【課題】迅速な分光測定が可能な光フィルター、特性測定方法、分析機器、および光機器を提供する。
【解決手段】 光フィルター３は、第一基板と、前記第一基板と対向する第二基板と、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜と対向する第二反射膜と、前記第一基板に設けられた第一電極と、前記第二基板に設けられ、前記第一電極と対向する第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間の電位差を制御する電圧制御部８１と、を備え、前記電圧制御部８１は、前記電位差を、第一電位差から前記第一電位差より大きい第二電位差に切り替える。 （もっと読む）

【課題】露光量を低下させることなく、パターンの描画を高精細に行う。
【解決手段】光ビーム照射装置２０の空間的光変調器（ＤＭＤ２５）は、複数のミラーを直交する二方向に配列して構成されている。空間的光変調器を、光ビームによる基板の走査方向に対して傾けて配置し、かつ、空間的光変調器の複数のミラーを、直交する二方向の内の走査方向に近い方向に、ミラーの数が異なる複数の区画に分割して使用する。駆動回路（ＤＭＤ駆動回路２７）により、空間的光変調器の各区画のミラーを、区画毎に異なる周期で駆動し、ミラーの数が多い区画の駆動周期を、ミラーの数が少ない区画の駆動周期より短くする。ミラーの駆動周期が短い区画では、パターンの描画が高精細に行われる。露光時間と露光回数とを掛けた露光量は、区画により大きく変動しない。 （もっと読む）

【課題】 光変調効率（光利用効率）を改善することを可能とする投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】 投写型映像表示装置１００は、光源１０から出射された光を投写ユニット８０側に透過するように構成されており、複数の微小開口部７１を有する透過型デジタル素子７０と、光源１０から出射される光を透過するとともに、光源１０から出射される光を複数の微小開口部７１のそれぞれに分配するように構成されたマイクロレンズ６１とを備える。複数の微小開口部７１のそれぞれは、開閉可能に構成されたシャッタ７３を有する。 （もっと読む）

【課題】正確な分光特性を測定可能な分光測定装置、および分析装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置３は、互いに対向する固定基板および可動基板と、可動基板に設けられる変位部と、変位部を初期位置に向かって付勢する連結保持部と、変位部および固定基板にギャップを介して対向配置される反射膜と、ギャップを調整する静電アクチュエーターと、ギャップ間隔を演算するギャップ演算手段８２３と、反射膜を透過した光の受光量を測定する受光部６と、変位部を予め設定された第一変位位置まで変位させるギャップ制御手段８２１と、変位部が初期位置に戻る復元過程で、透過光の光量測定、およびギャップの間隔の演算を同時に実施させる測定制御手段８２５と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】２つのレーザ光による加工跡が均一になるように２つのレーザ光の強度を調整することができ、２つのレーザスポットの位置が設定された値になるように調整できるレーザ加工装置及びレーザ加工方法の提供。
【解決手段】レーザ光源と、固定手段と、回転手段と、照射位置移動手段と、レーザ光の偏光方向を出射されたレーザ光の光軸に対して変化させる偏光方向変化手段と、偏光方向変化手段により偏光方向が変化されたレーザ光を２つのレーザ光に分離させる偏光ビームスプリッタと、２つのレーザ光の光軸を平行からずらして合成する光学系と、光学系で合成された２つのレーザ光を集光させる対物レンズと、加工対象物に形成された加工跡に非加工強度のレーザ光を照射したときの反射光の特性を加工跡の特性として検出する特性取得手段とを有するレーザ加工装置である。 （もっと読む）

【課題】回動軸方向の幅が有限な可動板に捻り梁が接合された端面においては、幅が無限な可動板における理論的な動たわみとは異なる形状の複雑な動たわみが発生する。当該動たわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板の端面に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、可動板の側面から反射面に平行な方向に突出し、回動軸に垂直な方向において可動板の先端より回動軸に近い範囲に配設された可動板突起と、を備える。光偏向器は、当該光偏向素子を備え、画像形成装置は、当該光偏向素子又は当該光偏向器を備える。 （もっと読む）

【課題】光検出部を配置した場合でも小型化を図ることができる画像表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】画像表示装置は、画像信号に応じて強度変調した光を出射する光源部と、反射ミラーの変位により入射した光を走査する走査部と、走査部により走査した光を投射対象に投射する投射部と、反射ミラーへ向かう光のうち反射ミラーにより反射されずに背面側に通過する光の強度を検出する光検出部と、を備え、光検出部による検出結果に基づき、前記光源部を制御する。 （もっと読む）

【課題】複雑な製造工程を必要とせずに、窓部の入射面と反射面とを傾かせることができる光偏向器、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、可動板を回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室に配設されており、支持枠を支持する素子支持部を有する筐体本体と、反射面に入射する入射光が透過する窓部を有し、素子室の開口を封止する蓋部材と、を備え、支持枠と素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、支持枠が素子支持部に支持されており、入射光が窓部に入射する入射面に垂直な方向における入射面からの距離、又は反射面に垂直な方向における反射面からの距離が、第一の当接位置と第二の当接位置とで異なる。 （もっと読む）

【課題】光偏向器にミラーデバイスの温度を調整するための温度調整手段を配設することによってミラーデバイスの製造工程やパッケージへの組み込みに影響をあたえることを抑制できる光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、温度調整手段は、筺体本体に配設されている。 （もっと読む）

【課題】通過帯域を狭くすることなく入出力ポートが２次元的に配列された波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】プリズム１３を設けることにより、マイクロレンズアレイ１２のレンズ１２ａ〜１２ｎから入力された信号光のビーム径を、この信号光の光軸に直交する１の方向に拡大または縮小させ、かつ、その信号光の偏向素子による反射光の光軸が光ファイバ１１ａ〜１１ｎの光軸と平行にさせることができる。これにより、入出力ポートが２次元的に配列された波長選択スイッチにおいても、信号光のビーム径を偏向素子の配列ピッチに対して十分小さくすることが可能となり、結果として通過帯域が狭くなるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】表示画像の画質の劣化を抑制しながら、スペックルノイズの低減率を向上させることができないという問題を解決する投射型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光源１１は、映像信号に応じて変調された光ビームを出射する。投射部１２は、光源１１から出射された光ビームを投射する。光路長調整部１３は、光ビームの光路長を調整する。制御部１４は、光源１１から出射された光ビームから波面形状がそれぞれ異なる複数の調整ビームが生成され、かつ、各調整ビームが映像信号に応じた表示画像の各画素位置に対して時分割されて投射されるように、映像信号に基づいて、光路長調整部１３を制御して、光源１１から出射された光ビームの光路長を変更する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安定して低速駆動を行うことができる圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】駆動対象物３０、３１を軸Ｘ周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータ１１０、１１１、１１２であって、
前記軸Ｘの両側に配置された錘部７１と、前記軸Ｘと交差して延在し、前記錘部７１を連結する連結部７２とで前記駆動対象物３０、３１を平面的に囲む環状構造を有し、前記駆動対象物３０、３１が連結されて前記駆動対象物３０、３１を連結支持する可動枠７０と、
弾性体１５に圧電薄膜２２が成膜された構造を有し、前記可動枠７０の外側に配置され、該可動枠７０の前記連結部７２に前記軸Ｘ周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁９０と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】射出光の波長を可変させた場合でも、高透過率および高分解能を実現可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、第一基板５１と、第一基板５１に接合され、可動部５２２、およびこの可動部５２２を基板対向方向に移動可能に保持する連結保持部５２３を有する変位部５２１を備えた第二基板５２と、第一基板５１に固定される固定ミラー５６と、可動面５２２Ａに固定される可動ミラー５７と、固定ミラー５６および前記可動ミラー５７を囲う位置に設けられ、静電引力により可動部５２２を基板対向方向に変位させる第一静電アクチュエーター５４と、第一静電アクチュエーター５４の内側で、固定ミラー５６および可動ミラー５７を囲う位置に設けられ、可動部５２２に変位方向と逆方向に応力を付与する第二静電アクチュエーター５５と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】各部材のアライメントが不要になるとともに装置を小型化させ、ディレイを高速に行うことが可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ光発生部と、パルス光をそれぞれ増幅させる光増幅部と、光増幅部により増幅されたパルス光を同軸に重ね合わせるとともに、波長変換光学素子に入射させ波長変換を行う波長変換部を備えたレーザ装置において、入射された方向と異なる方向に反射及び射出させる回転ミラー６４と、回転ミラー６４を回転させるミラー回転部６９と、回転ミラー６４から射出された光を平行光に変換させる第２レンズ６５と、第２レンズ６５を透過した平行光を異なる方向に透過させる透過型回折格子６６と、透過型回折格子６６を透過した光をその光路と同じ光路を反対方向に進むように反射させる平面ミラー６７とを備えた光路長調整部６０が設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定した制御が可能な光信号交換装置を提供すること。
【解決手段】複数の入力ポートと、複数の出力ポートと、入力ポートから入力された光信号を反射し、いずれかの出力ポートに入射する複数のミラーＭ１〜Ｍｎと、ミラーの反射角度を制御し光信号の経路を選択する制御手段１１０とを有し、制御手段は所定周波数の低周波信号を発生する発生手段と、ミラーの反射角度を制御する制御信号に低周波信号を重畳する重畳手段と、出力ポートから出力される光信号の一部を電気信号に変換する光電気変換手段と、得られる電気信号を対数変換する対数変換手段と、対数変換された電気信号に対して重畳された低周波信号と同様の低周波信号を乗算し、所定周波数の信号成分を直流成分に変換して抽出する抽出手段と、抽出された信号成分に基づいてミラーを所望の反射角度に設定するための制御信号を生成する生成手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光源で得られたレーザーを導いて、右偏光又は左偏光のどちらか一方に共振させると共に左右どちらにも切り替え可能な光発振器を提供する。
【解決手段】立体的に配置された１対の平面鏡と１対の凹面鏡とを備え、入射光学系から出射されるレーザーを取り込み、当該レーザーを圧電素子によって長さが調整された光路上を周回させながら前記光路の光路長に応じて右円偏光又は左円偏光を選択することによってレーザーを共振させる。 （もっと読む）

【課題】大規模な光スイッチを構成する光学系において、光入出力部の配列規模拡大に伴う光結合損失の増加を抑制し、低損失な光スイッチを実現する。
【解決手段】光信号を光スイッチ内部に入力する複数の光入力ポートを有する光入力部２と、前記光信号を出力する複数の光出力ポートを有する光出力部３とを有する。光入力ポートから入力された光信号を偏向させ、選択された光出力ポートに出力する光スイッチ１である。前記光入力ポートおよび光出力ポートは、それぞれ複数の支持部材（整列基板２７〜３０）に二次元的に配列されて支持される。前記光入力部２および光出力部３は、それぞれ前記複数の支持部材の集合体によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】十分な暗視野照明状態を得ることができるようにする。
【解決手段】制御部４０は、光偏向素子３６の面上に２次元に配列された複数の微小ミラーの各々を個別に制御して、明視野照明を行う場合には、明視野照明領域Ａ_ｂ内の微小ミラーをオン状態にし、暗視野照明を行う場合には、暗視野照明領域Ａ_ｄ内の微小ミラーをオン状態にすることで、明視野照明と暗視野照明とを切り替える。これにより、明視野照明から暗視野照明に切り替えるに際し、暗視野照明光路以外の領域に照明光が照射されないようにすることができるので、十分な暗視野照明状態を得ることが可能となる。本発明は、例えば、明視野照明及び暗視野照明の併用照明を行う顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減できる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】通過ポート１１とこの通過ポート１１と隣り合う挿入ポート１２ｂ，１２ｃとの間隔を、この他の挿入ポート間の間隔よりも広くする。これにより、ＩＬＲを抑制するために主軸成分の割合を大きくするようにＭＥＭＳミラー装置４５１のミラーを制御しながらＡＴＴを調整する、すなわち、通過ポート１１に関する制御軌跡の傾き角φを大きく取っても、通過ポート１１に隣り合うポートとの距離が離れているためにＸＴが増大しないので、ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】容易に駆動制御できるミラー装置およびミラーアレイを提供する。
【解決手段】定電圧印加部１１は、定電圧電極に一定の電圧を印加する。また、駆動電圧印加部１２は、駆動電極に所定の電圧を印加する。これにより、少ない数の駆動電極の電圧値を制御することでミラーの駆動を制御することができるので、より容易に駆動制御することができる。 （もっと読む）