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【課題】所定の角度をなす傾斜面を有する光導波路コアを備える光導波路を効率的に製造することができ、前記傾斜面に選択的に金属膜を形成させることができる光導波路の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第1クラッド層12上に形成されたコア部13を埋設するように第2クラッド層15を形成するクラッド層形成工程と、第2クラッド層15に、第1クラッド層12に対して略垂直な垂直面17aと、垂直面17aに対向し、第2クラッド層15側から入射される光をコア部13内に誘導等をするように、光を反射させるための傾斜面17bとを有する凹部17を形成する凹部形成工程と、凹部17に金属層18を形成する金属層形成工程と、垂直面17aに形成された金属層18aを選択的に除去することによって、少なくとも傾斜面17b上に金属層18bを残存させる金属層除去工程とを備える光導波路の製造方法を用いる。 (もっと読む)


【課題】複数の受発光部が高密度に配置されていても、電気配線の導電性や電気配線同士の絶縁性を十分に確保しつつ、光導波路に対して良好な光学的接続を可能にする光素子搭載基板、および、かかる光素子搭載基板を備えた光電気混載基板および電子機器を提供すること。
【解決手段】光電気混載基板1は、貫通孔110を有する絶縁性基板11と、2つの受発光素子71、72と、半導体素子8と、絶縁性基板11の上面に設けられた第1の配線15と、下面に設けられた第2の配線16とを有する。受発光素子71は、図2の紙面厚さ方向に沿って配列した複数の受発光部711を備えている。そして、受発光素子71は、絶縁性基板11の上面に設けられ、第1の配線15と電気的に接続されている。一方、受発光素子72も同様に複数の受発光部721を備えている。そして、受発光素子72は、貫通孔110内に設けられ、第2の配線16と電気的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】光の損失を十分に抑制することが可能なミラー面が形成されたコア部を備えるミラー付き光導波路を効率よく製造することが可能なミラー付き光導波路の製造方法を提供すること。
【解決手段】樹脂成分を含有してなる光を伝送するためのコア部を備える光導波路の前記コア部の一部に、開口部を有するマスクを介してレーザービームを照射して、前記コア部の一部の前記樹脂成分を飛散させることによって、前記コア部を伝送する光の伝送方向に対して傾斜したミラー面を前記コア部に形成するミラー付き光導波路の製造方法であって、前記コア部のレーザービームが照射されるべき面の長手方向の略中心軸から該面の幅方向に離れるほど前記レーザービームの照射時間が短くなるように前記レーザービームを照射することを特徴とするミラー付き光導波路の製造方法。 (もっと読む)


【課題】感光性を有する樹脂層の所定箇所に光照射した後に光照射されていない箇所を現像液で除去するフォトリソグラフィーにより光導波路のパターンを形成する光導波路の製造方法において、十分な光伝送能力及び十分に高いパターン形成精度を提供する。
【解決手段】下部クラッド層を形成する工程と、前記下部クラッド層の表面上にコア材料からなるコア層を形成する工程と、前記コア層の表面上に上部クラッド層を形成する工程と、前記上部クラッド層の所定箇所に光照射した後に、現像液により光照射されていない箇所を除去して前記上部クラッド層のパターンを形成すると共に、該パターン形成がされた上部クラッド層をレジストマスクとして前記現像液により前記コア層及び前記下部クラッド層のパターンを形成して、下部クラッドと、前記下部クラッド上に形成されたコアと、前記コア上に形成された上部クラッドとを備える光導波路を得る工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】コアまたはクラッドの上層にさらにクラッドを形成する場合において、上層のクラッドの厚みを高精度に制御して、クラッドを平坦化できる積層光回路の製造方法を提供する。
【解決手段】クラッド上に形成されたコアの直上に金属マスクを形成する金属マスク形成工程101と、コア及び金属マスクをクラッドで埋め込むクラッド埋込工程102と、金属マスクが露出するまでクラッドを研磨して平坦化する研磨工程103と、露出した金属マスクを除去する金属マスク除去工程104と、平坦化したクラッドとコアとの段差の距離を計測する距離計測工程105と、平坦化したクラッド上及び金属マスク除去後のコア上に、段差の距離及びコアと次層のコアとの間の所望の距離に応じた厚さのクラッドを形成し、熱処理によってクラッドを一体成型することにより段差を平坦化する平坦化行程106とを含む。 (もっと読む)


【課題】分岐光導波路において、主路の幅が狭く、各分岐路から出射される光線の強度が均一である発光素子付光導波路。
【解決手段】発光素子付光導波路10において、コア13は主路14と、主路14から複数の分岐点16で分岐した複数の分岐路15とを有する。主路14は対向する二辺14a、14bを有し、二辺14a、14bのうち一辺14aは分岐点16を備え、他辺14bは分岐点を備えない。複数の分岐点16は、主路14の導光方向17とほぼ平行な直線上に設けられる。主路14は、発光素子11から遠ざかるにしたがって幅Wが細くなる。分岐点を備えない他辺14bと、主路14の導光方向17とのなす角度θは、0.3°〜1.7°である。 (もっと読む)


【課題】パタン化されたコア層の近傍に発生する残コアや異物がパタン化されたコア層と直接接触することを回避し、光伝搬損失の悪化を抑制することが可能な光導波路及び光電気複合基板の製造方法並びにそれらにより得られる光導波路と光電気複合基板を提供する。
【解決手段】基材上又は電気配線板上に略直方体形状の下部クラッド層、及び該下部クラッド層の上面に搭載された略直方体形状のコア層からなる略直方体形状部材を形成する第1の工程と、該コア層の上面と側面、及び該下部クラッド層の側面を覆う上部クラッド層を形成する第2の工程とを含むことを特徴とする光導波路又は光電気複合基板の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部(光路)を簡単な方法で形成することができる光導波路を備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路構造体9は、コア部94と、該コア部94より屈折率が低いクラッド部95とを備えるコア層93とを有する光導波路90と、該光導波路90の両面に設けられた導体層901、902とを有する。コア層90は、主鎖と該主鎖から分岐し、分子構造の少なくとも一部が前記主鎖から離脱し得る離脱性基とを有するノルボルネン系ポリマーを含有し、コア部94とクラッド部95とは、前記主鎖に結合した状態の前記離脱性基の数が異なること、および、前記ノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、それらの屈折率が異なっている。 (もっと読む)


【課題】優れた耐屈曲性と結合損失の低減とを高度に両立し得る光導波路を構成するための光導波路用フィルムを、効率よく簡単に製造可能な光導波路用フィルムの製造方法、かかる光導波路用フィルムの製造方法により製造された光導波路用フィルム、およびかかる光導波路用フィルムを備えた光導波路、光電気混載基板および電子機器を提供すること。
【解決手段】基材20に対してノズル522が螺旋を描くように、基材20およびノズル522を相対的に移動させつつ、ノズル522から液状樹脂組成物100を吐出して液状被膜110を形成し、その後固化することにより、光導波路用フィルムを製造する方法であって、液状被膜110の縁部を形成する際の第1塗布量が、中央部を形成する際の第2塗布量より大きくなるように、基材20またはヘッド520の移動パターンおよびノズル522の吐出パターンの少なくとも一方を制御することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】近接場光の伝達効率の減少を可及的に防止することを可能にする。
【解決手段】金属と無機酸化物とが3次元的に共に連続的な構造の複合体からなる近接場光導波部4と、近接場光導波部の一端に近接場光を導入する近接場光励起部6と、近接場光導波部の他端から近接場光を出力する近接場光出力部8と、を備えている。近接場光導波部4は、金属/無機酸化物の複合体からなっており、良好な導波効率を得るためには、酸化物の割合a(vol%)、金属の割合をb(vol%)とした場合に、70≦a≦95,5≦b≦30の高密度な構造体であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】高屈曲性や信頼性を提供することができ、光導波路を精密に製造することができる印刷回路基板を提供する。
【解決手段】本発明の印刷回路基板100は、第1基板部110と、一端が第1基板部110に結合され、電気信号と光信号とを共に伝送するように電気配線層134と光導波路132とを含む軟性基板部130と、軟性基板部130の他端と結合される第2基板部120とを含み、電気配線層134と光導波路132は、互いに離隔して配置されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 光半導体素子に設けられる光素子に、不所望に光が入射することを防止すること。
【解決手段】 光導波路部材2を含む光配線基板20と、この光配線基板20に対してフリップチップ実装される第1及び第2の光半導体素子3とを有する光配線モジュール1であって、光導波路部材2は、クラッド層6,8と、クラッド層6,8上に積層され、光路変換手段40を有する複数のコア層7と、を含んで構成され、光配線基板20上には、第1の光半導体素子3に設けられる光素子4と、第2の光半導体素子3の光素子4との間に設けられ、非光透過性の樹脂から成る遮光部材62が配置されていることを特徴とする光配線モジュール1。 (もっと読む)


【課題】石英系光導波路の作製方法において、作製される光導波路の光学特性を良好に保ちつつ、コア層に対する引っ張り応力による亀裂の発生を抑制すること。
【解決手段】まず、シリコン基板上に下部クラッド層をFHD法を用いて作製する(ステップ1)。次に、反応性スパッタ法を用いてSiONコア層を堆積する(ステップ2)。そして、フォトリソグラフィー及び反応性イオンエッチング法を用いて、1ミクロンから200ミクロンまでコア幅を変化させたコアパターンを形成する(ステップ3)。その後、1200℃で熱処理を行う(ステップ4)。最後に、上部クラッドの形成を行う(ステップ5)。コアパターンに作用する応力は、コア層を光導波路(コアパターン)へと加工することによって大幅に軽減されるため、コア層の状態での熱処理では亀裂が入ってしまう場合でも、コアパターン加工後に熱処理を行うことで亀裂の発生を防ぐことができる。 (もっと読む)


【課題】 複数の光導波路の位置あわせが可能であり、さらに、長期間使用しても光信号が安定に伝搬される光配線構造を提供する。
【解決手段】 第一の光導波路を有する第一の基板と、前記第一の基板上に設けられた第二の基板であって、その主面上に前記第一の光導波路よりも高い位置に配置された第二の光導波路を有する第二の基板と、前記第一の光導波路および前記第二の光導波路と光学的に結合させる第三の光導波路と、前記第三の光導波路を第一の基板に固定して第一の光導波路と接続させるための第一の接続部と、前記第三の光導波路を第二の基板に固定して第二の光導波路に接続させるための第二の接続部と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】 屈曲耐久性、捻回耐久性に優れるクラッド層形成用樹脂組成物、それを用いて作製した光導波路及び光モジュールを提供する。
【解決手段】 (A)エポキシ基含有アクリルゴム、(B)ウレタン(メタ)アクリレート、(C)分子中にウレタン結合を有しない(メタ)アクリレート及び(D)ラジカル重合開始剤を含む樹脂組成物で、該樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度が10℃から50℃の範囲内である、光導波路のクラッド層形成用樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】光導波路において、下部クラッド層中に残留する泡に起因する下部クラッド層およびコア溝の形成不良が生じ難い光導波路の製造方法およびそれに用いる型を提供する。
【解決手段】光導波路の製造方法は、ソフトリソグラフィーを利用し、コア溝とコア溝の両側に間隔を空けて略平行に併設されたスペーサ溝に対応する凸部を有する第2の型(凸型)を用いて、基板上に、コア溝とコア溝の両側に間隔を空けて略平行に併設されたスペーサ溝とを有する下部クラッド層を形成する。第2の型は、上記スペーサ溝対応凸部の長手方向に垂直な断面の形状が、スペーサ溝底面に対応する凸部の下端辺がスペーサ溝上端面に対応する凸部上端辺よりも短い逆台形状であり、少なくともコア溝対応凸部側のスペーサ溝対応凸部の辺が傾斜している。 (もっと読む)


【課題】光導波路のコア層またはクラッド層の膜厚を任意に制御できる光導波路形成用樹脂フィルム、およびこれを用いた光導波路、その製造方法並びに光電気複合配線板を提供する。
【解決手段】同一フィルム内に厚さが異なる部分を有する光導波路形成用樹脂フィルム、該光導波路形成用樹脂フィルムを用いて作製してなる光導波路、及び光導波路の製造方法、並びに該光導波路を、電気配線板に複合化した光電気複合配線板である。 (もっと読む)


【課題】屈曲耐久性に優れ、光損失の少ないフレキシブル光導波路を提供する。
【解決手段】下部クラッド層2、コア層6、上部クラッド層7が順に積層されてなるフレキシブル光導波路であって、中間部に屈曲部を有し、コア層6の厚さは端部より屈曲部が薄く、上部クラッド層7の厚さは端部より屈曲部が厚く、かつ、コア層6と上部クラッド層7の合計厚さが、端部より屈曲部が薄いことを特徴とするフレキシブル光導波路、並びに前記フレキシブル光導波路を、フレキシブル電気配線板に複合化した光電気複合配線板である。 (もっと読む)


【課題】屈曲耐久性に優れ、光損失の少ないフレキシブル光導波路を提供する。
【解決手段】下部クラッド層2、コア層6、上部クラッド層7が順に積層されてなるフレキシブル光導波路であって、コア層6が中間部より端部が厚く、かつ厚い部分から薄い部分にかけて傾斜を有し、上部クラッド層7がコア層6の傾斜面上で傾斜を有し、コア層6の傾斜角度が、上部クラッド層7の傾斜角度よりも大きいことを特徴とするフレキシブル光導波路、並びに前記フレキシブル光導波路を、フレキシブル電気配線板と複合化した光電気複合配線板である。 (もっと読む)


【課題】 コストの低減を図ることができる光導波構造体及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 クラッド2上にコア3が設けられてなるモジュール4の複数個が、分離可能に連設されている、光導波構造体1であって、前記複数個のモジュール4間に、前記分離用の切り込み6が線状に形成され、前記連設された複数個のモジュール4間の一部分が、前記分離用の切り込み6に沿って分離された、光導波構造体。 (もっと読む)


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