【課題】コーティング時の膜厚の面内均一性が良好で保存安定性が良好な感光性樹脂組成物、並びに硬化レリーフパターンの製造方法及び半導体装置の提供。
【解決手段】ポリイミド構造、ポリベンゾオキサゾール構造、ポリイミド前駆体構造、及びポリベンゾオキサゾール前駆体構造からなる群から選ばれる１種以上の構造を有する樹脂を含むアルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００質量部、テトラヒドロフルフリルアルコール及びフルフラール、フランカルボン酸アルキルエステルで代表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物を含む溶剤（Ｂ）１０〜１０００質量部、並びに感光剤（Ｃ）０．１〜１００質量部、を含有する感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】プリベーク後のウエハのピン上停滞による塗膜の過剰乾燥及びそれによりもたらされる現像後の開口寸法の縮小を抑制できる樹脂膜パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】（ａ）ウエハ上に感光性樹脂組成物を塗布して塗膜を形成する塗布工程、（ｂ）前記塗膜をホットプレート上で乾燥するプリベーク工程、（ｃ）前記乾燥した塗膜を露光する露光工程、及び、（ｄ）前記露光した塗膜を現像する現像工程をこの順で含み、前記（ｂ）プリベーク工程が、（ｂ１）前記塗膜を有するウエハを、ホットプレート上で保持する工程、及び、（ｂ２）前記塗膜を有するウエハを、ホットプレートから浮いた状態で保持する工程をこの順で含む樹脂膜パターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】比較的低ｐＨのアルカリ現像液を使用して、大量処理した場合であっても現像カスの発生が抑制され、且つ、経時した平版印刷版原版を用いても安定に現像できる平版印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、（Ａ）赤外線吸収剤、（Ｂ−１）アルカリ可溶性アクリル樹脂、及び（Ｂ−２）フェノール樹脂を含有する下層と、（Ｃ）水不溶性且つアルカリ可溶性のポリウレタン樹脂を含有する上層と、を順次有する画像記録層を備えるポジ型平版印刷版原版を画像露光する露光工程、及び、画像露光したポジ型平版印刷版原版を、アニオン性界面活性剤を含有するｐＨ８．５〜１０．８のアルカリ水溶液を用いて現像する現像工程を、この順で含む平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】ダブルパターニング法により良好なパターンを形成することができるレジストパターンの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第１のレジストパターン上に第２のレジストパターンを形成するダブルパターニング法によるレジストパターンの製造方法であって、第２のレジスト組成物が、酸に不安定な基を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸と作用してアルカリ水溶液に溶解し得る樹脂と、式（Ｉ）で表される光酸発生剤及び式（ＩＩ）で表される光酸発生剤からなる群から選ばれる少なくとも１種の光酸発生剤とを含有するレジスト組成物であることを特徴とするレジストパターンの製造方法。
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【課題】印刷版表面での光硬化不足を解消し、耐刷性と印刷品位に優れる感光性凸版印刷用原版を提供する。
【解決手段】（Ａ）支持体、（Ｂ）感光性樹脂層、（Ｃ）感熱マスク層、が少なくとも順次積層されてなる感光性凸版印刷用原版に対して、前記（Ｂ）感光性樹脂層の現像後に２５０ｎｍにおける照度と３５０ｎｍにおける照度の光量比（ＵＶ−Ｃ／ＵＶ−Ａ）が０．１以上１.０以下である紫外線を照射し、版の表面硬度がショアＤ４５度以上８５度以下である印刷版を得る、印刷版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】耐汚れ性が良好で、長期保存しても耐汚れ性が低下せず、耐刷性、ＵＶインキ耐刷性、耐薬品性に優れた、中性域に近い現像液での現像処理や、機上現像が可能な平版印刷版原版及びそれを用いた平版印刷版の作製方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、ＣｌｏｇＰ値が−０．１４以下で、かつ炭素−炭素不飽和二重結合を共有結合を介して側鎖に有するモノマーに由来する繰り返し単位を有する共重合体を含有する中間層と、（Ａ）重合開始剤、（Ｂ）重合性化合物及び（Ｃ）バインダーポリマーを含有する画像形成層とをこの順に有する平版印刷版原版及びそれを用いた平版印刷版の作製方法。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、機械特性、化学薬品耐性、基板密着性に優れた硬化物となり、低温プロセスで硬化可能な、感度及び解像度に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）アルカリ水溶液に可溶なポリベンゾオキサゾール又はアルカリ水溶液に可溶なポリベンゾオキサゾール前駆体、（ｂ）光の照射により酸を発生する化合物、（ｃ）エポキシ基を有する化合物を含有してなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供すること。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のアクリル酸系構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、分子内に２個以上のエポキシ基を有する化合物、及び、波長３００ｎｍ以上の活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、機械特性、化学薬品耐性、基板密着性に優れた硬化物となり、低温プロセスで硬化可能な、感度及び解像度に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）アルカリ水溶液に可溶なポリイミド、ポリベンゾオキサゾール及びこれらの前駆体、（ｂ）光の照射により酸を発生する化合物、（ｃ）分子内に１つだけエポキシ基を有する化合物、（ｄ）分子内にエポキシ基を有さない架橋剤を含有してなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】現像後解像性及び金属めっき耐性が良好で現像液分散安定性に優れ凝集物が発生しない光重合性樹脂組成物及びその用途の提供。
【解決手段】（Ａ）カルボキシル基含有量が酸当量で１００〜６００であり、一般式（Ｉ）：


（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基であり、Ｒ²は水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数１〜１２のアルコキシ基、カルボキシル基又は炭素数１〜１２のハロアルキル基である）で表されるモノマーを含む重合成分の重合により得られ、重量平均分子量が５０００〜５０００００であるバインダー用樹脂：１０〜９０質量％、（Ｂ）光重合性不飽和化合物：５〜７０質量％、及び（Ｃ）光重合開始剤：０．０１〜２０質量％を含有し、（Ｂ）光重合性不飽和化合物中のエチレンオキサイド基濃度が０．１７ｍｏｌ／１００ｇ以下である光重合性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】接着性および耐熱性に優れる高感度の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】ポリアミド誘導体１００重量部に対し、多面体オリゴマシルセスキオキサン誘導体０．１〜２０重量部、および光によって酸を発生する化合物５〜３０重量部を含む感光性樹脂組成物が開示される。 （もっと読む）

【解決手段】支持フィルム及び保護フィルムで挟まれた構造を有する光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層の形成に用いられる光硬化性樹脂組成物が、（Ａ）〜（Ｄ）成分を含有する光硬化性ドライフィルム。（Ａ）特定のビスフェノール構造および／またはエピクロルヒドリンと特定のビスフェノールを反応した構造を繰り返し単位として有するシリコーン骨格含有高分子化合物、（Ｂ）ホルマリン又はホルマリン−アルコールにより変性されたアミノ縮合物、１分子中に平均して２個以上のメチロール基又はアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物から選ばれる架橋剤、（Ｃ）波長１９０〜５００ｎｍの光によって分解し、酸を発生する光酸発生剤、（Ｄ）溶剤
【効果】凹凸のある基板上で、幅広い膜厚の上記光硬化性樹脂層に対して、幅広い波長領域において微細なパターンの形成が可能となる。 （もっと読む）

【課題】エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として優れた解像度及び密着性を有する感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】（Ａ）バインダーポリマー：２０〜９０重量％、（Ｂ）光重合性化合物：５〜７５重量％、及び（Ｃ）光重合開始剤：０．０１〜３０重量％を含有する感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）バインダーポリマーは、カルボン酸又はカルボン酸無水物である第一単量体と重合性不飽和基を１個有し、かつ非酸性である第二単量体とを共重合することにより得られた重量平均分子量５，０００〜１００，０００の共重合体であり、前記（Ｂ）光重合性化合物は、付加重合性モノマーであり、かつ、前記感光性樹脂組成物に露光を行い、次いで現像を行った後に得られた感光性樹脂層の水接触角が６０°以上、かつ、ヤングモジュラスが１．５ＧＰａ以上４ＧＰａ未満である感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】遮光部と着色部との密着性に優れ、コントラストに優れた画像表示を行うことができるカラーフィルターを提供すること。
【解決手段】本発明のカラーフィルターの製造方法は、基板上に感光性材料および熱硬化性樹脂を含む遮光部形成用組成物を付与する工程と、感光性材料を露光することにより、前記遮光部形成用組成物を、現像液に対する溶解性の高い易溶性部と溶解性の低い難溶性部とを有するものとする工程と、現像により、難溶性部で仕切られた空間としてのセルを複数個形成する工程と、セル内に染料および熱硬化性樹脂を含む着色部形成用材料を付与する工程と、加熱により、遮光部形成用組成物中に含まれる熱硬化性樹脂を硬化させ遮光部とするとともに、着色部形成用材料中に含まれる熱硬化性樹脂を硬化させ着色部とする工程とを有し、遮光部形成用組成物と着色部形成用材料とは、同種の熱硬化性樹脂成分を含むものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 塗布装置や器具に付着し乾燥した付着物を容易に除去することができ、異物欠陥を生じにくい感光性着色組成物の製造方法およびそれを用いたカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】 平均粒径１μｍ以下の顔料と、感光性樹脂成分と、分散剤と、溶剤とを少なくとも含有するカラーフィルタ用の感光性着色組成物であって、前記感光性着色組成物を塗布し乾燥した後、再溶解溶剤に浸漬させたとき、再溶解した前記感光性着色組成物の顔料の平均粒径が、前記感光性着色組成物の顔料の平均粒径の１０倍以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高い寸法安定性と十分な機械強度を有し、かつ微細なパターニングが可能な優れた感光性を付与することが可能な多孔質ポリイミド樹脂膜を得ることができる樹脂組成物、及びこれらの樹脂組成物を用いて得られる多孔質ポリイミド、当該多孔質ポリイミドからなる保護膜を有するプリント配線板を提供する。
【解決手段】 ポリイミド前駆体溶液及び下記（ａ）〜（ｅ）の要件を充足する空孔形成剤を含有する樹脂組成物を用いることで、所望の多孔質ポリイミドを得ることができる。
（ａ）重量平均分子量１０００〜２００万
（ｂ）前記ポリイミド前駆体溶液に難溶乃至は不溶
（ｃ）窒素雰囲気下で加熱したときの質量減少率が５０％となるときの温度（以下、「熱分解温度」という）が３５０℃以下
（ｄ）アスペクト比１．０〜２．０、
（ｅ）平均粒径１００ｎｍ〜１０μｍ （もっと読む）

【課題】 酸化亜鉛系結晶からなる薄膜の微細加工において、現像及びホトレジスト剥離のいずれの処理においても酸化亜鉛系結晶からなる薄膜の溶解を抑制し、導電特性及び可視光透過性の大幅な劣化を生ずることなくパターニング可能な方法の提供すること。
【解決手段】 基板上に酸化亜鉛系結晶からなる薄膜を成膜し、該薄膜表面にホトレジストを形成した後にパターンマスクを介して露光し、前記ホトレジストの露光部を現像液により現像処理を施して前記露光部のホトレジストを除去し、残存した前記ホトレジストを介して前記薄膜にエッチングを施した後に剥離液により前記ホトレジストを剥離処理するパターニング方法であって、前記現像液及び前記剥離液のｐＨが１０．５〜１３．５であり、且つ液温が１５〜５０℃の温度範囲であることを特徴とする酸化亜鉛系結晶からなる薄膜のパターニング方法とする。 （もっと読む）

【課題】硬化物の基板密着性を向上させることができ、耐薬品性、ワニスの保存安定性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）アルカリ性水溶液に可溶なポリマーと、（ｂ）光の照射を受けて酸を発生する化合物と、（ｃ）ヒドロキシ基を有するシランカップリング化合物と、（ｄ）ウレア結合を有するシランカップリング化合物と、を含有してなり、（ｃ）成分が（ａ）成分１００重量部に対して０．１重量部超２０重量部以下であり、（ｄ）成分が（ａ）成分１００重量部に対して０．１重量部以上２０重量部未満であり、（ｃ）成分の重量部が（ｄ）成分の重量部より多いことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】硬化後の基板との密着性に優れ、ワニスの保存安定性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を得る。
【解決手段】（ａ）アルカリ性水溶液に可溶なポリマーと、（ｂ）光の照射を受けて酸を発生する化合物と、（ｃ）酢酸と、（ｄ）ウレア結合を有するシランカップリング化合物と、を含有してなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】塗布方法としてスリット塗布法を採用した場合であっても、塗膜に微小な凹凸からなるムラを発生させることなく液晶表示素子のスペーサーを形成しうる感放射線性樹脂組成物、液晶表示素子のスペーサーとして要求される諸性能（例えば高回復率と柔軟性とが両立された圧縮性能ならびにラビング耐性）を維持しつつ、特に高度の膜厚均一性を有する液晶表示素子のスペーサーを提供すること。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）重合性不飽和化合物、（Ｃ）感放射線性重合開始剤および（Ｄ）シリコーン鎖を有する特定の重合体を含有する。液晶表示素子のスペーサーは、上記の感放射線性樹脂組成物から形成される。 （もっと読む）