【課題】エネルギー消費の小さいマイクロミラー用の制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】第１の傾斜軸を中心にするマイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する第１の周波数（ｆ_ｈ）の第１の制御信号（Ｓ４）を形成するステップと、前記第１の傾斜軸に対して垂直の第２の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する、前記第１の周波数（ｆ_ｈ）よりも低い第２の周波数（ｆ_ｖ）の第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を形成するステップと、前記第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を、当該第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を前記第１の周波数によりバイナリ変調することにより変調するステップと、前記マイクロミラー（２０）の力入力素子（２１、２２、２３、２４）を、前記変調された第２の制御信号（Ｓ５）と前記第１の制御信号（Ｓ４）とで制御するステップと、を有するマイクロミラー（２０）の制御方法。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴの信頼性向上を図りつつ、良好なコントラスト特性を得ることのできる表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の表示装置は、透光性基板と、前記透光性基板の一部に形成された不純物ドープ層と、前記不純物ドープ層及び前記透光性基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された複数のＴＦＴを含むＴＦＴ回路と、前記ＴＦＴ回路により駆動される複数のシャッターを有するシャッターアレイと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エレクトロウェッティングを用いて、高い解像度が得られるとともに、各画素を通過する光の位相を制御可能な空間光変調器を提供する。
【解決手段】入射光を変調する空間光変調器２８は、液体を収容可能な枠状の隔壁部３３ａ及び可変電圧が印加される画素電極３８を有する複数のセル部３４と、複数のセル部３４に収容可能に保持された互いに屈折率及び誘電率が異なる第１及び第２の液体Ｌｑａ，Ｌｑｂと、複数のセル部３４で増減する液体Ｌｑａ，Ｌｑｂを貯蔵可能な貯蔵部３１と、を備え、セル部３４の画素電極３８に印加される電圧によって、隔壁部３３ａ内における液体Ｌｑａ，Ｌｑｂの厚さの比を制御する。 （もっと読む）

【課題】充填された液体１６に生じた気泡４８を確認しやすくすることを目的とする。
【解決手段】表示装置は、間隔を有して対向配置された一対の光透過性基板１０，１２と、一対の光透過性基板１０，１２を貼り合わせて、一対の光透過性基板１０，１２の間に封止空間を区画するシール材１４と、画像を光学的に表示するために封止空間に配置された複数のシャッタ２２と、封止空間に充填された光学等方性を有する液体１６と、一対の光透過性基板１０，１２の少なくとも一方と液体１６との間に配置された光学膜４６と、を有し、光学膜４６の屈折率は、一対の光透過性基板１０，１２の屈折率とは異なる。 （もっと読む）

【課題】十分な絶縁性を確保しつつ、低電圧で正確な駆動を実現することができる光学素子を提供する。
【解決手段】対向配置された第１および第２の電極と、第１の電極の、第２の電極と対向する面を覆うように順に積層された誘電体層、イオンバリア層および撥水層を含む絶縁膜と、絶縁膜と第２の電極との間に封入され、互いに異なる屈折率を有する極性液体および無極性液体とを備える。誘電体層は、イオンバリア層よりも高い誘電率を有するものであり、イオンバリア層は、極性液体に含まれるイオンの透過を抑制するものであり、撥水膜は、絶縁膜の最上層に位置し、無極性液体に対して親和性を示すものである。 （もっと読む）

【課題】複数の偏向角に自動的かつ高精度に位置決めされた状態で偏向させることが可能であり、構造や制御アルゴリズムの設計が容易な静電偏向素子を提供する。
【解決手段】静電偏向素子１００は、支持基板１１０と、支持基板１１０に対して偏向し得るマイクロミラー１２１から構成される。支持基板１１０は、マイクロミラー１２１に対向する面に設けられた複数個の駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍと、駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍの上に設けられた絶縁層１１３を有している。マイクロミラー１２１は、支持基板１１０に対向している対向面１２３が円筒面で構成されている。対向面１２３の一部は互いに連結されない状態で支持基板１１０に接している。 （もっと読む）

【課題】光干渉ＭＥＭＳディスプレイ素子を備えている光干渉変調器ディスプレイを提供する。
【解決手段】第一の電極７０２と可動物質７１４の間にかけられた電圧でＭＥＭＳデバイスが電気的に動作される。第一の電極から離れているラッチ電極７３０ａ、７３０ｂによってデバイスが動作状態に維持されうる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化に起因する反射膜間のギャップ精度の低下を防止する波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１に対向し、固定基板５１に対して変位可能な可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２と対向する面に形成された第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを介して対向する第２反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１電極５７と、可動基板５２に設けられ、第１電極５７と対向し正の熱膨張係数を有する第２電極５８と、第２電極５８に積層され、負の熱膨張係数を有する付加膜７０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高速かつ精細に光が透過する開口を調節できる開口調節素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る開口調節素子は、流体が流動する空間を構成するチャンバと、当該チャンバ内に設けられるものであって、互いに混合されない性質を持ち、一つは透光性の、他の一つは遮光性または吸光性の物質で形成された第１流体及び第２流体と、チャンバの内側面に設けられるものであって、チャンバ内に電場を形成するために電圧が印加される一つ以上の電極がアレイされた第１電極部と、を備え、電場による第１流体と第２流体間の界面位置変化により光が透過される開口が調節される。 （もっと読む）

【課題】応答性の向上した波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２と対向する面に形成された第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを有して対向する第２反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、可動基板５２に設けられ、第１電極５６１と対向する第２電極５６２と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面に設けられ、固定基板５１と可動基板５２とを接合する接合部５３と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた溝部５８と、を備え、第１反射膜５４と第２反射膜５５との間のギャップを形成する空間と外部とが溝部５８を介して連通している。 （もっと読む）

【課題】機能性有機材料の電気的特性を簡便かつ精度よく測定することができる電極構造体、電極構造体の製造方法ならびにそれを用いた電気光学素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る電極構造体は、第１の電極層と、有機物層と、第２の電極層とを具備する。有機物層は、第１の電極層からの高さが第１の高さである第１の樹脂領域と、第１の電極層からの高さが第１の高さより小さい第２の高さである第２の樹脂領域とを有し、第１の電極層上に形成される。第２の電極層は、有機物層の第1の樹脂領域上に形成された第１の電極領域と、有機物層の第２の樹脂領域上に、第１の電極領域と分離して形成された第２の電極領域とを有する。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性を向上させることができる表示装置を提供すること。
【解決手段】第一の基板２０と、第二の基板３０と、複数の画素ＰＩＸと、複数の画素ＰＩＸの各々に形成されたシャッタ機構部３２と、第一の基板２０と第二の基板３０との間に封入された流体Ｌと、第一の基板２０または第二の基板３０の一方の基板の流体Ｌとは反対側に形成された緩衝部４０とを有する表示装置１であって、シャッタ機構部３２は第二の基板３０に形成され、且つ、可動すると共に画素ＰＩＸの光透過率を制御するシャッタ部３１を有し、緩衝部４０は、一方の基板の流体Ｌとは反対側に対向する第三の基板４１と、一方の基板と第三の基板４１とを貼り合せるシール部４２と、一方の基板と第三の基板４１とシール部４２との間に形成された所定の間隙とを有する。 （もっと読む）

【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、低減された消費電力の直視型ＭＥＭＳディスプレイを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ光変調器のアレイ７０２と、ドライバ７０８、７１０、７１４とアレイ内の各光変調器の状態を制御するためのコントローラ７０４とを含む。コントローラ７０４は、表示のために画像フレームを符号化した画像データを受信し、画像データから、複数のサブフレームデータセットを導き出し、サブフレームデータセット内で示された状態にするために、出力シーケンスに従って複数のサブフレームデータセットをドライバ７０８、７１０、７１４に出力する。ドライバ７０８、７１０、７１４は、データおよび作動電圧をアレイ７０２に伝える。 （もっと読む）

【課題】赤外線をチョッピングし得る領域を十分に広くする。
【解決手段】支持基板２０と、赤外線透過薄膜積層体２３と、基板２０の厚み方向で積層体２３に対向配置されて「機構側支持部」によって支持された赤外線透過薄膜積層体２５とを有し、導電性材料でそれぞれ形成された両積層体２３，２５の間に電圧が印加された状態において両積層体２３，２５が光学的に一体化して厚み方向に赤外線ＩＲを透過させ、かつ、電圧が印加されない状態において両積層体２３，２５の間にギャップ２８が形成されて赤外線ＩＲを反射すると共に、「機構側支持部」が、積層体２５の外縁領域に設けられた支持枠２４ａと、積層体２５の内側領域に設けられた支柱２４ｂとを備え、電圧が印加された状態において、積層体２５の「機構側支持部」によって支持されていない部位が積層体２３に接して両積層体２３，２５が光学的に一体化する。 （もっと読む）

【課題】より正確なアライメントを行うことができる偏向素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】第１，第２パタン６１，６２から構成されるアライメントパタン６を設ける。これによりアライメントパタン６にＸ軸に平行な周波数軸を有する帯状の光を照射したときに、第１パタン６１によって反射される光の光強度と、第２パタン６２によって反射される光の光強度とが、ＭＥＭＳミラーアレイチップ５がＹ軸方向に位置ずれしていない場合には同一となり、位置ずれしている場合には異なるものとなる。そこで、アライメントパタン６からの反射光の波長スペクトルにおける中央の周波数から高低両側に所定の値だけ離間した２つの周波数とにおける光強度を測定し、これらの光強度が同一となるようにＭＥＭＳミラーアレイチップ５のＹ軸方向の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器にて反射された描画に寄与しない光が周辺部材に与える熱的影響を確実に排除して高い描画精度を担保する。
【解決手段】光学ユニットのヘッド部は、レーザ発振器から出射された光を空間変調させて、パターンの描画に寄与させる必要光Ｌ１と、パターンの描画に寄与させない不要光Ｌ０とを、互いに異なる方向に反射させる空間光変調器を備える。光学ユニットは、さらに、必要光Ｌ１を通過させつつ不要光Ｌ０を遮断する第２遮断板２３２と、第２遮断板２３２を冷却する冷却部を備える。第２遮断板２３２における不要光Ｌ０の入射領域を含む対象領域部分には、入射した光を乱反射させる乱反射面４２が形成される。 （もっと読む）

【課題】界面を形成する２つの液体が容器内に収容された液体光学素子において、液体光学素子の光軸に対するチルト回転の外力などが素子に作用した際に、界面が過度に変形して容器の蓋部材などに接触するのを抑制する技術を提供する。
【解決手段】液体光学素子１００において、互いに混和しない２つの液体１２１、１２２が容器１０１、１１１、１１２内に収容され、２つの液体１２１、１２２の界面の端部が容器の内壁面上を移動することにより界面の状態を変化させる。容器の内壁は、液体光学素子１００の光軸１７１の周りにおいて、光軸１７１へ向かう方向に突出した部分１０２を有する。突出部１０２は、光軸１７１の方向における中心部において、面の法線が光軸１７１と交わる環状の面を有し、光軸１７１の方向における周辺部において、面の法線が光軸１７１と平行な方向へ向かって連続的に変化する環状の面を有する。 （もっと読む）

【課題】専用装置を必要とせず、製造スループットを低下させることなく端子上のパッシベーション膜を除去した表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明の表示装置は、基板上にマトリクス状に配置され、スイッチング素子及びスイッチング素子によって駆動されるＭＥＭＳシャッターを有する複数の画素と、基板上に配置され、外部端子と接続される複数の端子と、
を含む。ＭＥＭＳシャッターは、開口部を有するシャッター、シャッターに接続された第１バネ、第１バネに接続された第１アンカー、第２バネ、及び第２バネに接続された第２アンカーを有し、シャッター、第１バネ、第２バネ、第１アンカー及び第２アンカーの基板の表面に対して垂直方向の面に絶縁膜を有し、複数の端子の表面、並びにシャッター、第１バネ、第２バネ、第１アンカー及び第２アンカーの基板の表面に対して平行方向であり且つ基板に対面する側と反対側の面には、絶縁膜がない。 （もっと読む）