【課題】インクジェットカラーフィルタのインク吐出ヘッドノズルのインク吐出量調整用データを高速に取得することと、生産時、検査装置にて常時ムラ状態を監視すること。
【解決手段】ラインカメラを用いた、インクジェットカラーフィルタのインク吐出ヘッドノズルのインク吐出量調整用データの高速取得方法および、インライン計測検査システムであって、インライン検査時にインクジェットカラーフィルタに対し、画素内の測定対象平均輝度データを算出し、条件出し時には、このデータを基に塗工装置にフィードバックをかけ、通常生産時には通常検査と併用し同輝度データをサンプリングすることで、塗工装置ヘッドノズルの状態を監視、ムラ異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内の雰囲気を外部に拡散させないために行うチャンバからの排気を低減できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、処理槽２０およびシャワーノズル３０を収容するチャンバ４０と、チャンバ４０を密閉するシャッタ４１とを備えている。このため、チャンバ４０から排気を行うことなくチャンバ４０の内部において基板Ｗを処理できる。また、処理槽２０の上面とシャッタ４１の下面との間の距離は２０ｍｍ以上かつ５０ｍｍ以下であり、処理槽２０の外側面とチャンバ４０の内側面との間の距離は５ｍｍ以上かつ２０ｍｍ以下である。このため、チャンバ４０の内容積は小さく、シャッタ４１を開放したときにもチャンバ４０から多量の排気を行う必要がない。 （もっと読む）

【課題】偏光板を無駄にすることなく、液晶パネルの欠陥を容易かつ確実に修復（修正）することができる液晶パネル検査装置及び液晶パネル検査方法を得る。
【解決手段】偏光板３２Ｂを備えたバックライト３２から液晶パネル１０に対して光を照射することにより、液晶パネル１０に偏光板が貼り付けられていない状態でも、液晶パネル１０の点灯検査が可能になる。これにより、点灯検査において液晶パネル１０に欠陥（不良）が確認された場合に、偏光板を剥がすことなく、欠陥（不良）を修復（修正）することができる。また、欠陥部分に位置する偏光板が廃棄されることがないので、偏光板を無駄にすることを防止でき、液晶パネル１０の製造コストが低減される。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルから偏光板を剥離する際に要する時間を可及的に短くする。
【解決手段】液晶表示パネル２に粘着剤層を介して偏光板３及び４が貼り付けられた被剥離体５を載置するための剥離ステージ１４と、剥離ステージ１４に載置された被剥離体５の液晶表示パネル２及び偏光板４の間に介在させて粘着剤層を加熱して軟化させるための剥離刃２２とを備え、剥離ステージ１４に載置された被剥離体５の液晶表示パネル２及び偏光板４の間に剥離刃２２を挿入させながら、剥離刃２２を被剥離体５の一方端側から他方端側に移動させることにより、液晶表示パネル２から偏光板４を剥離する偏光板の剥離装置であって、剥離ステージ１４は、被剥離体５を加熱するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 輸送にも便利で、かつ、コンパクトで前処理工程に適する真空チャンバを提供する。また、前記真空チャンバを備えたロードロックチャンバ及び処理装置を提供する。
【解決手段】 貫通穴１０ａ〜１０ｃが形成された略直方体のチャンバ部材１１ａ〜１１ｃを２以上備え、前記チャンバ部材１１ａ〜１１ｃのうち、少なくとも１のチャンバ部材の貫通穴の一方の口が形成されている面に、シール部材の装着を可能とする溝が形成され、この溝にシール部材を装着して、隣接するチャンバ部材の各貫通穴が連通するように、チャンバ部材を２以上接合してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分断面にチッピングのない基板の分断装置を提供する。
【解決手段】表面の製品サイズの線上にカッターにより切断線がスライブされた一次加工ずみ液晶パネルなどの基板Ａをテーブル２１のクッションマット２２上に載置し、二次加工位置の上記切断線の直上に位置する折割部材Ｃを昇降手段Ｄ、Ｄ´によって降送しながら、上記折割部材により衝撃を加えて上記切断線に分断ニューを浸透させる基板の分断装置において、上記折割部材と基板との圧力作用接触点を、前記折割部材の一端から他端に逐次移動して押し割るように上記昇降手段を運転する。 （もっと読む）

【課題】少ない労力とエネルギーを用い液晶を回収、透明導電膜中のインジウムを回収するとともにガラスを再利用することが可能である液晶パネルの処理方法を提供する。
【解決手段】貼り合わされた２枚のガラス基板を分離するパネル分離工程と、ガラス基板上の液晶およびインジウムを回収する液晶およびインジウム回収工程と、ガラス基板上に形成されたバス電極を除去するバス電極除去工程と、バス電極除去後のガラス基板を回収するガラス基板回収工程とを含む液晶パネルの処理方法、ならびに、電解液を収容する電解槽と、外部電源に電気的に接続された陽極端子および陰極と、バス電極が形成されたガラス基板を電解槽内に収容された電解液中に移動させるための移動手段とを備える液晶パネルの処理装置。 （もっと読む）

【課題】一対のマザー基板を切断して複数の電気光学装置を製造する際、一対のマザー基板を、平滑性の高い切断面を有するように切断する。
【解決手段】電気光学装置の製造方法は、一対のマザー基板（Ｓ１、Ｓ２）をパネル形成領域（８１０）毎に切断して、一対の基板（１０、２０）を備えた電気光学装置を製造する。更に、一方のマザー基板（Ｓ２）における他方のマザー基板（Ｓ１）に対向する面とは反対側の面に、パネル形成領域間の境界に位置する切断予定線（Ｌ２）に沿ってスクライブを施すことによりスクライブ溝（５１０）を形成する工程と、一方のマザー基板を他方のマザー基板に対向する面側から押圧することによりスクライブ溝を起点とするクラック（５２０）を形成する工程と、このクラックを形成する工程の後、ハーフダイシングを施すことによりダイシング溝（５３０）を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ用の各画素を制御するための回路チップが埋め込まれたディスプレイ用回路基板を簡易かつ高収率に作製するために、回路チップを回路基板シートに簡便かつ安価に配置することができる技術を提供する。
【解決手段】回路チップを保持している回路チップ保持部材から、所要数の回路チップを回路基板シートの表面に転写させる回路基板の製造方法であって、前記所要数の回路チップを転写する箇所を選択的に粘着部に設定する。また、この回路基板シートの未硬化層に未硬化粘着部を選択的に構成して自身の表面に所要数の回路チップを配置して、回路基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】基板の反転を必要とせず、且つ基板の周縁部にダメージを与えないように基板の裏面を洗浄することの可能な基板洗浄装置等を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、裏面を下方に向けた状態の基板を裏面から支えて保持する２つの基板保持手段（吸着パッド２、スピンチャック３）を備え、支える領域が重ならないようにしながらこれらの基板保持手段の間で基板を持ち替える。洗浄部材（ブラシ５）は基板保持手段により支えられている領域以外の基板の裏面を洗浄し、２つの基板保持手段の間で基板が持ち替えられることを利用して基板の裏面全体を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】装置全体を小型化にし、回転ブラシを交換し易くできるダスト除去装置。
【解決手段】ダスト除去装置１は、ワークＷに付着したダストを除去する回転ブラシ１１と、回転ブラシ１１の動力源であるモータ１５と、モータ１５からの動力を回転ブラシ１１に伝達して回転ブラシ１１をその軸心を中心に回転させる回転動力伝達機構１３と、モータ１５からの動力を回転ブラシ１１の往復運動に変換して回転ブラシ１１をその軸方向に往復させる往復動力伝達機構１４と、を備える。モータ１５、回転動力伝達機構１３及び往復動力伝達機構１４を、回転ブラシ１１の軸方向の一端側に配置した。 （もっと読む）

【課題】ノズルおよび該ノズルに接続された処理液導入部に残留する処理液をガスによって押し出す際に、該処理液を安定して押し出すことができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】押出処理が停止され、薬液処理が実行される間、上流側バルブＶ１と下流側バルブＶ２は閉じられ、上流側バルブＶ１および下流側バルブＶ２とに挟まれたバルブ間領域ＶＲは大気圧Ｐ０に調整されている。そして、薬液処理後、薬液押出処理を開始するために上流側バルブＶ１の開放に先立って下流側バルブＶ２が開かれる。この時点では、残留薬液にかかる圧力は大気圧Ｐ０となっているため、残留薬液が押し出されることがない。このため、いきなり元圧力Ｐ１で残留薬液が押し出されるのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】画像表示パネルの角度誤差を、大掛かりな装置を必要とせず、簡便かつ高精度に補正可能な画像表示パネル検査用治具を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像表示パネル検査用治具は、上記画像表示パネルを支持する第１の支持手段２及び第２の支持手段３を備え、第１の支持手段２は画像表示パネル５を保持するように設けられた保持部４ａ，４ｂ、並びに、当該保持部を支持する第１の治具本体４ｃ，４ｄを備え、第２の支持手段３は、第１の支持手段２とは反対側から、画像表示パネル５を挟んで保持するように設けられた保持部４ｅ，４ｆ、及び、当該保持部を支持する第２の治具本体４ｇ，４ｈを備え、治具本体４ｃを基準として画像表示面７の角度誤差を、補正するように駆動する角度補正保持部４ａをさらに備え、角度補正保持部４ａは、治具本体４ｃに支持される保持部に設けられている。 （もっと読む）

【課題】テープ貼付装置がテープを使用して稼働中の時間を利用してテープ供給リール交換作業の時間を短縮すると共に、テープ貼付装置自体を安定させ貼付精度を低下させないようなテープの交換方法を提供する。
【解決手段】回動により交互に位置を入替が可能な２つのリール保持部材５１を有し、少なくとも一方のリール保持部材５１に取り付けたテープ供給リール２１から引き出したテープ２を所定の経路に保持すると共に位置変位が可能なガイドローラ５９、６７等を配置したテープ交換装置７０を設け、テープ貼付装置４０とテープ交換装置７０を直線的に移動させて接近させ、リール保持部材５１に取り付けられたテープ供給リール２１をテープ貼付装置４０側に移し替え、テープ交換装置７０のガイドローラ５９、６７等を位置変位させてテープ貼付装置４０の供給路に移し替えるテープの交換方法。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタヘッドのブラックインクのように、複数種類の液体のうち、特定の液体のみ使用頻度が高い液体吐出装置において、その特定の液体を広い面積に効率良く塗布することができ、しかもノズル列の長さ方向における装置の寸法増加を抑えることができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル列は長いノズル列４ａとそれよりも短いノズル列４ｂ、４ｃ、４ｄとを含み、短いノズル列の延長方向でかつ長いノズル列の側方の位置にスペース６Ｓをあけている。短いノズル列４ｂ、４ｃ、４ｄに対応する圧力室に液体を供給するマニホールド６２ｂ、６２ｃ、６２ｄは、スペース６Ｓを通る接続部６３ｂ、６３ｃ、６３ｄを介して、ノズル列の側方に位置する供給口１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄと接続している。 （もっと読む）

【課題】液滴を吐出して形成する膜パターンの膜厚均一性を向上させた液滴吐出ヘッドの
駆動方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】ヘッド駆動回路は、ラッチ６２を介して下位選択データＳＩＬをラッチし、
液滴を吐出するためのノズルに関するデータを記憶する。ヘッド駆動回路は、ステートカ
ウンタ６３及びＤＵＴＹ制御信号生成回路６５を介してモード選択データＡＤ１〜ＡＤ３
に基づく描画モードを判断し、描画モードが「ＤＵＴＹモード」であるとき、複数のノズ
ル群のいずれか１つを選択するための出力タイミング制御信号をステートごとに生成する
。ヘッド駆動回路は、パターンデータ合成回路６６を介して、液滴を吐出するためのノズ
ルの各々に対し、対応するノズル群に規定されたステートで液滴を吐出させるための信号
（出力制御信号ＰＩ）を生成する。 （もっと読む）

【課題】形成された画素電極の形状を矩形形状等の所定の形状とし、画素電極間ギャップの精度が向上する、液晶表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】画素電極１００がマトリスク状に配置された液晶表示素子の製造方法において、基板１上にレジスト層３を形成し、ストライプ状の第１光透過領域Ｂ１０を有する第１露光マスク１０を用いて、光をレジスト層に第１露光マスクを介して照射し、レジスト層にストライプ状の第１露光領域４０を形成し、ストライプ状の第２光透過領域Ｂ２０を有する第２露光マスク２０を用いて、光をレジスト層に第２露光マスクを介して照射し、レジスト層に第１露光領域と交差するストライプ状の第２露光領域５０を形成する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルに対して前記プローブ組立体を容易に位置合わせすることができる。
【解決手段】液晶パネルを設定位置に設置して、撮影手段でプローブ組立体のプローブ及び前記液晶パネルの電極を撮影しながら、当該プローブ組立体を他のプローブ組立体から独立して移動させて、当該プローブと前記電極との位置合わせを行うプローブ位置合わせ工程と、当該プローブ位置合わせ工程で前記プローブと電極との位置合わせをした状態で前記プローブ組立体のベース板に対する相対位置を保持する保持工程と、前記撮影手段を移動させて前記位置合わせ後の液晶パネルのアライメントマークを当該撮影手段で撮影して前記液晶パネルの基準位置を特定する基準位置特定工程と、特定した前記基準位置に新たな検査対象板のアライメントマークを合わせることで前記プローブと前記新たな検査対象板の電極の位置合わせを行う通常位置合わせ工程とを含んで構成した。 （もっと読む）

【課題】光電効果の薄膜トランジスターに対する影響を早期に検出し、製品の信頼性および工程に関連する問題を早期に反映させることのできる検査方法を提供する。
【解決手段】液晶ディスプレイ薄膜トランジスターアレイ基板の欠陥を検査することに適用する検査方法であって：検査設備を提供することであり、前記検査設備がシャンバー、前記シャンバー中に配置されるプラットホーム、発光機構および電気特性テスト機構を含むものと；前記液晶ディスプレイ薄膜トランジスターアレイ基板をプラットホーム上に載置することと；前記発光機構を利用して前記液晶ディスプレイ薄膜トランジスターアレイ基板を照射することと；前記電気特性テスト機構を利用して前記発光機構の照射を経た前記液晶ディスプレイ薄膜トランジスターアレイ基板の電気特性を検査することとを含むものである。 （もっと読む）

【課題】一部の光照射手段に異常が発生した場合にも、描画処理を継続することができるパターン描画装置を提供する。
【解決手段】パターン描画装置１は、ＣＣＤカメラ４１を使用して複数の光学ヘッド３２ａ，３２ｂ，…，３２ｇの照射光を撮影し、その撮影結果に基づいて各光学ヘッド３２ａ，３２ｂ，…，３２ｇに異常が発生しているか否かを判定する。そして、パターン描画装置１は、異常と判定された光学ヘッドが担当する描画領域を他の光学ヘッドで補完描画する。このため、一部の光照射手段に異常が発生した場合にも、描画処理を継続することができ、装置の稼働率を向上させることができる。 （もっと読む）