【課題】 ペリクルの載置面の裏側に構造体を固定具により固定してペリクル収納容器の剛性を補強すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与してマスク用粘着材の変形を防止し、構造体のリサイクルも可能としたペリクル収納容器を提供せんとするものであり、加えて、該固定具の装着のための貫通孔があっても発塵の可能性を最大限に抑制せしめることを目的とする。
【解決手段】 ペリクル２を収納するための、少なくとも蓋４と、該ペリクル２を載置するペリクル載置台３とから構成されるペリクル収納容器１において、ペリクル載置台３のペリクル載置面３ａとは反対側の面に構造体７を配置し、かつ、該構造体７がペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂにワッシャー９を介して挿入された固定具８により該ペリクル載置台３に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】厚いペリクルの効果が補償され又は改善されることができる、リソグラフ投影装置及びデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】厚いペリクルが非平坦な形状を有することを許され、その形状は、ペリクルの光学効果を補償するように、露光において適用される訂正を計算するために特徴付けられる。ペリクルは、より容易に補償するために、重力の影響下で一次元形状を採用するように搭載されることができる。 （もっと読む）

【課題】ペリクル接着部に対する露光光の影響を抑制できるフォトマスクを提供する。
【解決手段】本発明に係るフォトマスクは、ペリクル４を装着してなるフォトマスクであって、平板状のガラスからなる基材と、前記基材の一面において、製品パターン部１２ａを除いた領域と前記ペリクルの接着部４ａとの間に、遮光膜１３と酸化膜１４が順に積層されてなることを特徴とする。また遮光膜１３が製品パターン部１２ａを除いた領域に対して、ハーフトーン位相シフト層１２を介して、または直接、配されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 他の補強体を用いずとも、保管、輸送中の外力に耐え、内部に収納したペリクルへの異物付着を防止する十分な剛性を有する、軽量かつ低コストのペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 樹脂のシート材を成形してペリクル収納容器本体とし、容器本体外形の対角線を横切り、なおかつ他のリブと交差しない複数のリブを容器本体に設ける。捩れ変形に対してリブが高い抵抗力を発揮し、また、リブ自身が変形の起点となることが無い。その結果、補強体を用いずとも容器本体の剛性、特には捩れ方向の剛性を著しく高めることができ、軽量かつ高剛性のペリクル収納容器を低コストで得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ペリクル収納後の収納容器全体の重量増加を極力抑制しながら、輸送時のゆれによる振動に対しても、振動を抑制し得るペリクルの収納方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明に係るペリクルの収納方法は、ペリクル枠体２にペリクル膜３が展張されてなるペリクル１を、少なくともトレイ５と蓋４とからなるペリクル収納容器６に収納する方法であって、前記ペリクル１が、前記トレイ５に少なくとも２箇所以上で固定された固定式ペリクル保持部品Ｂに着脱可能な可動式ペリクル保持部品Ａを介して保持・固定されて収納されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、保管、輸送中の外力に耐える十分な剛性を有し、なおかつ蓋体を開ける際の急激な外気の巻き込みを抑制して、ペリクルへの異物付着を防止するペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 樹脂のシート材を成形してペリクル収納容器の蓋体１とし、この蓋体１の上面に蓋体の短辺と成す角度が１０°以内で、なおかつ他のリブと交差しないリブ３を設ける。各リブが他のリブにより切断されることが無いため、リブ３の上下方向（縦方向）の剛性は大きく向上し、外力による蓋体の変形ならびにペリクルの損傷が防止される。
また、リブをほぼ一方向のものだけで構成することになるため、リブと直交する方向の曲げ剛性は低くなり、これにより、蓋体は開蓋時においてごく初期の段階からしなやかに撓みを生ずる。そのため、開蓋時の初期の段階から蓋体と容器本体の内部へ空気はスムーズに流入し、急激な外気の流入が発生しないため内部のペリクルに異物が付着するおそれが大幅に低減される。 （もっと読む）

【課題】補強材による重量増加を抑制して、搬送等におけるハンドリング性を向上させ、且つ、ケースの変形等による問題も同時に解決せしめる大型ペリクルの収納容器用の補強材を提供する。
【解決手段】ペリクルを載置収納するペリクル収納容器用の補強材７であって、前記補強材が、少なくとも２組の辺部となる辺部材１０が組み合わさってなることを特徴とするペリクル収納容器の補強材。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクに装着したペリクルの剥離が不要で、また溶液洗浄のような大掛かりの装置が不要で、洗浄・検査の工程数が少なく、製造コストが増大しないフォトマスクの洗浄方法を提供する。
【解決手段】ペリクルを装着したフォトマスクの洗浄方法であって、ペリクルフレームにはガス導入孔とガス排出孔が設けられており、フォトマスクとペリクルとで囲まれたペリクル内部空間にガス導入孔よりガス状の置換性物質を導入し、フォトマスク上の異物を置換性物質により置換し、ガス排出孔より前記異物を排出する工程と、次に、前記ガス導入孔より空気または窒素ガスまたは希ガスを導入しながら前記フォトマスクを紫外線照射し、前記置換した置換性物質を分解してガス状とし前記ガス排出孔より排出する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
開口数が１以上の半導体リソグラフィ用露光装置で用いられる、多孔質金属フッ化物の反射防止膜を有するペリクルの、多孔質金属フッ化物の反射防止膜に吸着して透過率を低下させる有機汚染物質を分解・除去してペリクルの透過率を回復させることで、高性能の半導体素子を歩留まり良く製造することを課題とする。
【解決手段】
ペリクル膜物質の光学吸収端の波長よりも長く、２５４ｎｍ以下の波長領域の紫外線を照射させたペリクルを用いる。 （もっと読む）

【課題】トレイと蓋との挟持する長手方向において、挟持力の差を小さくすることができるペリクル収納容器およびそのペリクル収納容器に用いられる挟持部材を提供する。
【解決手段】ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、トレイ３と、その蓋となるカバー２と、トレイ３とカバー２を挟持する挟持部材４とを備え、挟持部材４が、装着状態においてカバー２に接してカバー２をトレイ３側に押しつける第一押圧部４１と、装着状態においてトレイ３に接してトレイ３をカバー２側に押しつける第二押圧部４２と、第一押圧部４１と第二押圧部４２とを連接する連接部４３とを有し、連接部４３におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ペリクルの載置面の裏側に構造体を固定具により固定してペリクル収納容器の剛性を補強すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与してマスク用粘着材の変形を防止し、構造体のリサイクルも可能としたペリクル収納容器を提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 ペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａとは反対側の面に構造体７を配置し、且つ該構造体７がペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂに挿通されたネジ８により該ペリクル載置台３に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】保管、輸送、操作中において収納するペリクルの汚損を防止して品質を維持することのできるフォトリソグラフィー用ペリクル収納容器を提供すること。
【解決手段】ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆・保持すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体とからなるペリクル収納容器であって、蓋体が自重によりたわんでペリクル膜に付着することがないよう予め凸形状に設計、製作したことを特徴とするペリクル収納容器。 （もっと読む）

半導体基板（１８９）において層をパターニングする方法（３０）は、半導体基板の層を形成する段階と、光（１８１）にその層を露光する段階とを有する。光は、第１ペリクルを透過する第１光の第１透過を決定する（３２）手順であって、第１透過は第１ペリクルに対して垂直である、手順と、第１ペリクルを透過する第２光の第２透過を決定する（３４）手順であって、第２光は第１ペリクルに対して非垂直である、手順と、第１及び第２透過を用いて第２ペリクルを形成するように第１ペリクルを修正する（３６）手順とを有する方法により形成される第２ペリクル（１８５）を透過する。

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【課題】レティクルが外部の影響を受けないように、集積回路パターンを有するレティクルが洗浄ガスを充満させた環境のもと、レティクルとペリクルとの貼り合せステップを行う半導体デバイス洗浄システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の半導体デバイス洗浄システムは、洗浄ガス供給装置２０及び気密室３０を含み、洗浄ガス供給装置２０と気密室３０とはパイプで連結されている。気密室３０は制御エリア３１及び作業エリア３２を有し、制御エリア３１は制御バルブ３１１、ケミカルフィルタ３１２及びファンフィルタユニット３１３を含み、作業エリア３２は作業台５０のほかに除電器３２１、差圧計３２２、湿度計３２３、酸欠計３２４及びアラームディスプレイ３２５を更に含む。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクからペリクルを剥離した際に、ペリクルのマスク接着剤の一部が剥離し、フォトマスクの表面に転写して残留する糊残りが少ないペリクルを提供する。
【解決手段】厚さ１２５μｍの表面処理されていないポリエチレンテレフタレートフィルムをペリクルのマスク接着層９に接着させた後、温度２３℃で、前記ポリエチレンテレフタレートフィルムを接着面に対して１８０°方向に剥離する際の剥離強度が０．００４Ｎ／ｍｍ以上０．１０Ｎ／ｍｍ以下であることを特徴とするペリクル１。好ましくは、フォトマスクに接着するマスク接着剤７としてアクリル系エマルジョン接着剤を用いる。 （もっと読む）

【課題】摩耗粉を低減できるペリクル用収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクル膜６と当該ペリクル膜６を支持する支持枠７とからなるペリクル５を輸送するためのペリクル用収納容器１であって、トレイ３とその蓋となるカバー２と、トレイ３とカバー２の外側または内側において、トレイ３とカバー２との隙間を塞ぐ閉塞部材４とを備え、閉塞部材４における少なくとも上記トレイまたは上記カバーに接する接触部がウレタンエラストマーからなるペリクル用収納容器１としている。 （もっと読む）

【課題】 ペリクル膜に異物が付着することを効果的に防止するとともに、ペリクル膜が傷つくことを効果的に防止することができるペリクルのペリクル容器への収納方法を提供する。
【解決手段】 ペリクル膜５ａと、一方の端面に、ペリクル膜が接着されたフレーム５ｂと、フレームの他方の端面に、粘着層が形成されたペリクル５をペリクル容器３に収納する方法であって、ペリクル膜の膜面が実質的に鉛直方向を向くように、ペリクルをペリクル容器内に収納することを特徴とするペリクルのペリクル容器への収納方法。 （もっと読む）

【課題】 ペリクル収容容器の破損及び変形を抑制し、異物の混入を低減可能なペリクル収容容器を提供する。
【解決手段】 トレイ３と、当該トレイ３と嵌合する蓋体４とを有し、トレイ３と蓋体４との嵌合により形成される空間内にペリクル１を収容するペリクル収容容器５において、トレイ３及び／又は蓋体４に、ペリクル収容容器５を把持可能な把持部６を備え、把持部６は、その内方に把持部６より剛性の高いインサート部材９等の補強手段を含むようにする。 （もっと読む）

【課題】 輸送中、ペリクルをしっかり保持できるペリクル用収納容器を提供する。
【解決手段】 ペリクル膜６と当該ペリクル膜６を支持する支持枠７とからなるペリクル５を輸送するためのペリクル用収納容器１であって、トレイ３と、その蓋となるカバー２と、トレイ３およびカバー２のいずれか一方の内側に形成される、支持枠７を載置する載置部４とを備え、載置部４は、載置部４を備えるトレイ３若しくはカバー２の開口方向に突出し、その突出する部位において支持枠７の高さ方向に段差を有すると共に、その段差の低い側に支持枠７の底面を載置する水平面４ｄを備えるペリクル用収納容器１とする。 （もっと読む）

【課題】 収納するペリクルの支持枠の粘着材に変形をもたらさないで輸送する。
【解決手段】 ペリクル膜６と当該ペリクル膜６を支持する支持枠７とからなるペリクル５を輸送するためのペリクル用収納容器１であって、トレイ３とその蓋となるカバー２と、トレイ３およびカバー２のいずれか一方の内側に、支持枠７を載置する載置部４であって支持枠７を載置する部位が支持枠７の底面に対して傾斜している１つまたは２以上の載置部４とを備えるペリクル用収納容器１としている。 （もっと読む）