【課題】 液切りにおいてミストを発生させることなく効率的な液切りを行うことのできる基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 多孔Ｐを有するローラー２の中空部をポンプによって負圧し、基板Ｗ上に残存したエッチング液Ｌを多孔部分Ｐａから吸引することによって液切りを行う。さらに、ローラー２を基板Ｗの搬送方向Ｓ１と逆の方向Ｓ２に回転させることによってエッチング液Ｌと接触するローラー２の表面積を増加させ、より効率的な液切りを行う。 （もっと読む）

【課題】 液滴を乾燥して形成するパターンの形状制御性を向上した液滴吐出装置、パターン形成方法、識別コードの製造方法、識別コード、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】 着弾位置の領域で、Ｘ矢印方向に沿ってセル幅Ｒａよりも若干長い帯状のスポットと、Ｙ矢印方向に沿ってセル幅Ｒａよりも若干長い帯状のスポットとからなる十字状のピニングスポットＢ１を成形するようにした。そして、着弾位置に着弾した微小液滴Ｆｂの外径が、セル幅Ｒａよりも若干小さい照射径Ｒｅになるタイミングで、そのピニングスポットＢ１のレーザビームを照射するようにした。 （もっと読む）

【課題】パターンを形成するための工程数を削減し、その生産性を向上した液滴吐出装置、パターン形成方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置を提供する。
【解決手段】着色層領域２３の中心位置２３ｃにのみ、照射強度の鋭いピークを有した流動プロファイルを成形し、その流動プロファイルのレーザ光を、着色層領域２３に形成した液滴ＦＤに対して照射するようにした。そして、着色層領域２３の液滴ＦＤを反射領域Ｓｒに偏移させて、透過領域Ｓｔに対応する吐出面２１ａを露出する形状に変形させた。 （もっと読む）

【課題】エージング装置に適用でき，パレットをラックの棚に簡単に的確に入出庫させ，エージングの処理を高速化して適正な時間管理を容易にする自動倉庫を提供する。
【解決手段】棚６を備えたラックにスタッカクレーン２でパレット８を入出庫させるプッシュ・プル装置１０を備えている。プッシュ・プル装置１０は，パレット８を棚６への押し込み作動と棚６から引き出す作動とを行うプッシュ・プル爪１２，プッシュ・プル爪１２の往復移動を直動案内装置を介して往復移動させる駆動装置，及びプッシュ・プル爪１２をパレットへの係脱位置と解除位置とにチルトさせるリンク機構を有する。 （もっと読む）

ガラスシートなどの透明な基板における欠陥の検出のための方法、装置およびシステムが開示される。この方法、装置およびシステムは、１００ｎｍより小さい透明な基板における光路長の変動を検出することができる。
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【課題】 スペース化を図ることができ、耐久性が高く、またパターンに含まれるデータをより正確に取得できる表示装置、その製造装置及び表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 液晶ディスプレイのカラーフィルタは、色要素層Ｒ，Ｇ，Ｂを備えている。カラーフィルタを製造する液滴吐出装置の制御部は、液晶ディスプレイに付与される識別子データを、ＤＣＴなどの拡散技術を用いて変換した変換データを生成し、この変換データに基づいてビットマップデータを生成する。制御部は、生成したビットマップデータに基づいて、色要素層Ｒ，Ｇ，Ｂを形成する機能液の液滴の吐出回数を変更し、低濃度の色要素層Ｒ２，Ｇ２，Ｂ２と、高濃度の色要素層Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１とを形成し、これら色要素層Ｒ，Ｇ，Ｂの濃淡によりパターンを構成する。 （もっと読む）

【課題】移動手段１０により略水平方向に延びる所定の方向に移動される略水平姿勢の板状ワークＷに対し、複数のノズル列２０の各ノズル２０ａから処理液を噴射して液処理を行うようにした液処理装置において、板状ワークＷ上にて互いに逆方向の流れがぶつかり合うことに起因する液溜りの発生を回避できるようにする。
【解決手段】複数のノズル列２０の各ノズル２０ａを、板状ワークＷの移動方向前側および後側のうちの何れか一方の側に向かって処理液を噴射するように配置する。 （もっと読む）

【課題】リペア工程前に行われる画像欠陥検査及び電気的動作確認検査から算出される欠陥位置を示す座標データを用いてリペアすべき欠陥を求め、最終工程の点灯検査においてリペア結果の確認が容易にできるようにする。
【解決手段】まず、各製造工程においてＴＦＴ基板の欠陥検査を行い、欠陥画像及び欠陥画素の座標データを保存する。そして、欠陥画素を修復する前のリペア前欠陥画像に欠陥が発生した製造工程を記すための紐付けを行い、この紐付け結果に基づいて、製造工程の最終工程で行われる点灯検査結果において、リペア後の欠陥画像のリペアが正常に行われたかどうかを確認する。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板の板面に対するロールブラシの押し当て量を容易かつ正確にＸ方性で切るようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】チャンバ内を搬送される基板を洗浄処理するブラシ洗浄部７を備え、
ブラシ洗浄部は、搬送される基板の一方の板面と他方の板面をブラッシングする一対のロールブラシ３１，３２と、各ロールブラシの軸方向上端側の基板の板面に対する押し当て量を調整する上部間隔調整機構４１と、各ロールブラシの軸方向下端側の上記基板の板面に対する押し当て量を調整する下部間隔調整機構５５と、各間隔調整機構による一方のロールブラシの上端側と下端側の基板の板面に対する押し当て量の調整を連動させる第１の連動軸９８と、各間隔調整機構による他方のロールブラシの上端側と下端側の上記基板の板面に対する押し当て量の調整を連動させる第２の連動軸９９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 所望のパターン形成領域に整合したパターンを形成することによって生産性を向上したパターン形成方法、識別コード形成方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】 液滴吐出ノズルから吐出した微小液滴がデータセルに着弾する前に、制御部が加熱手段としての加熱ヒータ２４を制御し、基板２（コード形成領域Ｚ）の実基板温度を、着弾した微小液滴が隣接するデータセルに食み出さない温度であって、かつ突沸を起こさない温度、すなわち目標基板温度に維持するようにした。 （もっと読む）

ディスプレイを光学検査するための方法および装置が、各原色に関してサブピクセル精度を使用して、回転の角度を考慮に入れる。方法は、Ｒ×Ｓ個のセンサを使用してディスプレイのイメージをキャプチャすること、ピクセルにマップされるセンサ座標のセットを算出すること、ディスプレイ上のピクセルとＲ×Ｓ個のセンサの間における複数の位置合わせ不良の角度を算出すること、複数のｘ倍率変更比を算出すること、対応する複数の位置合わせ不良の角度、および対応する複数のｘ倍率変更比とｙ倍率変更比に応答して、Ｒ×Ｓ個のセンサに関連する複数の重み付け係数を算出すること、Ｒ×Ｓ個のセンサに関して複数の輝度値を算出すること、重み付け係数および輝度値に応答して、複数の合計輝度値を算出すること、第１の輝度値と第２の輝度値を含む倍率変更されたイメージを形成すること、および倍率変更されたイメージを検査して、ディスプレイ上の潜在的な不良を識別することを含む。
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【課題】 基板受渡位置における基板の受渡の効率を向上する。
【解決手段】 基板搬送装置２４Ａは、第１から第２の基板受渡位置Ｐ１，Ｐ２に向かう搬送方向Ｃに延び、かつ搬送方向Ｃと直交する方向に間隔Ｇ１をあけて互いに対向する直動ガイド７８Ａ，７８Ｂと、直動ガイド７８Ａ，７８Ｂに沿って移動可能であり、搬送方向Ｃと直交する方向に間隔Ｇ２をあけて互いに対向し、かつ基板１２の下面を解除可能に保持する基板保持スライダ７９Ａ，７９Ｂとを備える。基板保持スライダ７９Ａ，７９ＢはＸ軸駆動機構８７により第１及び第２の基板受渡位置Ｐ１，Ｐ２間を往復移動する。 （もっと読む）

【課題】 幅の異なるパターンを組み合わせて、膜厚の均等な薄膜パターンを形成した表示装置用基板とこの表示装置用基板を用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】 基板１上に薄膜形成材料インクで分割塗布された幅狭のパターン２と幅広のパターン３との分割部を橋絡させて塗布したインク５で接続部６を形成する。接続部６で幅狭のパターン２と幅広のパターン３とを一体化し、均一な膜厚の薄膜パターンを得る。 （もっと読む）

【課題】 光学パネルと製品バックライトとを組み込んだ製品となる前に製品としての表示欠陥判定を簡便かつ安価に行う光学パネルの検査方法を提供する。
【解決手段】 液晶パネルの輝度データを取得する光学パネル輝度データ取得工程（ＳＴ１０１〜ＳＴ１０４）と、製品用バックライトの輝度データを取得する製品用照明輝度データ取得工程ＳＴ１００と、液晶パネルの輝度データに製品用バックライトの輝度データを組み合わせて液晶パネルと製品用バックライトとが製品として組み合わされた際の製品輝度データを仮想的に算出する製品輝度データ算出工程ＳＴ１０８と、製品輝度データ算出工程ＳＴ１０８で作成された製品輝度データに基づいて液晶パネルの検査を行う第２欠陥判別工程ＳＴ１０９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 切断仮想線に沿って元パネルから例えば異形パネルを切り出す際、その切断端縁のほぼ全範囲にわたって外形寸法の良否を目視にて判定できるようにする。
【解決手段】 あらかじめ設定された切断仮想線Ｌに沿って最終形態の液晶表示パネル（例えば、外形に曲線を含む異形パネル）１０Ａを切り出す際に、その元パネル１０として用いられる液晶表示パネルにおいて、切断仮想線Ｌの内側または外側のいずれか一方の側に、切断仮想線Ｌに沿って特定幅を有する切断許容判定ライン１１を形成するとともに、切断仮想線Ｌの他方の側には、切断仮想線Ｌから上記特定幅と同一幅の空白帯１３を置いて所定幅の切断不良判定ライン１２を形成する。 （もっと読む）

【課題】貼付のための特別なスペースを必要とせず、貼付作業の時間や手間を削減し得る、ＩＣタグ等の無線通信デバイスを備えた表示装置および電子機器を提供する。
【解決手段】表示部８および表示部駆動用配線９、１０が設けられた少なくとも１枚の基板と、通信用集積回路部１５とアンテナ１６とを有する無線通信デバイス１４とを備えた表示装置であって、アンテナ１６の少なくとも一部が、基板上に形成されるとともに、表示部８を構成する導電体もしくは表示部駆動用配線９、１０を構成する導電体と同層の導電体により構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板の検査などを行う際に、基板の搬送する際に基板に作用する応力を低減させる。
【解決手段】 ガラス基板Ｗを浮上させる基板浮上ステージ３を有し、ガラス基板Ｗの非素子形成面Ｗ２の側縁部に下側から当接する吸着部１６と、ガラス基板Ｗの素子形成部Ｗ１の側縁部に上側から当接する吸着補助部３０とを備え、吸着補助部３０は、エアシリンダ３１の下端に補助パッド部３３が取り付けられている。補助パッド部３３は、ガラス基板Ｗを搬送する前に、ガラス基板Ｗを押圧して吸着パッド部１８に押し付ける。 （もっと読む）

【課題】基板の位置合せを精度良く行うことのできる貼合せ基板製造システムを提供する。
【解決手段】検査装置３５は、搬送された液晶パネルの基板Ｗ１，Ｗ２の位置ズレ（ずれている方向及びズレ量）を測定し、その測定値を制御装置３１に出力する。制御装置３１は、検査装置３５の検査結果に基づいて、プレス装置３６における位置合せに補正を加える。即ち、シール材が硬化した液晶パネルにおける両基板Ｗ１，Ｗ２のズレ量をその位置ズレ方向と反対方向に予めずらしておくことで、次に製造される液晶パネルの位置ズレを防止する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液晶表示装置における基板表面を洗浄するブラシ組立体および液晶基板洗浄装置に関するものである。
【解決手段】 本発明は、異なる形状をした直線ブラシ、ロールブラシ、カップブラシから構成され、また、それぞれのブラシが異なる速度で駆動制御されているブラシ組立体からなる。前記直線ブラシは、前記基板表面上を直交する方向に往復移動を行なうものである。前記ロールブラシは、前記基板表面上を転がり摩擦が発生する方向に回転する。前記カップブラシは、前記基板表面と、ブラシの回転面とが同じである。そして、本発明の液晶表示装置の基板表面を洗浄するブラシ組立体は、前記直線ブラシ、ロールブラシ、カップブラシの内の少なくとも二つを組み合わせることにより、異なる形状と異なる駆動速度により相乗効果を発揮して、液晶表示装置の基板表面の隅々までを均等に、かつ、効率良く洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】 エアの逃げやすい、うねったガラス基板の端部においても、確実に非接触の状態でその基板を保持できる浮上ユニット、及びそれを備えた浮上装置を得る。
【解決手段】 多孔質ユニット４１を設けた揺動基体３１を、球面軸受けにより基台２１で支持した。また、基台２１と揺動基体３１との間にエアを介在させ、揺動基体３１及び多孔質ユニット４１を球面に沿って揺動可能とした。この揺動により、エアが噴出する改良浮上ユニット１２の上面１２ａは自由に傾斜可能となる。うねったガラス基板を載置すると、改良浮上ユニット１２の上面１２ａは基板の傾斜に倣って傾斜した状態となる。この状態でエアを噴出させれば、基板は上面１２ａと平行な状態で浮上し、浮上力が基板に確実に作用する。これにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）