【課題】 従来の空調システムにおいて必要としていた２重化した床やリターンダクトを必要とせず、特に、近年の液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造における、マザーガラスの大型化に伴う、装置の大型化、大重量化に対応できる、空調システムを提供する。
【解決手段】 建物の室の天井である第１の天井の下方、装置の上側に、該装置領域全体だけを第１の天井に沿って覆う、第２の天井を設け、該第２の天井の周辺部から下方に向けて前記装置を囲う障壁を設けているもので、前記障壁の、前記装置に対して良い清浄度が求められる前記所望する高さよりも低い位置に、障壁を開口して空気を通す障壁開口部を設け、且つ、前記第２の天井には該天井を開口する第２の天井開口部が設けられ、該第２の天井開口部にはエアフィルターが取り付けられ、該エアフィルターの上方にはファンが設けられている。 （もっと読む）

【課題】供給した薬液が処理対象膜上で弾かれることなく、薬液を処理対象膜上に液の膜厚が均一となるよう供給できることにより、処理対象膜を所望の形状に正確にパターニングすることができる構成を有する電気光学装置の製造装置を提供する。
【解決手段】基板１０’が載置されるステージ９２と、ステージ９２に載置される基板１０’の処理面１０’ｓに対向して設けられる、対向面９１ｔに複数の現像液吐出口９１ｈが形成された平板状の現像液供給ノズル９１と、現像液吐出口９１ｈに対応してそれぞれ設けられた、現像液吐出口９１ｈから吐出される現像液Ｇの流量を、現像液吐出口９１ｈ毎に調整する流量調整部９４と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気泡が混入したまま残ってしまうことを抑制することが可能な貼付装置を提供する。
【解決手段】この貼付装置１は、液晶表示パネルステージ３および偏光板ステージ４と、押圧ローラー５との少なくとも一方を、押圧ローラー５が偏光板２００の貼付開始側の先端部から離間した位置から偏光板２００の貼付開始側の先端部に近づく方向に相対的に移動させることによって、偏光板２００の貼付開始側の先端部の手前側から偏光板２００の貼付開始側の先端部に押圧ローラー５を接触させて押圧を開始するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用カラーフィルタの、異物等を含んで着色層の膜厚が部分的に厚くなった際、異物部分だけを除去した小面積をインクで修正し、異物付着で凸部となった周辺部位の平坦化を行い、膜厚のバラツキを小さくして良品とするカラーフィルタ基板の欠陥修正方法、および該欠陥修正方法で修正されたカラーフィルタを提供することで、カラーフィルタ基板の製造工程における欠陥修正負荷を削減し、歩留まりを改善する。
【解決手段】レジスト材料で表面に少なくとも着色画素がパターンニングされた、複数の工程で形成されるカラーフィルタ基板上にレーザー光を照射して、前記基板上の欠陥を修正するカラーフィルタ基板の欠陥修正方法において、前記着色画素を形成する着色層の膜厚が厚くなった不良部分に、アパーチャのサイズを変更して照射領域を変えながらレーザー光を繰り返し照射する。 （もっと読む）

【課題】ノズル同士の衝突を避けつつ、ノズルの稼働率を向上させることができる技術を提供する。
【解決手段】制御部は、現像ノズル２１を、第１の高さにある水平面（移動走行面Ｈ１）上で移動させることによって、現像ノズル２１を現像処理セット１０間で移動させる（ＡＲ２，ＡＲ６）。ただし、移動走行面Ｈ１は、純水ノズル１３０の移動エリア（純水ノズル１３０を処理位置Ｓ１３０と待避位置Ｔ１３０との間で移動させる際に純水ノズル１３０が移動するエリア）の上方に形成される。したがって、純水ノズル１３０との干渉を考慮せずに自由に現像ノズル２１を現像処理セット１０間で移動させることが可能となり、これにより、現像ノズル２１と純水ノズル１３０との稼働率が向上する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの入れ替えに要する時間を短縮可能な技術を提供する。
【解決手段】ＤＩＷ供給部１３が移動するエリア内に、現像ノズル２１と純水ノズル１３０との干渉エリアＡｉを特定する。基板Ｗに対する純水の吐出処理（プリウェット処理）を終えた純水ノズル１３０が、干渉エリアＡｉの外に移動したことが確認されると、現像ノズル２１が所定の待機位置Ｔ２１から基板Ｗの上方の吐出開始位置へと移動開始する（ＡＲ１３）。 （もっと読む）

【課題】装置内に付着した処理剤の付着物を除去することで表面処理精度を向上させることが可能な表面処理装置および表面処理方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面処理装置１は、基板Ｗを配置する成膜室３と、気化したシランカップリング剤Ｙ２を成膜室３に供給する処理剤供給装置１と、成膜室３内を減圧するポンプ５と、を有し、気化したシランカップリング剤Ｙ２の流動経路４４上に、流動経路４４に対する付着物を除去する付着物除去装置４０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】在庫を最小限に抑えることができる光学表示装置製造システムに適用される受発注システム及び受発注方法を提供する。
【解決手段】検査装置３０による光学フィルムＦ１１，Ｆ２１が貼り合せられた後の光学表示ユニットＷの検査結果に基づいて、入力された生産計画数に対応する切断前の光学フィルムＦ１１，Ｆ２１の長さを算出し、その長さの光学フィルムＦ１１，Ｆ２１が巻回されることにより形成されたロール原反を発注する。これにより、入力された生産計画数と同数の光学フィルムＦ１１，Ｆ２１を得るのに必要な長さのロール原反を発注するのではなく、検査装置３０による検査結果も考慮に入れた上で算出される長さのロール原反を発注することができるので、実際に必要な長さのロール原反をより確実に発注することができ、ロール原反の在庫を最小限に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】収容部材内の薬液ミストを含む雰囲気が処理室内に拡散することを防止できる、基板処理装置を提供すること。
【解決手段】処理チャンバ２内において、ウエハＷを保持するウエハ回転機構３は、カップ８内に収容された状態で設けられている。カップ８の上端部には、カーテン形成ノズル３０が設けられている。また、処理チャンバ２内には、ウエハＷの表面にＳＰＭを供給するための移動ノズル１４が設けられている。少なくともウエハＷの表面へのＳＰＭの供給中は、カップ８の上方に水カーテンＷＣが形成され、水カーテンＷＣによって、カップ８の内側の空間を含む水カーテンＷＣの内側の空間と水カーテンＷＣの外側の空間とが遮断される。 （もっと読む）

【課題】基板にリンス液を供給する工程の終了後に、基板に薬液ミストが付着することを防止できる、基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板に対するレジスト剥離処理においては、処理室内において、基板にＳＰＭが供給される。このとき、基板でのＳＰＭの跳ね返りやＳＰＭ中の水分の蒸発などによるＳＰＭのミストが生じ、ＳＰＭのミストが処理室内の空間に浮遊して拡散する。基板へのＳＰＭの供給の終了後、基板にＳＰＭを洗い流すための純水が供給される。この純水の供給と並行して、処理室内の空間に微細な水滴が噴射される。これにより、処理室内の空間に拡散したＳＰＭのミストに微細な水滴がかかり、ＳＰＭのミストが微細な水滴に吸収され、ＳＰＭのミストが処理室内の雰囲気中から排除される。 （もっと読む）

【課題】基板の薄型化と強度向上とを両立することのできる、液晶表示装置の製造方法を
提供する。
【解決手段】第１基板１０第２基板２０との間に液晶層を挟持する液晶表示装置の製造方
法である。複数の第１基板１０を含む第１母材基板１と、複数の第２基板２０を含む第２
母材基板２と、を貼り合せる。貼り合わせた第１母材基板１及び第２母材基板２の表面を
薄型加工する。第１母材基板１、及び第２母材基板２のエッチング処理面に、薄膜応力×
膜厚が５０Ｐａ・ｍ以上となる圧縮応力を有する保護膜１５をそれぞれ形成する。そして
、保護膜１５が形成された第１母材基板１、及び第２母材基板２をスクライブして、第１
基板１０及び第２基板２０における貼り合わせ構造を有する液晶パネル毎に個片化する。 （もっと読む）

【課題】隣接するパターン間の開口部を、投影露光機の解像度よりも微細化することが可能であって、かつパターン間の寸法精度ずれが生じにくいパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るパターン形成方法は、被エッチング膜を成膜する工程と、複数のパターンとして残したい領域に対応して被エッチング膜の上層に複数のマスクパターンを形成する工程と、複数のマスクパターンをマスクとして、エッチング処理を行うことにより被エッチング膜のパターンを形成する工程とを備える。この複数のマスクパターンは、其々が、第1の被覆パターンと、この第1の被覆パターンの一部の領域において積層領域を有する第２の被覆パターンとにより形成されている。積層領域の短手方向の幅は、異なる複数のマスクパターンにおける隣接するマスクパターン間で同一になるようにする。 （もっと読む）

【課題】シート状の基材を貼付された基板の一方主面を下向きに保持したまま基材を剥離することのできる剥離装置を提供する。
【解決手段】表面にシートフィルムＦが貼付されフェースダウン状態で搬入された基板Ｗを、吸着ステージブロック１００によりフェースダウン状態のまま吸着保持する（図１０（ａ））。巻き取りローラ２２０を有する巻き取りブロック２００を基板Ｗの左下に移動させ（同図（ｂ））、シートフィルムＦの吸着を一部解除するとともに突き出しピン１４２により突き出すことで、端部を下方に垂れ下がらせる（同図（ｃ））。こうして垂れ下がった端部をシートクランプ２２３、２２５によりクランプし（同図（ｄ））、巻き取りローラ２２０を回転させながら右方向に移動させることにより、シートフィルムを剥離させ巻き取る。 （もっと読む）

【課題】 板状体を非接触で押えながら板状体から保護フィルムを剥離する際に板状体に作用する曲げモーメントを可及的に低減し、板状体の損傷を防止することができる保護フィルム剥離装置およびその方法を提供する
【解決手段】 表面に保護フィルムが貼着されている板状体から前記保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離装置において、前記板状体から前記保護フィルムの周縁部を剥離して、その周縁部を保持する剥離保持手段と、前記剥離保持手段が設けられ剥離保持手段を移動させるための第１移動手段と、前記板状体の表面における前記保護フィルムの剥離された部分と剥離されていない部分との境界部分である剥離境界部の近傍に向けて、板状体の上方から圧縮気体を噴射する押え手段と、前記押え手段を前記剥離境界部の移動に伴って移動させるための第２移動手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】フィルムの貼付に際して、フィルムの吸着及び吸着解除を確実に行うフィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】フィルム貼付装置１００のフィルム貼付部１０は、回転軸２０に回転可能に支持される円筒状の外側枠体３０と、回転軸２０に外側枠体３０と独立に回転可能に支持される内側枠体４０との間に形成される閉空間Ｅを有する。フィルムステージ５０は、外側枠体３０の円筒面にフィルム５１を供給する。貼付ステージ６０は、円筒面に供給されたフィルム５１を貼付する液晶パネル６１を載置する。閉空間Ｅが、外側枠体３０の第１の隔壁３４と、内側枠体４０の第２の隔壁４１とによって、大気に連通する第１の領域Ｆと、減圧される第２の領域Ｇとに区画され、外側枠体３０及び内側枠体４０のいずれかを回転させて、第１の領域Ｆ及び第２の領域Ｇを縮小又は拡大させて、フィルム５１を吸着又は吸着解除する。 （もっと読む）

【課題】処理室間においてミスト状処理液の侵入を防止する。
【解決手段】基板処理装置は、剥離液により剥離処理を施す第１剥離処理室１と、前記剥離液よりも低濃度の剥離液により剥離処理を施す第２剥離処理室３と、各処理室１，３の間に介設される中間室２と、第１剥離処理室１、中間室２及び第２剥離処理室３の隔壁１１，１３に形成される基板搬送用の開口部１１ａ，１３ａを各々開閉するシャッタ２５，３４等と、中間室２において少なくとも第２剥離処理室３側の開口部１３ａが開放されているときに、当該開口部１３ａに向かってエアを吐出するエアナイフ３６，３６と、エアナイフ３６，３６と前記開口部１３ａとの間に排気口４０を有し、この排気口４０を通じて中間室２内を排気する排気手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】自重の影響を軽減しながら、カッタの刃先荷重の微妙な調整が容易にでき、適正な刃先荷重の設定によって、切粉の発生の少ないスクライブ線の形成が可能なスクライブ装置を提供する。
【解決手段】ホイールカッタ１５の刃先をガラス板Ｇの表面に押し付け、カッタとガラス板を相対移動させることによりガラス板の表面にスクライブ線を刻設する装置において、支点１２を中心に揺動可能に支持され、支点から離れた一端側１３Ａにカッタを備えたアーム１３と、アームの他端側１３Ｂの連結ブラケット１６にアームを揺動させる方向の力を加えることで、カッタにガラス板の表面に対する押し付け力を付与する空圧シリンダ２０とを備え、前記支点からカッタまでの距離をＡ、支点から連結ブラケットまでの距離をＢとした場合、Ａ＜Ｂに設定した。また、カッタを備えた側の重量モーメントＭＡと、反カッタ側の重量モーメントＭＢをＭＡ≦ＭＢの関係に設定した。 （もっと読む）

【課題】微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段を備える洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示パネルを製造するときに、走査信号線などのパターンの高精細化を容易にする。
【解決手段】 絶縁基板の表面上に走査信号線、映像信号線、ＴＦＴ素子、および画素電極を形成する過程で、感光性材料膜を露光、現像する露光／現像工程を複数回行う表示装置の製造方法であって、１つの前記感光性材料膜に対する露光は、複数の段階に分けて行い、１つの前記感光性材料膜に対する前記複数の段階の露光は、連続する２つの段階の露光の間に、前記感光性材料膜のうちの前記露光する領域の位置を、露光時に使用するレイアウトデータにおける単位領域の寸法よりも短い距離だけ移動させるステップを挟み、１つの前記感光性材料膜に対するそれぞれの段階での露光は、前記単位領域の前記感光性材料膜全体の感光に要する露光量を前記段階の数で除した値と概ね一致する露光量で行う表示装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ＡＣＦテープをハーフカットして分割貼りを行った後に、台紙テープを確実にＡＣＦから剥離して基板の貼り付け領域毎に順次ＡＣＦの貼り付けを行えるようにする。
【解決手段】供給リール１１からのＡＣＦテープ１３は途中でカッタユニット３０によりハーフカットされて、水平ガイドローラ１６，１７間の位置にまで導かれ、この位置で圧着ヘッド３７により液晶セル１の下基板２における貼り付け領域を構成する配線群５の位置に圧着されるが、圧着終了後において、圧着ヘッド３７が上昇して、ＡＣＦ９が下基板２の貼り付け領域に貼り付けられ、その後に圧着ヘッド３７を含む貼り付け機が次の貼り付け領域にピッチ送りされて、再びＡＣＦ９の圧着が行われ、貼り付け機がピッチ送りされる毎に下基板２における各貼り付け領域に対して順次ＡＣＦ９が貼り付けられる。 （もっと読む）