッカー２００と、カセット１００内の各基板１を受け取って工程を実行する工程進行部６００と、少なくとも二つ以上のハンド部５２０を含み、ストッカー２００と工程進行部６００との間に位置し、ストッカー２００に配設されたカセット１００内の各基板１を受けて工程進行部６００に配設するローダー５００と、カセット１００から各基板１を取り出してローダー５００の各ハンド部５２０に配設する少なくとも一つの取り出し部３００とを含むフラットパネルディスプレイの製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】印刷ロールの表面に付着されたブランケットの変形を最小化できる液晶表示素子の製造用印刷装置及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】レール６００と；前記レール６００上に位置した印刷板５００及び基板１００と；前記印刷板５００を経由して前記基板１００にパターンを転写する印刷ロール３００と；前記印刷ロール３００にパターン物質２００を転写するためのコーティングロール３５０と；前記コーティングロール３５０にパターン物質２００を塗布するための印刷ノズル８００と；を含んで印刷装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】トランスハンドの縁部にダミーガラス除去用プレートを取り付けて、ブレーク工程が終了した単位液晶表示パネルの取り出し時にダミーガラスを予め除去することにより、ダミーガラスによる単位液晶表示パネルの損傷を防止できる液晶表示パネルの移送装置、液晶表示パネルの切断方法及びこれを用いた液晶表示パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】単位液晶表示パネル１１０の切断方法は、複数のパネル領域が配置されて貼り合わせられた一対の母基板にスクライブラインを形成する段階と、単位液晶表示パネル１１０を吸着して移送する本体１６５、及び本体１６５の縁部に取り付けられて本体１６５とは別に本体に対して上下方向に移動するプレート１６３とから構成される移送装置により、単位液晶表示パネル１１０を単位液晶表示パネル１１０周囲のダミーガラス１１２から分離する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】シール材の塗布を完了した後、ノズルでシール材が固まることを防止することで、シール材を均一に塗布できるシール材塗布装置と、シール材の塗布を完了した後、ノズルでシール材が固まることを防止できるシール材塗布方法と、前記シール材塗布方法を用いてシール材を均一に塗布できる液晶表示素子の製造方法とを提供することにある。
【解決手段】シリンジ１２０および該シリンジ１２０の下部に連結されてシール材１５０を排出するノズル１４０からなるディスペンサー１００と、前記シリンジ１２０に連結され、前記シリンジ１２０に圧力を加えて前記ノズル１４０からシール材１５０を排出させるディスペンシング配管２００と、前記シリンジ１２０に連結され、前記シール材１５０の排出後、前記ノズル１４０に残存するシール材１５０を吸入するための吸入配管４００とを含んでシール材塗布装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】印刷板を洗浄するための洗浄機と、洗浄時間を確保するために前記各印刷ロールの両側に配置される複数個の印刷板及び基板と、を備えた印刷装置を提供し、この印刷装置を用いた液晶表示素子のパターン形成方法を提供する。
【解決手段】形成しようとするパターンの形状に刻み込まれた複数個の印刷板と、パターンを形成するための基板と、が位置するステージと；各パターン物質を塗布するための複数個の印刷ノズルと；前記印刷ノズルによって前記各パターン物質を外周面に塗布し、前記ステージ上に位置した各印刷板を経由して前記各パターン物質を各印刷板の突出部に部分的に転写した後、残存するパターン物質を前記基板に転写する複数個の印刷ロールと；前記印刷板を洗浄するために移動可能に設置された洗浄機と；を含んで印刷装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】複数のラビングロールを一度に回転させることにより、保管されたラビングロールに偏心が生じることを防止すると共に、ラビングロールを密閉状態で保管することにより、外部のパーティクルによるラビング布の汚染を防止したロールストッカー及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ロールストッカーは、複数のラビングロールを固定する複数のロール固定部と、放射状に延びた複数の端部を有し、それぞれの端部がそれぞれのロール固定部に連結される軸連結部と、軸連結部の中心を固定して軸連結部を回転させる回転軸とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で基板上の処理液を良好に分離して排液できるようにしてコストの低減を図る。
【解決手段】この基板処理装置は、基板Ｗを保持する基板保持機構１と、基板Ｗの姿勢を水平姿勢と傾斜姿勢とに変更する基板姿勢変更機構２と、基板Ｗの上面に第１薬液を供給する第１薬液ノズル１１と、基板Ｗの上面に第２薬液を供給する第２薬液ノズル１２と、基板Ｗの上面にリンス液としての純水を供給する第１および第２純水ノズル１３Ａ，１３Ｂと、基板Ｗが傾斜姿勢とされたときに当該基板Ｗの表面から重力によって流下する処理液を受ける第１〜第３処理液受け部２１，２２，２３と基板Ｗを乾燥させる基板乾燥ユニット３とを備えている。基板姿勢変更機構２によって３方向に基板Ｗを傾斜させることにより、第１〜第３処理液受け部２１，２２，２３へと処理液を分離排液する。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の消費量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０の最上部の基点Ｐから，回転方向Ｆに２７０°から３００°回転した位置に，第１のブロック１１０が設けられ，その後方側に第２のブロック１３０が設けられる。第１のブロック１１０により，回転ロール９０との間に狭小の隙間Ｄが形成され，その表面１１０ａに洗浄液吐出口１１１と吸引口１１２が形成される。第２のブロック１３０には，排気口１３１が形成される。回転ロール９０の下部側には，滞留部１４１と洗浄液誘導部１４２が形成された第３のブロック１４０が設けられる。洗浄時には，回転ロール９０を回転させた状態で，洗浄液吐出口１１１から隙間Ｄに洗浄液Ｈが吐出され，洗浄液Ｈが回転ロール９０の表面を伝って流れ，滞留部１４１で一旦滞留された後，洗浄液誘導部１４２を通って排出される。 （もっと読む）

【課題】吐出した液滴の着弾する位置の精度と、レーザ光の照射位置の精度を維持して、液滴からなるパターンの形状制御性を向上したパターン形成方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】キャリッジ２７の基板２側に、着弾位置ＰＦを回動中心とする回動ステージ２９を設け、その回動ステージ２９に、吐出ヘッド３２とレーザヘッド３７を配設するようにした。そして、着弾位置ＰＦが、各ノズルＮの形成方向（吐出方向Ａ１）であって、各照射口３８の光軸方向（照射方向Ａ２）に位置するようにした。 （もっと読む）