【課題】群化した点欠陥を一群の欠陥として精度良く検出できる欠陥検出方法、欠陥検出プログラムおよび検査装置を提供すること。
【解決手段】点欠陥強調工程（ＳＴ２）において、撮像画像中の点欠陥候補を強調して検出しやすくしておいてから、領域検索工程（ＳＴ３）にて所定領域内の点欠陥候補ｄ個数を検出し、領域判定工程（ＳＴ４）にて領域が対象領域か否かを判定することで、撮像画像中に点欠陥候補がある程度以上に集まった（群化した）領域を対象領域として判定する。そして、群化状態算出工程（ＳＴ６）にて点欠陥候補の群化状態を算出してから、欠陥分類工程（ＳＴ７）にて群化状態が面欠陥候補であるかを判定し、欠陥検出工程（ＳＴ８）にて面欠陥検出用の閾値を用ることで、群化点欠陥を面欠陥として精度良く検出し、欠陥判定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】液体容器の欠陥修正装置への確実な着脱を容易にする液体容器着脱装置および欠陥修正装置を提供する。
【解決手段】インクポット交換装置２０は、インクを基板に塗布する塗布針１３を含む塗布部材１９に取り付け可能に構成され、インクを保持するインクポットを、塗布部材１９に取り付けるために、インクポットを保持する取り付けホルダ２２と、インクポットを、塗布部材１９から取り外すために、インクポットを保持する取り外しホルダ２１とを備える。取り付けホルダ２２は、インクポットを引き付けて保持するために塗布部材１９が有している第１磁石９２Ａよりもインクポットを引き付ける向きの磁力が小さい第２磁石９２Ｂを含んでいる。取り外しホルダ２１は、第１磁石９２Ａよりもインクポットを引き付ける向きの磁力が大きい第３磁石９２Ｃを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いてスクライブするときに、レーザ光による損傷を受けにくい電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板５２と基板６３とを接合して、液晶表示装置３３を形成する製造方法に関する。第１スクライブ工程において、基板５２にレーザ光を照射して改質部５７を形成する。この工程で、基板５２に改質部５７が形成される場所と対向する、基板６３の場所の一部には、データ線駆動回路３９、実装端子４０、配線４２ａが配置されている。続いて、接合工程において、基板５２と基板６３とを接合する。第２スクライブ工程において、基板５２と基板６３とをスクライブする。分断工程において、基板５２と基板６３とを分断する。 （もっと読む）

【課題】塗布した修正液の硬化条件を容易に設定することが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置は、電極１５のオープン欠陥１５ａに修正ペースト１４を塗布する修正液塗布機構４と、塗布した修正ペースト１４からなる修正層１４Ａにレーザ光を照射して硬化させる修正液硬化用光源５と、光源５から修正層１４Ａに照射されるレーザ光の光強度を検出する光強度検出器１６とを備える。したがって、修正層１４Ａを硬化させるのに最適な条件を１台の装置で設定し、その条件における光源５の光強度を検出しておけば、他の装置においても光源５の光強度を合わせれば最適条件を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 基板に付着した有機物を良好に除去できる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 除去ユニット１０は、主として、マイクロバブル水１１ａを基板Ｗに向けて吐出する複数の吐出ノズル１１と、マイクロバブル発生部２１と、を備えており、基板Ｗに付着した有機物を除去する。洗浄ユニット６０は、主として、複数の上側ノズル６１と、複数の下側ノズル６２と、貯留槽８０と、を備えており、除去ユニット１０での有機物除去処理が施された基板Ｗに対して純水によるリンス処理を施す。 （もっと読む）

【課題】回収溝に回収される処理液への他の種類の処理液の混入を防止することができる基板処理装置、高さ方向における小型化を図ることができる基板処理装置、大幅なコストアップを招くことなく、回収される処理液の種類の増加に対応できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】内構成部材１９は、スピンチャック１の周囲を取り囲むように設けられ、第１案内部２５、廃棄溝２６、内側回収溝２７および外側回収溝５２を一体的に有している。中構成部材２０は、内構成部材１９の外側においてスピンチャック１の周囲を取り囲むように設けられ、第２案内部４８を有している。外構成部材２１は、中構成部材２０の第２案内部４８の外側においてスピンチャック１の周囲を取り囲むように設けられている。そして、内構成部材１９、中構成部材２０および外構成部材２１は、互いに独立して昇降可能にされている。 （もっと読む）

【課題】定期液交換処理を柔軟に配置することにより、無駄な待機時間を低減して基板処理のスループットを向上させることができる基板処理装置のスケジュール作成方法を提供する。
【解決手段】制御部は、まずライフタイムＬＴが経過する時点ｔ１で処理部のリソースに定期液交換処理ＸＬを配置する。その後、定期液交換処理ＸＬの配置に起因して、後続の処理工程ｄに待機時間が生じる場合には、延長時間ＥＴ内で定期液交換処理ＸＬを後にずらして配置し、本来は定期液交換処理ＸＬに後続する処理工程ｄを優先的に前に配置する。このように定期液交換処理ＸＬをライフタイムＬＴのアップにのみ基づき一律に配置するのではなく、定期液交換処理ＸＬを柔軟に配置するので、無駄な待機時間を低減して基板処理のスループットを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの生産方法において、各工程の払出し位置でステージの補正動作（液晶パネル基板の位置補正）を行わずに済むようにする。
【解決手段】最初の工程のステーション１２の作業位置で、ステージ１５上の液晶パネル基板１１の基準マークをカメラで撮像して、液晶パネル基板１１の位置ずれを補正して液晶パネル基板１１に対する所定の作業を実行すると共に、液晶パネル基板１１の位置ずれ量の検出値をメモリに記憶する。この後、ステージ１５を作業位置から払出し位置へ移動させる（この払出し位置ではステージ１５の補正動作を行わない）。次の工程のステーション１３で、ステージ１６を搬入位置から作業位置に移動させる際に、メモリに記憶されている液晶パネル基板１１の位置ずれ量を読み出して、この位置ずれ量で作業位置を補正し、液晶パネル基板１１をステージ１６に載せて補正後の作業位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルから保護シートを剥離する際に、偏光板表面に処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境や剥離速度などの剥離条件に影響されない安定した表面電位を保つことができる保護シート剥離装置およびその剥離方法を提供する。
【解決手段】 剥離部４が移動しながら液晶パネル２から保護シート８を剥離し、ミストを生成し、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面に向けてミストを吹き出し、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺にあるミストを吸引する。液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度を検出し、検出した湿度に基づいてミスト吹出量とミスト吸引量と前記剥離部４の移動速度とを制御するようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明では、液晶基板等の分光透過率測定の前工程として行われる照明光源の位置の調整を自動で行う分光測光システムを提供する。
【解決手段】少なくとも水平方向に移動可能な顕微鏡ユニットと、前記顕微鏡ユニットに追従して水平方向に移動可能であり、かつ、鉛直方向に移動可能な照明光源と、前記顕微鏡ユニットによる観察視野にある所定の観察位置と、前記照明光源からの照明光の中心とを一致させる照明中心補正手段と、前記顕微鏡ユニットによる観察視野内で、前記照明光源より照らされる照明領域について合焦させる合焦手段と、前記照明領域のうち最も明るい位置と前記観察位置とを一致させる最大光量位置補正手段と、を備えることを特徴とする分光測光システムにより、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】噴霧する液体材料を構成する原料や溶媒の種類に制限されること無く、溶媒に原料が溶ける割合を広く設定することが可能な、ＳＰＤ法による透明導電性基板の製造装置を提供する。
【解決手段】本発明の製造装置２０は、被処理体１１を載置する支持手段２１と、透明導電膜の原料溶液を構成する成分ごとに、それぞれの成分からなるミストを個別に作製する第一生成手段２８及び第二生成手段２９と、前記第一生成手段と個別に繋がり、前記被処理体の一面１１ａに向けて、それぞれの成分からなる第一ミスト２３Ａを噴霧する第一吐出手段２４Ａ及び、前記第二生成手段と個別に繋がり、前記被処理体の一面に向けて、それぞれの成分からなる第二ミスト２３Ｂを噴霧する第二吐出手段２４Ｂと、前記被処理体の温度を調整する温度制御手段２２と、を少なくとも備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の内部の欠陥を、基板の表面からの深さに関わらず検出する。
【解決手段】投光系は、光線の焦点を光が透過する基板１の表面に合わせ、光線を基板１の表面へ斜めに照射しながら、光線を移動して光線による基板１の走査を行う。下受光系は、複数の光ファイバーを束ねた受光部３２を有し、基板１の裏面側に配置され、基板１の表面又は内部の欠陥により散乱されて基板１を透過した散乱光を受光する。基板１の内部に欠陥が存在する場合、複数の光ファイバーを束ねた受光部３２で受光された散乱光は、縦横に広がった十字形状となる。欠陥検出回路３５は、受光部３２が受光した散乱光の形状的特徴から、基板１の内部の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】基板に過度のストレスを与えることなく、基板全面を均一に洗浄することができる液晶パネルの製造装置及び液晶パネルの製造方法の提供。
【解決手段】ブラシ洗浄ユニット１にブラシ洗浄機構部と搬送機構部とを少なくとも備え、ブラシ洗浄機構部はガラス基板３に回転しながら接触するロールブラシ２とロールブラシ２を昇降させる昇降機構部７とを有し、搬送機構部はガラス基板３を搬送する搬送ローラ４と浮き上りを防止する浮き上がり防止ローラ５とを有する。そしてロールブラシ２は、ガラス基板３がロールブラシ２と反対側に反って凸状に変形しても押し込み量が均一になるように、その長手方向の端部から中央部に向かって徐々に径が大きく又は徐々に硬度や密度が大きくなるように形成する。これによりガラス基板３に対するロールブラシ２の押し込み量、すなわち、押し込み圧力の均一化を図る。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置の配線および電極を形成するための銅合金薄膜並びにその薄膜を形成するためのスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】Ａｇ：０．０２〜２原子％を含有し、さらにＶ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、ＮｉおよびＺｎのうちの１種または２種以上を合計で０．０１〜２．５原子％を含み、残部がＣｕおよび不可避不純物からなる組成を有する銅合金薄膜からなる熱欠陥発生のない液晶表示装置用配線および電極、並びにこれらを形成するためのＡｇ：０．１〜１０原子％を含有し、さらにＶ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、ＮｉおよびＺｎのうちの１種または２種以上を合計で０．０２〜５原子％を含み、残部がＣｕおよび不可避不純物からなる組成を有するスパッタリングターゲット。 （もっと読む）

【課題】不要チップが、常に貼合せ基板の所定の位置にくっ付いてブレイクされるよう調整することができる貼合せマザー基板のスクライブ方法および貼合せマザー基板の分割方法を提供する。
【解決手段】方形の第１および第２基板６，７を、対向する２辺の一方の辺を揃え他方の辺を不揃いにして貼り合わせて成る貼合せ基板５を、第１および第２マザー基板２，３から成る貼合せマザー基板１から複数枚取りするスクライブ方法において、第２基板６のフルスクライブライン１２の第２マザー基板２に対するスクライブと、第１基板７のハーフスクライブライン１３の第１マザー基板３に対するスクライブとを強く行なうと共に、これに対しフルスクライブライン１２の第１マザー基板３に対するスクライブを弱く行なう。 （もっと読む）

【課題】材料の利用効率を向上させ、かつ、作製工程を簡略化して作製可能な表示装置及びその作製技術を提供することを目的とする。
【解決手段】光吸収層を形成し、光吸収層上に絶縁層を形成し、光吸収層及び絶縁層に選択的にレーザ光を照射し、光吸収層の照射領域及び絶縁層の照射領域を除去し光吸収層及び絶縁層に開口を形成し、開口に光吸収層と接するように導電膜を形成する。露出した光吸収層と接するように開口に導電膜を形成することによって、光吸収層及び導電膜は絶縁層を介して電気的に接続することができる。 （もっと読む）

【課題】大型マザー基板から薄膜化した個々の表示装置を効率よく分離する。
【解決手段】ＴＦＴマザー基板１０と封止マザー基板１２の裏面には、複数の表示装置を分離するためのスクライブ痕１１が予め形成されている。これらマザー基板の表面がエッチングされ、そのエッチング部１４，１５が、スクライブ痕１１まで達して、ＴＦＴ基板３と封止基板８とからなる複数の表示装置が分離される。 （もっと読む）

【課題】ＬＣＤなどの製造に使用される階調をもつフォトマスクの半透明領域の欠陥部修正方法において、多大な時間を要せず簡単な方法で修正箇所の最適な修正用パターン形状を決め、その最適な修正用パターン形状に基づいて欠陥部を修正する欠陥部修正方法および修正後の修正部の評価方法を提供する。
【解決手段】階調をもつフォトマスクの半透明領域の欠陥部修正方法において、前記欠陥部および欠陥部周辺の画像を撮像して画像データを取得する工程と、前記画像データをポリゴンデータとし、該ポリゴンデータを用いて修正箇所の光強度をシミュレーションして前記修正箇所の最適な修正用パターン形状を決定する工程と、前記最適な修正用パターン形状に基づいて前記欠陥部を修正する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】配向膜への不純物の付着や経時変化を抑制して表示品質や製品歩留まりを更に向上させることが可能な液晶表示素子の製造装置を提供する。
【解決手段】表示エリア１２を有する画素電極基板４の表面に配向膜１４を形成し、透明電極１６を有する透明電極基板６の表面に配向膜１８を形成し、両基板をシール接着剤２０により接合することにより液晶ＬＣを封止してなる液晶表示素子の製造装置において、真空雰囲気と大気圧雰囲気とを選択的に実現できて内部に搬送ロボット５４を有する搬送室４２と、真空中にて画素電極基板と透明電極基板の表面にそれぞれ配向膜を形成する成膜室４６と、配向膜が形成された画素電極基板、或いは透明電極基板にシール接着剤を塗布し、シール接着剤で囲まれたエリアに液晶を滴下するシール接着剤・液晶処理室４８と、真空中にて両基板を互いに貼り合わせる貼り合わせ室５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】所定間隔を置いて精密加工が施される複数枚の板状の各ワークに対して同時に且つ容易に温度調整を施すことのできる板状ワークの温度調整装置を提供する。
【解決手段】精密加工が施される複数枚のガラス板を所定間隔を介して平行に積層して積層体を形成する棚体１０と、ガラス板の各々の両面に沿って空気流が平行流として流れるように、前記積層体の一端側の全面に亘って前記空気流を供給するフィルタ２２によって一壁面が形成されるチャンバー２４と、チャンバー２４に温度調整手段によって所定温度に調整された空気を送風する送風機２６とが設けられ、送風機２６を駆動する電動モータの回転数を、フィルタ２２から所定範囲の流速の空気流が供給されるように、チャンバー２４の圧力を制御するインバータ制御部４８が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）