【課題】マスク交換することなく、ワークへのレーザ光線の結像幅である加工ラインの幅を容易に調整可能として、作業の効率化やコスト上昇を抑える。
【解決手段】光学系５５のミラー５６とリレーレンズ５７との間に、レーザ光線Ｌの光軸と直交する平板状のマスク６０を配設する。マスク６０は水平方向に移動可能とし、マスク６０に形成した移動方向に延びる細長い台形状の開口６１に、レーザ光線Ｌを透過させる。ウェーハ１には開口６１を透過する部分のレーザ光線Ｌの断面形状が結像する。マスク６０を移動させることにより、ウェーハ１へのレーザ光線Ｌの結像幅を調整可能とした。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結して可動部２０の回転変位の軸心Ａ２を規定する連結部４２，４３が形成されている基板Ｓ１と、基材Ｓ２と、基板Ｓ１のフレーム３０および基材Ｓ２の間に介在してこれらに接合するスペーサ部、並びに、当該スペーサ部を覆ってフレームおよび支持基材に接合する接着剤部、を有する少なくとも一つの強固定部７０Ｃ，７０Ｄとを備える。フレーム３０は、軸心Ａ２の延び方向において可動部２０と対向する第１領域部３０Ａおよび第１領域部３０Ａ外の第２領域部３０Ｂを有する。強固定部７０Ｃ，７０Ｄは、フレーム３０における第２領域部３０Ｂに対して接合している。 （もっと読む）

【課題】波長分散補償器において、入力光の波長が変動しても分散補償を行なうことができるようにする。
【解決手段】波長分散補償器を、相対する平行な２つの反射面を有する素子を含み、１次元方向に集光した光が素子の各反射面の間に入射され、入射光が各反射面で多重反射されながらその一部が一方の反射面を透過して出射され、出射光が干渉することにより波長に応じて進行方向の異なる光束が形成される分波機能を備えた光部品１と、光部品１に入射される光の中心波長と光部品１の透過特性の中心波長とが一致するように制御する制御部１０とを備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】分光素子の歩留まりを低下させることなく、分光素子の加工精度に起因する波長分散補償器の挿入損失およびその個体差を低減する。
【解決手段】波長分散補償器１は、分光素子としてのＶＩＰＡ板１４と、ＶＩＰＡ板で生成された所定波長の光束を反射してＶＩＰＡ板１４に戻す反射ミラーとしての自由曲面ミラー１６と、を備える。ＶＩＰＡ板１４の周囲には温度調整素子１７ａ，１７ｂが配置されている。制御部２０は、温度調整素子１７ａ，１７ｂを個別に制御してＶＩＰＡ板１４に所定の温度分布を生じさせて波長分散補償器１の挿入損失を低減する。 （もっと読む）

【課題】エレクトロウェッティング現象を用いた光学素子において、第１液体と第２液体との界面形状を元の静止状態に戻す際の動作速度を速くすることである。
【解決手段】本発明の光学素子は、有極性または導電性の第１液体と、第１液体と混ざらず且つ第１液体と略等しい比重を有する無極性または絶縁性の第２液体とを備える。また、第１基材部と、第２基材部と、第１及び第２基材部を接続する側壁部と、第１及び第２液体を内部に密封する収容部とを備える。また、第１基材部、第２基材部及び側壁部はそれぞれ第１電極、第２電極及び第３電極を備える。そして、静止状態から第１液体と第２液体との界面形状を変形させる際には、従来と同様に、第２及び第３電極間に電圧を印加し、第１液体と第２液体との界面形状を元の静止状態に戻す際には、第１及び第３電極間に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】最適な駆動電圧をより高速に算出する。
【解決手段】操作量Ｖ_xおよびＶ_yを座標軸とした平面上において、時間的に変動する変化分ΔＶ_xおよびΔＶ_yが原点を起点および終点とし各象限に少なくとも１の値を取る摂動パターンを設定し、この摂動パターンに応じてマイクロミラー装置３ａ，３ｂのミラーを摂動させたときに出力光測定装置４によって検出された出力光の光強度の変動と操作量Ｖ_xおよびＶ_yならびに変化分ΔＶ_xおよびΔＶ_yとから最も強い光強度が検出されたミラーの傾動角を与える新たな操作量Ｖ_xおよびＶ_yを算出する。これにより、操作量の平面上における全方位の探索、および、ミラーの動特性による高速駆動時の残留振動の影響を低減化した駆動方法を実現することができ、結果として、光強度が最大となる駆動電圧を高速に算出することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧に対するミラーの傾斜角の線形応答性を改善する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラー１４０３と、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極１３０３−１〜４と、電極基板の上に形成された、ミラーの回動中心を支えるピボットと、駆動電極に電圧を印加する制御回路とを備え、駆動電極は、ピボットの周りの電極基板上に複数形成され、バイアス電圧Ｖｂを印加した状態で、正側駆動電極と負側駆動電極との間に電圧差を生じさせる。これにより、ミラー１４０３を回動させることができ、駆動電圧Ｖに対する傾斜角θの線形応答性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】単色光の高均一度と高照度を共に満たすことを可能にした単色光照射装置を提供することにある。
【解決手段】アークランプ光源１と、アークランプ光源１からの光をコリメートするレンズ光学系２と、レンズ光学系２からの光を分光する分光光学系３と、分光光学系からの単色光を受光し集光するレンズ光学系４と、レンズ光学系４からの単色光の光量を調整する出射スリット５と、出射スリット５からの単色光の照度を均一化するホモジナイザ７と、ホモジナイザ７からの単色光をコリメートするレンズ光学系８とを有することを特徴とする単色光照射装置である。 （もっと読む）

【課題】 ＷＤＭ光信号をモニタする方法が提供される。
【解決手段】 この方法は、複数のチャンネルを有するＷＤＭ光信号を受信するステップと、同調可能フィルタによってＷＤＭ光信号にフィルタをかけた後に光信号を検出するステップと、少なくとも中心波長および同調可能フィルタ光伝達関数の帯域幅を再構成してＷＤＭ光信号の信号性能パラメータを決定するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】偏向面駆動部。
【解決手段】第１走査部、第１走査部を第１方向に平行な軸周りに回転自在に保持する第２走査部、第２走査部を第２方向に平行な軸周りに回転自在に保持するフレームを備える。第１走査部は、偏向面、第２方向に突出した櫛歯で構成された第１櫛歯部を有する。第２走査部は、第２方向に突出した櫛歯で構成された第２櫛歯部、第１方向に突出した櫛歯で構成された第３、第４櫛歯部を有する。フレームは、第１方向に突出した櫛歯で構成された第５、第６櫛歯部を有する。第１櫛歯部を構成する櫛歯は第２櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第３櫛歯部を構成する櫛歯は第５櫛歯部を構成する櫛歯と交互に、第４櫛歯部を構成する櫛歯は第６櫛歯部構成する櫛歯と交互に配置される。第１、第３、第４櫛歯部、及び偏向面は、第１方向に並べられ、第３櫛歯部は第１櫛歯部より偏向面に近い側に、第１櫛歯部は第４櫛歯部より偏向面に近い側に配置される。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板と電極基板との間隔をより容易に大きくできるようにする。
【解決手段】ミラー基板１９００と電極基板２０００とのギャップが、リブ構造体２０１０とギャップ補助層２１０１により形成される。言い換えると、ミラー基板１９００と電極基板２０００とは、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とを介して接合されている。これにより、ミラー基板１９００と電極基板２０００とが、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とにより離間しているようになり、ミラー基板１９００と電極基板２０００との間隔が、より容易に大きくできるようになるという優れた効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】ミラー装置２では、ミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、上述したように可動枠連結部２１１ｂの側、すなわちＹ方向に平行移動した位置に設けられており、ミラー回動軸ｍがミラー２３０の重心Ｇを通らない。このため、ミラー回動軸ｍ上において、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ａ側の端部とミラー回動軸との距離は、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ｂ側の端部とミラー回動軸との距離よりも長くなる。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄに一様な電圧（以下、バイアス電圧という）を印加してミラー２３０に吸引力が働くと、点線で示すように、ミラー２３０は、可動枠２２０と基部３１０側に引き寄せられるとともに、ミラー回動軸を回動中心として傾き、可動枠連結部２１１ａ側の端部が基部３１０側に引き寄せられた状態となる。 （もっと読む）

【課題】ミラー装置及び複数のミラー装置を２次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。
【解決手段】ジンバル１１０２の回動軸と直交する方向に、配線１００５−１〜１００５−４，１００６を設ける。これにより、配線１００５−１〜１００５−４，１００６からの干渉による予期しないミラー１１０３の傾斜角の変動を抑制することができ、ミラー１１０３から配線１００５−１〜１００５−４，１００６を離すことで、この抑制効果をさらに高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】可動枠連結部２１１ａ，２１１ｂ及びミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、対となる部材同士でバネ定数が異なる。これより、初期状態で所定の角度だけ傾いた状態となるため、結果としてミラーの傾動角度を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】分散補償量を可変する場合に損失劣化を最小限に抑える。
【解決手段】入力光コリメータ４と、可変の群遅延特性を与える群遅延特性付与部５−１，５−２と、出力光コリメータ６と、入力光コリメータ４から導入された光をなす光信号について分散補償すべく、群遅延特性付与部５−１，５−２での前記群遅延特性を制御する群遅延特性制御部１３，１４と、入力光コリメータ４からの光が該複数の反射型エタロンのそれぞれの入射側面での反射を介して該出力光コリメータに向けて出力される際の光軸位置と該出力光コリメータとの相対位置関係を位置決めする位置決め部１１と、前記相対位置関係が、該群遅延特性制御部で制御する前記群遅延特性に対応づけて設定された位置関係となるように該位置決め部を制御する位置決め制御部１３，１４と、をそなえる。 （もっと読む）

【課題】スクリーンに走査される映像に生じるスペックルノイズを低減することができるプロジェクションディスプレイ装置を提供すること。
【解決手段】光源と、光源からの出射光が同じく変調された変調光を予め設定された時間範囲内でＮ（Ｎは２以上の自然数）回繰り返して出射する光変調器と、Ｎ回繰り返して出射される変調光を反射して毎回スクリーンの同一位置に走査するミラーと、変調光が走査される度に変調光の偏光方向を回転させる偏光回転部と、を含むプロジェクションディスプレイ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 高効率で加工を行う。
【解決手段】 レーザ光源と、レーザ光源を出射したレーザパルスが入射する位置に配置され、回転中心の周囲に回転可能に保持され、入射したレーザパルスを回転位置に応じた方向に偏向して出射するビーム偏向器と、ビーム偏向器を回転中心を中心として回転させる回転駆動装置と、ビーム偏向器で第１方向に偏向して出射されたレーザパルスが入射する位置に配置され、入射したレーザパルスを出射する第１光学系と、ビーム偏向器で第２方向に偏向して出射されたレーザパルスが入射する位置に配置され、入射したレーザパルスを出射する第２光学系と、レーザ光源を出射するレーザパルスの出射タイミングと、ビーム偏向器の回転動作とを同期させて、ビーム偏向器に入射するレーザパルスを第１または第２方向に偏向して出射させる制御装置とを有するレーザ加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】電極３４０ａ〜３４０ｄは、電極基板３００上に投影したミラー２３０の可動枠回動軸及びミラー回動軸の少なくとも一方に対して自身が対称とならない基部３１０上の位置に形成される。このため、ミラー２３０の中心軸（一点鎖線で示す）と電極３４０ａ〜３４０ｄの中心軸（二点鎖線で示す）とは、一致しない。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄにバイアス電圧をかけると、ミラー２３０には、電極３４０ａ〜３４０ｄと対向する部分に引力が働くため、ミラー２３０の中心軸に対して垂直な状態（点線で示す）から所定の角度だけ傾いた状態となる。 （もっと読む）

【課題】波長多重光の経路切替えを行う波長選択スイッチについて、反射ミラーの角度変動時における出力光強度（結合効率）の変動と隣接ポートへのクロストークとを同時に低減する。
【解決手段】波長選択スイッチは、入出力光学系の入力ポートから出力される光を分光素子で波長に応じて角度分散させた後、各波長の光を集光光学系で集光してミラー部の対応する反射ミラーで反射し、該反射ミラーの角度に応じて反射光を入出力光学系の出力先の出力ポートに与える。入出力光学系の各出力ポートは、前記反射光を光ファイバ１１の端面に結合させるレンズ１２をそれぞれ有し、該レンズ１２は、減衰量の可変範囲内に対応した第１領域ＲＥＧ１の焦点距離Ｆ１に対し、可変範囲外に対応した第２領域ＲＥＧ２の焦点距離Ｆ２が異なる構造を持つ。 （もっと読む）

【課題】安価なインクリメンタル位置センサーを利用しつつさらに正確に衝撃摩擦駆動アクチュエーターの変位を制御することができる位置制御方法を提供する。
【解決手段】リニアスケール位置変換テーブル４５はリニアスケールの出力に基づき所定の単位長さごとに対象物の位置を検出する。駆動パルス信号の入力ごとに前記単位長さよりも小さい変位量で衝撃摩擦駆動アクチュエーターの駆動部材の往復動は引き起こされる。摩擦および滑りの働きに基づき対象物の変位は引き起こされる。分解能補間器４６は、前記単位長さごとに、前記単位長さの変位を引き起こす駆動パルス信号の数を特定する数情報信号をメモリー４７から取得する。数情報信号で特定される駆動パルス信号の数に基づき、指定された位置に応じて駆動パルス信号の出力回数を制御する。 （もっと読む）