【課題】真空中での基板の貼り合せを高精度に行うことができる基板貼合装置を提供することである。
【解決手段】貼り合せ前の２枚の基板を搬入する第１チャンバＣ１と、基板の貼り合せを行う第２チャンバＣ２と、貼り合せ後の基板の搬出を行う第３チャンバＣ３とからなり、第１チャンバン内と第３チャンバ内とは大気圧から中真空状態にまで可変制御し、第２チャンバＣ２は中真空から高真空まで可変制御するようにし、第２チャンバでは上下動可能に構成した静電吸着機構２５により上基板３０を受け取り、上テーブル９に保持できる構成した。 （もっと読む）

【課題】電気光学装置における透過率等の光学特性に寄与する部分の最適設計を短期間で特定する。
【解決手段】光学特性測定工程（ステップＳ３２０）において、検査対象部９０２ａ１及び９０２ａ２の夫々を駆動させ、当該検査対象部９０２ａ１及び９０２ａ２に画像を表示させることによって、検査対象部９０２ａ１及び９０２ａ２の夫々の輝度（即ち、光の透過率）、コントラスト、或いはフリッカの発生状態等の光学特性を測定する。情報抽出工程（ステップＳ３３０）において、検査対象部９０２ａ１及び９０２ａ２の構成の相違、言い換えれば、画素部７２の光学特性に寄与する透明電極９ａ１及び９ａ２の夫々の間隔に起因して測定された輝度、コントラスト或いはフリッカの発生状況に基づいて、高品位で画像を表示できる画素部７２の設計を特定する。 （もっと読む）

【課題】 表示面の品質に影響を与えることを防止しつつ、低コストで簡易に効率良く液晶表示パネルの表示面を適切に保護する。
【解決手段】 保護フィルム１０は、液晶表示パネル１に仮止めされるべきフィルム本体１２と、このフィルム本体１２を液晶表示パネル１に粘着させる粘着剤から成る粘着層１４とを備えている。この粘着層１４は、フィルム本体１２のうち液晶表示パネル１の表示面２を支持する枠体３に対応する部分のみに形成され、フィルム本体１２は粘着層１４により液晶表示パネル１の枠体３にのみ粘着されて、液晶表示パネル１の表示面２に接触することなく表示面２を保護する。 （もっと読む）

【課題】基板全体で薬液と洗浄液との置換を短時間で行い、処理のむらを防止する。
【解決手段】ローラ１０は、基板１を矢印Ａで示す基板移動方向へ移動する。薬液処理室２０において、薬液ノズル２１は、基板１の表面へ薬液を供給する。基板１の表面へ供給された薬液により、基板１の表面の薬液処理が行われる。洗浄室３０において、アクアナイフ３１は、基板移動方向と逆方向（矢印Ｂで示す方向）へ移動しながら、基板１の表面へ洗浄液を供給する。基板１の表面へ供給された洗浄液により、基板１の表面の薬液が洗い流されて洗浄液と置換される。基板１を移動しながら、基板１へ供給する洗浄液を基板移動方向と逆方向へ移動するので、洗浄液を基板１の表面全体へ供給するのに要する時間が短くなり、基板１全体で薬液と洗浄液との置換が短時間で行われる。 （もっと読む）

【課題】表面欠陥検査装置において、被検体の検査レシピを効率よく作成することができ、検査効率を向上することができるようにする。
【解決手段】パターンを撮像して表面欠陥を抽出する検査部と、制御パラメータに基づいて検査部の動作を制御する制御部１Ｂとを備える基板検査装置において、制御パラメータをパターンの形成条件を表す設計データから算出する制御パラメータ算出手段３２を備え、レシピファイル編成部３６によりそれら制御パラメータをレシピファイルに編成する。レシピファイルは、調光結果に基づき、レシピファイル修正部３５によって修正可能とされる。 （もっと読む）

【課題】レーザスクライブするとき、レーザ光による損傷が防止できる基板及びその分断方法、電気光学装置及びその製造方法、電子機器を提供すること。
【解決手段】基板３９に光透過性の導電膜からなる配線４１及び電極端子４２等を形成する。基板３８と基板３９とを接着剤３７にて接合する。基板３８において、配線４１及び電極端子４２と対向する場所に分断予定線５５ａ，５５ｂを設定する。レーザ光５６を集光レンズ８にて集光し、基板３８に設定されている分断予定線５５ａ，５５ｂに沿って、照射する。基板３８内にレーザ光５６が集光して照射される場所には改質部５７が形成される。集光レンズ８と基板３８とを相対的に移動して改質部５７を配列して形成する。改質部５７が配列されているスクライブ面５９ａ，５９ｂに沿って応力を加え、基板３８を分断する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レジストプリンティング方式による薄膜パターンの形成の信頼性を向上させることができる薄膜パターンの製造装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明によるブランケットが巻回されたロール状の印刷ローラ装置と、前記印刷ローラ装置の周辺に位置し、前記ブランケットにエッチングレジスト溶液を噴射する噴射装置と、所望の薄膜状の溝と、前記溝を除いた突出部が形成された凹版印刷版とを備え、前記エッチングレジスト溶液は、エチレンオキサイドフルオリネートポリマー系物質を含む界面活性剤と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 一方のマザー基板の表面が粗面化された液晶表示素子の製造方法において、各基板切断基準マークを正確に確認することができ、スティック基板から個々の液晶表示素子を正確に、かつ容易に切り出すことのできる液晶表示素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 前面側基板切断基準マーク６と背面側基板切断基準マーク７をそれぞれ前面側マザー基板１に形成し、スティック基板１４を構成する背面側マザー基板８の非液晶表示素子形成領域８ｂを両端部から所定の幅で切除して前記前面側マザー基板１の対向面１ａに形成された各基板切断基準マーク６，７を露出させ、これら各基板切断基準マーク６，７を指標としてスティック基板１４を構成する各マザー基板１，８を切断して個々の液晶表示素子１６を切り出す。 （もっと読む）

【課題】レーザアニールでラテラル結晶成長を引き起し、均一な結晶構造の半導体薄膜を形成する。
【解決手段】レーザアニールは、光反射・吸収層１０３のパターンより外側に位置する半導体薄膜１０５の外部領域１０８においてはその温度が半導体薄膜１０５の融点以下であり、光反射・吸収層１０３のパターンより内側に位置する半導体薄膜１０５の内部領域１０９においては該半導体薄膜１０５が融解するようにレーザ光でパルス加熱する加熱過程と、内部領域１０９が融解した後、外部領域１０８と内部領域１０９の境界から内側に向かって外部領域１０８の多結晶粒を核としてラテラル成長が進行し、内部領域１０９の少なくとも一部に一層拡大した多結晶粒Ｌが生成する冷却過程とを含む。 （もっと読む）

【課題】液晶表示部の製造工程において、ＬＣＤに被せる保護板を取り付けるための両面テープの剥離紙を剥ぎ取りやすくして、液晶表示部の保護板の取付作業の効率を向上させる。
【解決手段】台紙３１と、台紙３１の片面に形成された糊部２と、前記糊部に被せた剥離紙と、を備え、ＬＣＤの保護板が取り付けられる外部ケース１０１の開口部の大きさに合わせた孔３３が開いている。剥離紙３２と糊部２は、孔３３の縁を取り囲むリング状に形成され、剥離紙３２は、その一部が前記剥離紙の前記リング状の形状の外側から内側まで所定の幅で切り欠いて糊部２が露出した第１の切り欠き部３４を有する。また、剥離紙３２は、前記リング状の形状の外側または内側の一部を切り欠いた第２の切り欠き部３５を有し、これらの切り欠き部が合わさって凸字の形状を形成している。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を薄型化しても正確に板厚を計測できる板厚測定装置を提供する。
【解決手段】薄型化処理されたフラットパネルディスプレイ用の貼合せガラス基板ＧＬを受入れて、そのガラス基板について複数の検査ラインＬＮ１〜ＬＮ３で板厚を計測する板厚測定装置４０である。ガラス基板が搬送される搬送路に直交して、ガラス基板の表面側と裏面側に配置される三組の変位センサＳｉと、変位センサからの出力信号に基づいて各センサとガラス基板ＧＬの表面との離間距離Ｄ１，Ｄ２を算出する第一手段と、第一手段の算出値と予め特定されている一対のセンサの離間距離Ｄ０とに基づいて搬送中の前記ガラス基板の板厚Ｔを算出する第二手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】生産性良く面取りが可能となる基板ならびに基板の分断方法、電気光学装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】光透過性のある基板３４をスクライブして分断し、基板片４６を分離するとき、基板片４６の角は面取りされる形状にスクライブして分断する。基板片４６の角には、レーザ光を基板３４内に集光して照射し改質部を面取りされる形状に形成してスクライブする。改質部の中央にはクラック部３９が形成される。基板３４を弾性のある台４４の上に配置し、加圧部材４５で押圧してクラック部３９を分断する。基板片４６の角は面取りされる形状にスクライブされることから、分断される基板片４６の角は面取りされる形状になる。 （もっと読む）

【課題】作業者が液晶モジュールを容易に持ち上げることができ、液晶モジュールを前面キャビネットに装着する際に指を挟み込むことなく、安全かつ容易に組立作業を行なうことができる液晶表示装置及びそのための点灯回路ユニットを提供する。
【解決手段】第１点灯回路ユニット１６ａ及び第２点灯回路ユニット１６ｂは、箱形状のケーシングに収容されており、ケーシングに把持部として機能する凹部１６３ａ，１６３ｂが一体成形されている（孔部であってもよい）。これにより、作業者は、液晶モジュールを容易に持ち上げることができ、液晶モジュールを前面キャビネットに装着する際に指を挟み込むことなく、安全かつ容易に組立作業を行なうことができる。また、作業者が把持部以外の部分を持つことを防止することができるので、液晶パネルに応力を加えてしまうなどの虞はない。 （もっと読む）

【課題】製造ステップを減らし、コストを抑える液晶ディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルター基板を用意するステップと、前記カラーフィルター基板に第１導体層と、ドーパント半導体層とを形成するステップと、前記カラーフィルター基板に薄膜トランジスタを形成するステップと、前記薄膜トランジスタの電極と前記下電極と前記カラーフィルター基板に半導体層と、誘電層と、第２導体層とを形成するステップと、前記第２導体層と前記誘電層と前記半導体層とドーパント半導体層をパターン化するステップと、前記カラーフィルター基板に保護層を形成するステップと、前記薄膜トランジスタに保護層を形成するステップと、他の基板を用意するステップと、前記カラーフィルター基板と前記他の基板の間に液晶層を形成するステップと、を含むことを特徴とする液晶ディスプレイの製造方法。 （もっと読む）

【課題】マザー基板から液晶パネルを複数形成する製造方法において、液晶パネルとなる
各個体のセルギャップを均一に形成することができる液晶パネルの製造方法及び液晶パネ
ルの製造装置を提供する。
【解決手段】第１のマザー基板３１の外周囲に、全シール材１３を囲むようにして各シー
ル材１３の高さと同じ高さを有した隔壁Ｗを設けた。そして、第１のマザー基板３１と第
２のマザー基板３２とを貼り合わせた状態で、隔壁Ｗの内側を減圧するようにした。この
結果、各セル形成空間Ｓａ内の気圧を、各セル形成空間Ｓａの外周囲の空間Ｓｂ内の気圧
に比べて高くなることから、各液晶パネルに渡ってセルギャップ長を均一にすることがで
きる。 （もっと読む）

【課題】重量の増加を抑制しつつ大型化を実現することができる真空処理装置を提供する。
【解決手段】基板貼り合わせ装置１は、真空空間を形成するチャンバ２と、チャンバ２内に配置され基板を保持する下側ステージ５と上側ステージ６とを備えている。チャンバ２を構成する下側ハウジング３及び上側ハウジング４と、下側ステージ５及び上側ステージ６とを、ハニカムパネルで形成した。 （もっと読む）

【課題】波長の異なる二つ以上のレーザービームを基板に同時に照射して、基板の上部だけではなく下部までレーザーエネルギーを伝達することによって、後続工程なしに基板を切断しうる基板切断方法及びこれを用いた基板切断装置を提供する。
【解決手段】基板切断方法は、薄膜トランジスター母基板とカラーフィルター母基板とを合着した母基板アセンブリーを準備する段階と、少なくとも二個のレーザービームを母基板アセンブリーの垂直線上に離隔して位置する相異なる二つ以上の地点に同時にフォーカシングする段階と、相異なる二つ以上のフォーカシング地点を移動して母基板アセンブリーを切断する段階とを有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルからの薬液吐出により薬液処理を行った後に同ノズルからのリンス液吐出によりリンス処理を行う際に、薬液やリンス液の逆流が生じるのを未然に防止するとともに、処理に要する時間を短縮する。
【解決手段】洗浄動作が完了すると、時刻ｔ２に薬液用開閉バルブが閉じられて薬液の供給が停止されるとともに、経過時間のカウントが開始される。そして、待機時間Ｔ２が経過すると、時刻ｔ３にリンス液用開閉バルブが開かれて、ノズルへのリンス液の供給が開始され、これによってリンス処理工程が実行されるとともに、経過時間のカウントが開始される。そして、待機時間Ｔ３が経過すると、時刻ｔ４に薬液用サックバックバルブがオフにされ、これによって、薬液用サックバックバルブによる薬液の吸い込み、すなわちサックバック工程が開始される。 （もっと読む）

【課題】パネル構造体の内部に残存した洗浄液が端子側に回り込むことを防止し、点灯検
査時に配線間に電蝕が生じないようにする。
【解決手段】本発明の液晶装置の製造方法は、液晶パネル１列分のパネル構造体７を作製
する工程と、パネル構造体７を洗浄する工程と、パネル構造体７に設けられた端子１３を
用いて、パネル構造体７に含まれる複数の液晶パネルの点灯検査を行なう工程とを有する
。シール材を形成する工程では、前記複数の液晶パネルごとに液晶５を封入する複数の第
１シール材６ａと、端子１３が形成された領域及び配線１５，１６において第１シール材
６ａの外側から端子１３に延在する領域を隔離する第２シール材６ｂとを形成する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルの分断不良および静電気による不良をなくす。
【解決手段】液晶表示パネルの製造方法は、貼合せ工程と、偏光板貼付工程と、分割工程とを含む。分割工程は、カラーフィルタ基板となるガラス基板１０２が上側になる姿勢で、偏光板１１ｕを段差部の外形線に対応するように帯状に除去し、なおかつ、偏光板を除去した領域に沿ってガラス基板１０２の分断を行なうカラーフィルタ基板側分断工程と、この工程の後に、分断された結果生じた不要部分であるガラス基板切片１７を元の位置に収めたままでＴＦＴ基板となるガラス基板１０１が上側になる姿勢とする反転工程と、反転工程によって得た姿勢において、ガラス基板１０１に貼り付けてある上記偏光板１１を段差部全域にわたって剥離し、段差部と隣接する液晶表示パネルとの境目においてガラス基板１０１の分断を行なうＴＦＴ基板側分断工程とを含む。 （もっと読む）