【課題】コントラストの改善を図ることが可能であり、製造が容易なアパーチャープレートを提供すること。
【解決手段】本発明の表示装置においては、（Ａ）透光性の基板１３０上に金属層１３２を形成し、（Ｂ）金属層１３２上に開口パターンが形成されたレジストマスク１３６を設け、この状態で金属層１３２の露出部分をエッチングして開口部１２６を形成し、（Ｃ）その後レジストマスク１３６を除去し、（Ｄ）金属層１３２の表面及び開口部１２６の側壁面を酸化して金属の酸化物層１３４を形成することにより、アパーチャープレートの表裏の反射率を異ならせる。酸化物層１３４は、レジストマスク１３６をアッシングするときに、レジスト除去と同時に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】画素内の配線を減らし、量産上の歩留りを上げると共に、低コスト化を図ることのできる画像表示装置を提供する。
【解決手段】画像表示装置は、マトリクス状に配列された画素において、画素毎に設けられ、透明基板（３６）上で透明基板に平行に移動し、光の透過及び遮断を行う機械的シャッタ部（２６）と、透明基板上で機械的シャッタ部を挟むように配置される一対の制御電極（２５，２７）と、この一対の制御電極に、予め定められたタイミングで、制御電極のための高電圧及び低電圧をそれぞれに交互に印加する制御電極駆動回路と、画素毎に設けられ、画素毎の階調値に応じたタイミングで、信号線を介して設定される高電圧及び低電圧のいずれかを印加することにより、機械的シャッタ部の動作を静電的に制御するシャッタ制御回路を備える。 （もっと読む）

【課題】視野角特性の問題を解消することを目的とする。
【解決手段】表示装置は、複数の固定開口３６が形成された遮光膜３４と、光Ｌの透過及び遮断を制御するための複数のシャッタ１４と、複数のシャッタ１４を、固定開口３６の上方の位置と固定開口３６から退避した位置との間を移動するように駆動する駆動部４０と、を有し、複数の固定開口３６は、それぞれ長手方向及び短手方向を有する長尺状であり、長手方向を第１方向Ｙに向けた第１グループの固定開口３６ａと、長手方向を第１方向Ｙに直交する第２方向Ｘに向けた第２グループの固定開口３６ｂと、を含み、複数のシャッタ１４は、第１グループの固定開口３６ａに対応して第２方向Ｘに直線駆動される第１グループのシャッタ１４ａと、第２グループの固定開口３６ｂに対応して第１方向Ｙに直線駆動される第２グループのシャッタ１４ｂと、を含む。 （もっと読む）

【課題】対向する光学膜の面内で均一なギャップを確保する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１と対向する可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１光学膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１光学膜５４とギャップを介して対向する第２光学膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、可動基板５２に設けられ、第１電極５６１と対向する第２電極５６２と、を含み、第１光学膜５４に重ねて、電荷を帯びた第１帯電体膜６１が形成され、第２光学膜５５に重ねて、電荷を帯びた第２帯電体膜６２が形成され、第１帯電体膜６１および第２帯電体膜６２は同極性で帯電し、かつ対向している。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】光変調アレイ１００は、行および列内に配置された複数のシャッタ組立体１０２ａ〜１０２ｄを含み、シャッタ組立体は開および閉の２つの状態を選択的に設定可能である。光変調アレイは複数の光透過領域を画定する第１の反射面と、複数の光透過領域の方へ光を反射するための、第１の反射面に少なくとも部分的に面した第２の反射面とを有する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】 液体の供給機構を必要せず、光の位相変調がより速く行われる位相変調素子を提供することを目的とする。
【解決手段】 位相変調素子（１００）は、二次元に配置され二次元方向の垂直方向で所定の厚さ（Ｗ１）を有する複数のセル（１０）と、光を透過するとともに垂直方向にセル内を第１キャビティ（１１ａ）及び第２キャビティ（１１ｂ）に分け垂直方向に移動可能である可動窓（１３）と、第１キャビティに収納され第１屈折率（ｎ１）を有し光を透過する第１透明媒質（１２ａ）と、第２キャビティに収納され第１屈折率と異なる第２屈折率（ｎ２）を有し光を透過する第２透明媒質（１２ｂ）と、可動窓を移動させて第１キャビティに収納される第１透明媒質及び第２キャビティに収納される第２透明媒質の垂直方向の厚さ（Ｗ２、Ｗ３）を変更させる駆動部（１５）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械（ＭＥＭＳ）装置（１３００）が、基板（２０）、該基板（２０）上の可動素子（１３４０）、及び該可動素子（１３４０）上の作動電極（１４２）を備える。
【解決手段】可動素子（１３４０）が、可変層（１３０２）及び反射素子（１３１４）を備える。可変層（１３０２）が、反射素子（１３１４）から分離される。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 （もっと読む）

【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 （もっと読む）

【課題】対向する光学膜の貼り付きを防止する。
【解決手段】第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第１光学膜４０の最表面の誘電体膜４３は第１光学膜４０の周端部４３ａにおいて、第１光学膜４０に光が入射する光入射部４３ｂよりも厚みが厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 （もっと読む）

【課題】電極とミラーとを近接させても、ミラーと電極との衝突を回避しつつミラーの揺動スペースを確保する。
【解決手段】ミラーデバイス１は、揺動可能なミラー２１と、ミラー２１と対向する駆動電極３１，３１，…とを備えている。ミラーデバイス１は、ミラー２１が設けられたミラー基板２と、駆動電極３１，３１，…が設けられた電極基板３と、ミラー基板２と電極基板３との間に介設され、ミラー２１と当接することによってミラー２１の揺動を所定の揺動範囲に制限するストッパ４とをさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】省電力化が可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４及び固定電極５６１が設けられた固定基板５１と、固定基板５１に対向し、可動反射膜５５及び可動電極５６２が設けられた可動基板５２と、を具備し、固定電極５６１及び可動電極５６２は、それぞれ透光性を有し、フィルター平面視において、固定反射膜５４及び可動反射膜５５が設けられた光干渉領域Ａｒ２を含む駆動領域Ａｒ１を覆って設けられ、固定反射膜５４は、固定電極５６１を介して固定基板５１に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で分解能の低下を抑制可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、平坦な固定対向面５１Ａを有する固定基板５１と、固定対向面５１Ａに対向する平坦な可動対向面５２Ａを有する可動基板５２と、固定対向面５１Ａに設けられた固定電極５６１と、可動対向面５２Ａに設けられ、電極間ギャップＧ２介して固定電極５６１に対向する可動電極５６２と、可動対向面５２Ａに設けられ、固定対向面５１Ａ及び可動対向面５２Ａと平行で、かつ固定対向面５１Ａに対向する平坦な反射膜固定面５７Ａを有し、固定電極５６１より厚み寸法が大きい中間層５７と、反射膜固定面５７Ａに設けられた可動反射膜５５と、固定対向面５１Ａに設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して可動反射膜５５に対向する固定反射膜５４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を検出でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５６を有する固定基板５１と、可動反射膜５７を有する可動基板５２と、固定電極５４１および可動駆動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４と、固定検出電極５５１および可動検出電極５５２を備えたギャップ検出電極と、を具備し、固定検出電極５５１は、互いに絶縁された第一固定部分検出電極５５３Ａおよび第二固定部分検出電極５５３Ｂを備え、可動検出電極５５２は、第一固定部分検出電極５５３Ａに対向する第一対向検出領域５５４Ａと、第二固定部分検出電極５５３Ｂに対向する第二対向検出領域５５４Ｂと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制可能な干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４が設けられた反射膜固定面５１２Ａ、及び固定側初期ギャップ形成面５１３Ａに平行で、固定側ギャップ形成電極部５６１Ｂが設けられた固定側初期ギャップ形成面５１３Ａを有する固定基板５１と、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４に対向する可動反射膜５５が設けられた可動面５２０Ａ、及び可動面５２０Ａと同一平面で、可動側ギャップ形成電極部５６２Ｂ及び絶縁層５７が順に積層された可動側初期ギャップ形成面５２０Ｂを有する可動基板５２と、を具備し、絶縁層５７は、微小ギャップＧ３を介して固定側駆動電極部５６１Ａに対向し、当該微小ギャップＧ３は、反射膜間ギャップＧ１より小さく形成されている。 （もっと読む）

【課題】所望の波長の光を精度よく取り出せる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４と対向する可動反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定電極５６１と、を備え、固定基板５１は、固定反射膜５４が設けられる反射膜固定面５１２Ａと、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２からの距離が反射膜固定面５１２Ａとは異なる固定電極面５１１Ａと、を有し、反射膜固定面５１２Ａよりも可動基板５２からの距離が大きい固定電極面５１１Ａに、固定反射膜５４及び固定電極５６１が積層された積層部５７が設けられた。 （もっと読む）