【課題】光導波路を構成する下部クラッド層及び／又はコア層の膜厚を容易に制御できる光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、下部クラッド層２，３、コア層４、上部クラッド層６を順に積層する光導波路の製造方法であって、下部クラッド層２，３、コア層４、上部クラッド層６の少なくともいずれかの層が複数層からなり、前記複数層を構成する各層を積層するごとにパターン露光し、一括現像して、下部クラッド層２，３、コア層４、上部クラッド層６の少なくともいずれかの層を複数層に形成する光導波路の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーからの光信号を受光素子で受ける構成、発光素子からの光信号を光ファイバーで受ける構成のいずれであっても、光結合効率が向上する光モジュールを提供する。
【解決手段】第１溝１ａと、第１溝１ａよりも深い略台形状の第２溝１ｂとが表面に連なって形成された基板１と、この基板１の第１溝１ａ内に設けられた内部導波路１６とを備えている。第１溝１ａの先端部に形成された光路変換用のミラー部１５と、このミラー部１５と対向するように基板１の表面に実装され、ミラー部１５を介して内部導波路１６のコア部１７に光信号を出射する発光素子１２ａとを備えている。第２溝１ｂ内にファイバークラッド部２２が設置され、内部導波路１６のコア部１７と光学的に接続されるファイバーコア部２１を有する光ファイバー２を備えている。 （もっと読む）

【課題】 クラッドによるＸ線の閉じ込め効果を高めることで、高い伝搬効率で位相の揃ったＸ線を導波することが可能なＸ線導波路を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を導波させるコアとクラッドを有するＸ線導波路であって、前記コアは、Ｘ線の導波方向に垂直な方向において、屈折率実部が異なる複数の物質を含む周期構造を有し、前記コアと前記クラッドとの間に平坦化層が設けられ、前記コア及び前記平坦化層は、前記クラッドと接しており、前記クラッドと前記平坦化層および前記コアとの界面における全反射臨界角が、該コアの周期性に起因するブラッグ角よりも大きいことを特徴とするＸ線導波路。 （もっと読む）

【課題】小型化と偏波無依存性とを同時に達成しつつ、幅誤差による偏波無依存性の悪化に対する耐性を高める。
【解決手段】基板８の主面８ａ側に延在するクラッド１２と、光導波路型要素１３とで構成される光導波路７を有し、光導波路は、２個の偏波無依存な方向性結合器１６及び１８と、２個の方向性結合器間を接続するとともに、光路長が異なっていて、互いに並列された第１湾曲光導波路２０ａ及び第２湾曲光導波路２０ｂと、第１及び第２湾曲光導波路のそれぞれに少なくとも１個以上設けられ、厚みよりも幅が大きな、合計２個以上の光路長調整領域２２_１及び２２_２とを備え、光導波路材料は、クラッドの屈折率よりも４０％以上大きな屈折率を有しており、それぞれの光路長調整領域の偏波間における光路長差を、全ての光路長調整領域について総和した値が０となるように、それぞれの光路長調整領域の幾何学的長さを設定する。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ光学特性が安定したアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供すること。
【解決手段】第１入出力導波路に接続された第１スラブ導波路と、第１スラブ導波路に接続され、互いに長さが異なり並列に配列された複数のチャネル導波路からなるアレイ導波路と、アレイ導波路に接続された第２スラブ導波路と、第２スラブ導波路に接続された複数の第２入出力導波路と、を有するアレイ導波路回折格子チップと、その下面に接合された下地板とが、第１スラブ導波路または第２スラブ導波路を横断する切断面において２つに切断されて形成された固定片および可動片と、固定片が接合されるとともに可動片が当接される基準板と、固定片と可動片との間に掛け渡されるように設けられ、アレイ導波路回折格子の光透過中心波長の温度依存シフトを補償する補償部材と、可動片が基準板上をスライドできるように基準板と可動片とを挟持するクリップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】クラッドによるＸ線の閉じ込め効果を高めることで、高い伝搬効率で位相の揃ったＸ線を導波することが可能なＸ線導波路を提供する。
【解決手段】波長が１ｐｍ以上１００ｎｍ以下のＸ線１５を導波させるためのコア１０とクラッド１１、１２を有するＸ線導波路において、コア１０は、Ｘ線１５の導波方向に垂直な方向において屈折率実部が異なる複数の物質を含む周期構造を有し、コア１０とクラッド１２間に平坦化層１３が設けられており、平坦化層１３とクラッド１２の界面における全反射臨界角は、コア１０の周期性に起因するブラッグ角よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能でありより容易に製造できる状態で、光機能素子が構成できるようにする。
【解決手段】光導波路１０１と、光導波路１０１の出力側に配置された偏波分離部１０２とを少なくとも備える。光導波路１０１は、光導波路１０１の固有偏波面に対して偏波を４５°傾けた状態または円偏波状態の位相変調信号１２１が入力され、固有偏波面に対して平行な第１偏波１２２と固有偏波面に対して垂直な第２偏波１２３との伝搬時間の差が、位相変調信号の１ビット分の時間となる光導波路長とされている。 （もっと読む）

【課題】材料を無駄にすることなく、希土類化合物を用いた光素子が製造できるようにする。
【解決手段】エルビウムの酸化物よりなる希土類含有層１０５をスパッタ法などの物理蒸着法により、基板を加熱することなく形成し、例えば１０００℃に加熱することで、希土類含有層１０５を溝部１０４に凝集させ、酸化エルビウムの結晶からなる希土類コア部１０６を形成する。希土類の酸化物は、加熱することで、下地に形成されている凹部に凝集する。また、この加熱により、アモルファス状態の酸化エルビウムが結晶化するので、希土類コア部１０６は、酸化エルビウムの結晶から構成されたものとなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、微小光工学素子の分野に属する。発散・収束する光波に対して、低損失で、強い波長選択性があり、反射率の高い反射鏡をシンプルな構造で実現することを課題とする。
【解決手段】制御しようとする光波と同じ曲率を持つ基板上に、屈折率の周期構造を持った高屈折率薄膜層を形成することで上記の機能を実現する。周期構造によって回折され、高屈折率層中を伝搬する導波モードとなった光が、入射側に共鳴的に反射される「導波モード共鳴現象」を利用する。曲率半径が周期構造の間隔の５倍程度以下ならば、共鳴波長における反射率を９０％以上に保つことができる。本構造の動作に最低限必要なのは低屈折率媒質による基板と、高屈折率媒質による回折格子層のみであり、誘電体多層膜反射鏡などと比べ、素子を大幅に簡単な構成で実現することができる。 （もっと読む）

【課題】光半導体装置とその製造方法において、光半導体装置の信頼性を高めること。
【解決手段】半導体基板１を途中の深さまでエッチングすることにより、断面形状が凸状のコア４ａを半導体基板１に形成する工程と、コア４ａの一方の側面４ｘと他方の側面４ｙの各々に酸化防止膜２２を形成する工程と、酸化防止膜２２が形成された状態で、コア４ａの両脇の半導体基板１の表面を熱酸化する工程と、コア４ａの一方の側面４ｘの横の半導体基板１に第１の不純物領域を形成する工程と、コア４ａの他方の側面４ｙの横の半導体基板１に第２の不純物領域を形成する工程とを有する光半導体装置の製造方法による。 （もっと読む）

【課題】波長選択機能を有する多モード干渉導波路デバイスを得る。
【解決手段】波長選択性多モード干渉導波路デバイス（１０）は、多モード干渉導波路部（３）と、多モード干渉導波路部（３）の一端の中心に接続される第１の導波路（１）と、多モード干渉導波路部（３）の一端に対向する他端の中心に接続される第２の導波路（２）とを備え、第１の導波路（１）から入射し多モード干渉導波路部（３）を伝搬して第２の導波路（２）に出射する光波であって、所定の波長を有する光波の透過率が、多モード干渉導波路部（３）と第２の導波路（２）との接続部において当該デバイスの使用目的によって決まる要求仕様を満たすように、多モード干渉導波路部（３）の幅及び長さが決定されている。 （もっと読む）

【課題】光を変調し得る波長帯域が狭いリング共振器の共振波長を入力光の波長に容易に一致させ、高効率で入力光を変調し得る光半導体素子を提供する。
【解決手段】入力光が入力される第１の導波路と、第１の導波路と光学的に結合するように配されたリング変調器と、第１の導波路と光学的に結合するように配され、リング変調器の周回光路長より小さな周回光路長を有する第１のリング共振器と、第１の導波路と光学的に結合するように配され、リング変調器の周回光路長より大きな周回光路長を有する第２のリング共振器と、リング変調器と第１のリング共振器と第２のリング共振器とに近接して配されたヒータと、第１のリング共振器中の光パワーをモニタする第１の光検出器と、第２のリング共振器中の光パワーをモニタする第２の光検出器と、第１の光検出器及び第２の光検出器により検出された信号に基づいて、リング変調器の共振波長が入力光の波長と一致するようにヒータを制御する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】典型的な２次元フォトニック結晶構造を有する光共振器において、Ｑ値等の性能が十分高い構造を実現する。
【解決手段】光共振器１００は、所定の穴径で一列に一定周期で並んだ結晶穴５を持つ１次元のフォトニック結晶２を利用する。フォトニック結晶部材の厚さを所定の範囲に設定する。光波回路・電子回路において層間分離膜や封止膜としての役割を果たす低屈折率のシリコン酸化膜３，４を使用して１次元フォトニック結晶共振器を埋め込み、必要十分なＱ値を確保できる。前記層間分離膜または封止膜を利用して、フォトニック結晶と光波回路または電子回路とを集積化する。 （もっと読む）

【課題】フォトニック結晶の中でより複雑な構造を持つ結晶周期が２次元または３次元の構造に対し、１次元フォトニック結晶は構造が単純で加工が容易である優位点を持つ。しかし、電気駆動を容易にするためにサイドスラブを導入した場合に、高い共振器性能と単純な加工工程とを両立する最適の光共振器の構成は未だ示されていなかった。
【解決手段】本発明に係る光共振器は、内部に低屈折率の材料からなる円柱または多角柱構造を周期的に配置した高屈折率の材料からなる棒状構造の１次元フォトニック結晶（棒状構造体）と、棒状構造体を取り巻く低屈折率の媒体と、高屈折率の材料からなり棒状構造体よりも厚さが薄いサイドスラブとから構成される。円柱または多角柱構造が１次元フォトニック結晶を貫かずに途中で終端され、円柱または多角柱構造の底面高さがサイドスラブの上面高さと製造誤差の範囲で一致している。 （もっと読む）

【課題】紫外光照射による特性の調整を高精度にできる光導波路回路の製造方法および製造装置を提供すること。
【解決手段】紫外光を吸収して媒質の屈折率を変化させるドーパントを含有するコアと該コアの周囲に形成されたクラッドとを備える光導波路回路の該コアに紫外光を照射する紫外光照射工程と、前記ドーパントからの発光量を測定する発光量測定工程と、を含み、前記測定した発光量の積算値に基づいて前記光導波路回路の特性を調整する。 （もっと読む）

【課題】光素子の位置ずれ及び光素子の光導波路の特性変化を抑えることを可能とした光デバイス及び光デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第１の光素子（３）と、第１の光素子と光学的に結合する第２の光素子（２０）と、第１の光素子及び第２の光素子が搭載された第１のシリコン基板（１０）とを有し、第２の光素子は第２のシリコン基板（２１）及び第２のシリコン基板と貼り合わされた導波路基板（３０）を含み、第２の光素子は導波路基板が第１のシリコン基板に向かい合う状態で第１のシリコン基板上に搭載されている光デバイス（１）。 （もっと読む）

【課題】光分散補償器における放射損失を低減すること。
【解決手段】一端がスラブ導波路であり他端がアレイ導波路となるように、複数のスラブ導波路と複数のアレイ導波路とが交互に縦続接続され、前記一端のスラブ導波路に入力導波路および出力導波路が接続されると共に前記他端のアレイ導波路に反射器が接続され、前記一端のスラブ導波路以外のスラブ導波路の内部にレンズ型空間位相変調器が配置された前記コアと、前記コアの上下に積層されたクラッドとを備えた光分散補償器であって、前記レンズ型空間位相変調器は、前記コアとクラッドを貫通した溝に透明樹脂を充填することにより設けられ、表裏の少なくとも一面が凹レンズに形成され、表裏の曲率が異なる非対称レンズであることを特徴とする光分散補償器。 （もっと読む）

【課題】アレイ導波路回折格子型光分散補償器において、透過帯域形状を歪めることなく、反射光が前段のアレイ導波路に結合することを防止することができる。
【解決手段】一端がスラブ導波路であり他端がアレイ導波路となるように、複数のスラブ導波路と複数のアレイ導波路とが交互に縦続接続され、前記一端のスラブ導波路に入力導波路および出力導波路が接続されると共に前記他端のアレイ導波路に反射器が接続され、前記一端のスラブ導波路以外のスラブ導波路の内部にレンズ型空間位相変調器が配置された前記コアと、前記コアの上下に積層されたクラッドとを備えたアレイ導波路回折格子型光分散補償器であって、前記レンズ型空間位相変調器は、前記コアとクラッドを貫通した溝に透明樹脂を充填することにより設けられ、レンズの光軸を対称軸として対称に折れ曲がっていることを特徴とするアレイ導波路回折格子型光分散補償器。 （もっと読む）

【課題】 光半導体素子及びその製造方法に関し、イオン注入工程を削減して、簡易な製造工程で光半導体素子を製造する。
【解決手段】 各スラブ導波路部とそれに接する隆起領域とに注入イオン分布のピークが、前記スラブ導波路部の厚さよりも深い位置となり且つ前記隆起領域の厚さよりも浅い位置になる条件で各導電型の不純物をイオン注入する。 （もっと読む）

【課題】低温プロセスでゾルゲルガラスからなるクラッド・コア材の作製、屈折率の任意制御、光損失の極小制御が可能なポリマー光変調器の製造方法の提供。
【解決手段】下記式（１）
Ｒ^１_ｎＳｉ（ＯＲ^２）_４−ｎ （１）
で表されるシリコンアルコキシド、その加水分解・縮合物、またはこれらの混合物と、光酸発生剤とを含む硬化性組成物を調製する工程と、
該硬化性組成物を基板上に塗布・硬化し、更にパターン形成を行い、ゾルゲルガラスから形成される下部クラッド層、コア層、側部クラッド層及び上部クラッド層を形成する工程と、
上部クラッド層中に、電気光学ポリマーから形成されるコア層を、該ゾルゲルガラスから形成されるコア層の上部に接触して埋設する工程とを含み、且つ、上部クラッド層と電気光学ポリマーから形成されるコア層との接続部の一部が、導波光の進行方向に対しテーパー構造を有する、ポリマー光変調器の製造方法。 （もっと読む）