【課題】高性能でコンパクトな構成のマスク検査光源装置、及びそれを用いたマスク検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明の一態様に係るマスク検査装置１は、レーザ光源を備え、レーザ光源から出力されるレーザ光の波長を変換して、波長４００ｎｍ以下のレーザ光を出力し、かつ、４００ｎｍ以下のレーザ光の第二高調波を出力するマスク検査光源１００を備え、波長４００ｎｍ以下のレーザ光の第二高調波を検査用照明光として用いたものである。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、所定の位置にレーザ光を射出させることができ、高精度にレーザ光の走査を行うことが可能な走査型光学装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光を射出する光源装置１１と、光源装置１１から射出されるレーザ光を一方向に走査する第１走査手段２１と、該第１走査手段２１から射出されたレーザ光を一方向と異なる方向に走査する第２走査手段２６とを備え、第１走査手段２１及び第２走査手段２６のうち少なくとも第２走査手段２６は、内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化することによってレーザ光を走査し、電界を発生させる電極を有する電気光学素子であり、第１走査手段２１によるレーザ光の走査に伴って、電気光学素子の内部を進行するレーザ光の光路長が変化する構成とされ、該電気光学素子の電極に印加する電圧を光路長に応じて変化させる電圧制御部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】目標波長のレーザ光を安定して射出する。
【解決手段】波長変換部１６０がダイクロイックミラーなどの合波光学素子を介することなく配置された一組の波長変換素子１６７ｄ、１６７ｅをその最終段に有するので、合波光学素子の位置決め、及びレーザ光の照射による合波光学素子の劣化などを考慮する必要がない。従って、レーザ光源で発生されるレーザ光Ｌ１〜Ｌ４のパワーを高くしても、波長変換部１６０から目標波長のレーザ光を安定して射出することが可能となる。 （もっと読む）

単一または多数の量子スイッチが暗共鳴相互作用に用いられる量子スイッチに基づく光子ロジックゲートシステム、方法及び装置であって、波長が異なる三つの光が非縮退４光波混合法によって三つの基底状態及び一つ以上の励起状態からなる４段または５段非線形光媒質と相互作用する。この光子ロジックメカニズムは、共通の励起状態を介しての光学遷移による三つの密接に離隔した基底状態の間で単一または多数の暗共鳴由来の２光子コヒーレンススワッピングの組合せに基づく。基底状態で引き起こされた２光子コヒーレンスは非縮退４光波混合法によって光学的に検出される。非縮退４光波混合発生は、暗共振または電磁気による透明化によって強化される。本発明の光子ロジックゲート法のゲートタイム及び帯域幅は緩和時間またはキャリアの寿命によって制限されなく、位相減衰時間によって制限される。
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【課題】複数の電気光学素子を用いた場合でも、大きな偏角を得ることができるとともに、省電力化を図ることが可能な走査型光学装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光を射出する光源装置１１と、内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化することによって、光源装置１１から射出されるレーザ光を一方向に走査する第１電気光学素子２１及び該第１電気光学素子２１から射出されたレーザ光を一方向と異なる方向に走査する第２電気光学素子２６を有する光走査部２０と、第１電気光学素子２１と第２電気光学素子２６との間の光路上に設けられ第１電気光学素子２１から射出された光の偏光方向を回転させる偏光方向回転手段２５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 低電圧駆動の高速デジタル光スイッチを提供する。
【解決手段】 本発明のデジタル光スイッチは、ＫＴaＯ₃、ＫＮbＯ₃またはＫＴａ_1-xＮｂ_xＯ₃（０＜ｘ＜１）のいずれかの材料からなる基板上にＫ_1-yＬｉ_yＴａ_1-xＮｂ_xＯ₃（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）またはＫＴａ_1-xＮｂ_xＯ₃（０＜ｘ＜１）のいずれかの材料からなるコア導波路を配置する。コア導波路と比較して僅かに屈折率が低いＫ_1-yＬｉ_yＴａ_1-xＮｂ_xＯ₃（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）をクラッド層とした三次元光導波路の下部クラッド層の下方若しくは上部クラッド層上方の少なくとも一方に形成されたコア導波路に電界を与えるための電極を備える。三次元光導波路により構成され、送られてきた光信号を受け取るための入力端を有する第１の入力光導波路と、第１の入力導波路から分岐する第２の出力光導波路と第３の出力光導波路とを含み、第２の出力光導波路および第３の出力光導波路に電極を備えたＹ分岐型導波路とを備える。 （もっと読む）

【課題】 広い帯域で実質的にフラットな利得を提供することができるハイブリッドラマンＥＤＦＡを提供すること。
【解決手段】 ハイブリッドラマンＥＤＦＡではＣ帯域及びＬ帯域に亘って利得の均等化をなせる。該ＥＤＦＡは、ラマン利得を生成するラマン部と、ラマン利得を補償するＥＤＦＡ利得を生成するＥＤＦＡ部とを有する。ＥＤＦＡ部は、補償ＥＤＦＡ利得形状の生成のため、高反転の単一式ＥＤＦＡ部を有する。ＥＤＦＡ部は、吸収されないポンプパワーの受容のため、エルビウムファイバの後部にハイリターンの損失終端を有する。複数のハイブリッドラマンＥＤＦＡが伝送システムの一連の増幅器に接続される。伝送システムでは少なくとも１つの負分散ファイバの補償スパンに続く標準複合ファイバスパンを有する分散マップを設ける。該ＥＤＦＡのラマン部は、伝送システムの負分散ファイバに連結される。 （もっと読む）

【課題】
変換効率の偏波依存性のない位相共役光発生装置を提供する。
【解決手段】
信号光ビームを供給されてポンプ光を用いた四光波混合に基づいて位相共役光ビームを発生させる第１の非線形光学媒質と、該第１の非線形光学媒質にカスケード接続され第１の非線形光学媒質から出力された信号光ビーム、位相共役光ビーム及びポンプ光が供給される第２の非線形光学媒質とを備えた装置。 （もっと読む）

本発明は、例えば、ディジタルデータ送信に使用される、光信号の全光再生を可能にする可飽和吸収体受動部品、並びに再生方法及び再生を実施するデバイスに関する。本発明は、前記部品を製造するための方法及びシステムにも関する。本発明は、前記部品を製造する方法及びシステムにも関する。本発明は、リアミラーを称される第１のミラー（Ｍ１）と、入射信号側に位置する第２のミラー（Ｍ２）との間に形成される可飽和吸収共振キャビティ（Ｃ１）における反射によって動作する光信号を処理するための光学部品であって、前記第２のミラーの反射率が前記リアミラーの反射率以上である前記光学部品を提案する。第２の実施態様では、前記部品は第３のミラー（Ｍ３）を含み、そして、第３のミラー（Ｍ３）は、第２のキャビティ中に設定され、そして、高レベル及び低レベルの再生をモノリシックに実施する。
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【課題】光スイッチにおいて、電源オフ時に不必要な信号が出力されないようにする。
【解決手段】複数の入力チャネル光導波路４と、複数のコリメートレンズ５と、入力側光偏向素子２Ａと、スラブ光導波路７と、出力側光偏向素子３Ａと、複数の集光レンズ８と、複数の出力チャネル光導波路９とを備える光スイッチを、入力側及び出力側光偏向素子２Ａ，３Ａを駆動しない状態では、複数のコリメートレンズ５から出射されるコリメート光が出力チャネル光導波路９内へ伝搬させない領域に伝搬するように構成する。 （もっと読む）

誘電性媒質内に分布された部分的に結合された複数の光学的共振器（３０５、３１０）と、これら光学的共振器を通過した光（３２５）をブラッグ回折により回折するようにこれら光学的共振器内に音波を入射させるために誘電性媒質の表面に取り付けられている少なくとも１つの音響トランスデューサ（３１５）を有している音響光学モジュールが提供される。この音響光学モジュールは、特に、横波の音波が発生され、この音波がこの音響光学モジュールを通過する偏光された光信号とほぼ平行な方向にこの音響光学モジュールを通過する、改良された調整可能な光学フィルタに適用された。この音響光学モジュールは、また、改良された光学的周波数シフタに適用された。
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【課題】導波路型のレンズを使用することなく、かつ、構造が簡単な光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向部１６と、光偏向部に対して光を結合させるチャネル型導波路１４とを備え、光偏向部は、チャネル型導波路と光結合された結合面１６ｃと、光偏向部に結合された結合光Ｂ_２を平面導波路１２に出射する出射面１６ｂとを備える。そして、チャネル型導波路の延在方向に沿った第１直線Ｌ_１と、結合光の伝播方向に沿った第２直線Ｌ_２と、出射面の延在方向に沿った第３直線Ｌ_３とで囲まれる三角形Ｔｒ_１の、第２直線と第３直線とで挟まれた内角Θ_２が９０°以下の角度である。 （もっと読む）

（ｉ）原波長を中心とする光スペクトルを有するパルス光を発生するパルス光源、（ii）パルス光源に結合された非線形ラマン変換ファイバ、ここでパルス光は非線形ラマン変換ファイバを通過し、多段誘導ラマン散乱過程によって、最終次ストークス光に相当し、原波長より長い第１の出力波長を中心とする光スペクトルを有する、第１のパルス光出力に変換される、及び（iii）１５０〜７７５ｎｍの範囲内におかれた最終光波長の光出力を発生するように、第１のパルス光出力を受け取り、これをより高い光周波数に変換するための、非線形ラマン変換ファイバに動作可能な態様で結合された高調波発生器、を備えるレーザシステム。
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周波数変換レーザビームを生成するためのデバイスは、第１の端面と、該第１の端面の反対側の第２の端面とを有する非線形結晶を備えている。非線形結晶は、第１の端面で少なくとも１つの入力レーザビームを受け取り、第２の面に周波数変換ビームを出力するように構成されている。少なくとも１つの入力レーザビームのビームウェストは、周波数変換プロセスの間、第１の端面と第２の端面の間に配置される。デバイスは、さらに、非線形結晶の第２の端面に結合された第１の端面と、該第１の端面の反対側の第２の端面とを有する第２の結晶を備えている。第２の結晶の第１の端面における周波数変換ビームのビーム径は、第２の結晶の第２の端面における周波数変換ビームのビーム径より小さい。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ励起固体レーザにおいて、１個の半導体レーザを励起源として使用し、内部共振器型和周波混合をおこなうことにより波長が約４８８ｎｍのコヒーレント光を発生するレーザ装置や波長４８８ｎｍと波長５１５ｎｍの２つのコヒーレント光を同時に発生するレーザ装置を実現する。
【解決手段】第１反射鏡５と第２反射鏡１４によるレーザ共振器内に利得媒質としてＮｄ：ＹＡＰ結晶６、Ｙｂ：ＹＡＧ結晶７とを配置し半導体レーザ１で励起して波長９３０ｎｍ、及び波長１０３０ｎｍのレーザ発振を得る。レーザ共振器内に配置された非線形光学媒質である第１のＬＢＯ結晶９によって前記波長９３０ｎｍのレーザ光と波長１０３０ｎｍのレーザ光との和周波混合を行い、波長が約４８８ｎｍのコヒーレント光を発生する。また第２のＬＢＯ結晶１３によって波長１０３０ｎｍのレーザ光の第２高調波発生を行い波長５１５ｎｍのコヒーレント光も同時に発生する。 （もっと読む）

【課題】二次高調波発生（ＳＨＧ）過程と差周波発生（ＤＦＧ）過程とを分離した、擬似位相整合二次光非線形導波路を用いたパラメトリック波長変換器を提供する。
【解決手段】一実施形態の波長変換器１００は、基本波励起光源１０８からの基本波励起光を入力して、当該基本波励起光の二次高調波を出力する第１の擬似位相整合二次光非線形導波路１０２と、第１の擬似位相整合二次光非線形導波路から出力された基本波励起光の二次高調波と入力信号光とを合波して出力する光フィルタ合波器１０４と、光フィルタ合波器から出力される光を入力して、基本波励起光の波長領域の変換光を出力する第２の擬似位相整合二次光非線形導波路１０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】ラマン増幅を適用する際に特性の安定化が容易な光伝送のための方法及び装置を提供する。
【解決手段】光ファイバ伝送路が信号光をラマン増幅するように、異なる波長を有するポンプ光を出力する２台のレーザダイオードにより、光ファイバ伝送路をポンピングする。そして、それらのレーザダイオードによる増幅帯域にそれぞれ含まれる通過帯域を有する第１及び第２の光帯域通過フィルタを通過した信号光のパワーを検出することで、ラマン増幅における利得傾斜を検出し、その利得傾斜に従ってポンピングの程度を制御する。 （もっと読む）

【課題】反射光による発振器の破損を防止することが可能な光増幅器、それを用いたファイバレーザ、ＭＯ−ＰＡ方式の光増幅器における反射光除去方法の提供。
【解決手段】発振器と、光増幅用ファイバを有する増幅器とを結合してなるＭＯ−ＰＡ方式の光増幅器において、発振器と増幅器の間に、誘導ラマン散乱によって発振器側に向かう反射光の波長変換を行う反射光波長変換用ファイバと、波長変換された光を取り除くフィルタとが設けられたことを特徴とする光増幅器、この光増幅器を有するファイバレーザ。 （もっと読む）

【課題】 室温で動作することが可能な深紫外光を効率良く発生できるレーザ光源を提供することであり、また、この深紫外光レーザ光源により、高い欠陥検出感度を有する小型で安定したマスク検査装置及び露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 波長０．９０μｍ以上０．９２μｍ以下のレーザ光を出射する固体レーザと、前記固体レーザから取り出された波長０．９０μｍ以上０．９２μｍ以下のレーザ光の第４高調波を発生させる第４高調波発生部と、前記第４高調波発生部で発生した第４高調波と、波長１．３μｍ帯のレーザ光との和周波の光を発生させる和周波発生部とを備える深紫外光源。 （もっと読む）

【課題】 本発明は，光干渉による光スイッチシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】 光信号の入力部(2)と；メインマッハツェンダー導波路（ＭＺ_Ｃ）(7)と；前記第1のアーム(4)に設けられ，前記第1のアーム(4)を伝播する光信号の振幅を制御する第1の強度変調器(9)と；前記第2のアーム(5)に設けられ，前記第2のアーム(5)を伝播する光信号の振幅を制御する第2の強度変調器(10)と；を具備し，前記分岐部(3)又は前記合波部(6)のいずれか又は両方がＸ分岐とされている光スイッチシステム(1)である。
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