プロセスチャンバのコンポーネント上に形成されたプロセス堆積物が洗浄される。洗浄法においては、コンポーネント内のガスホールに機械的にピンを押し込み、その中のプロセス堆積物を洗浄する。その後、コンポーネントのセラミック部分を、フッ化水素酸や硝酸のような酸性溶液に晒す。酸洗浄プロセスステップの後、ガスホールのメカニカルピンニングを繰り返すことができる。その後、コンポーネントを、プラズマゾーンに非反応性ガスを導入するとともにプラズマゾーン内に非反応性ガスのプラズマを形成することによりプラズマゾーン内でプラズマ安定化させる。一変形例においては、コンポーネントは、電極を覆っているセラミックを備え且つその中にガスホールを有する静電チャックを備えている。 （もっと読む）

【目的】本発明の目的は、毛玉の基である綿ぼこりを酵素添加水により予洗しつつ除去し、繰り返し洗浄再生されるレンタル用繊維製清掃用品の繊維への毛玉の発生を大幅に少なくする洗浄方法を開発することである。
【構成】レンタル用繊維製清掃用品を洗浄再生する洗濯工程の最初の段階で当該清掃用品に捕集された綿ぼこりを分離除去するので、洗濯工程において綿ぼこりが当該清掃用品の繊維に絡み付くことが殆んどなく、その結果、洗浄再生されたレンタル用繊維製清掃用品の繊維に付着する毛玉の発生を大幅に少なくできる。本発明者等は、セルロース分解酵素の分解力に着目して、レンタル用繊維製清掃用品の洗浄再生工程のどの時点で、セルロース分解酵素を添加すればよいか実験を繰り返した。その結果、洗濯工程の最初の段階でセルロース分解酵素で予洗すれば、レンタル清掃用繊維製品の毛玉の発生を大幅に少なくできる。 （もっと読む）

本発明の対象は、アルミニウム合金の帯材、板材、または成形部材の表面処理方法であって、大気プラズマを使った表面準備および、少なくともＳｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｃｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｍｏ、またはＶの各元素のうちの一つを利用する化学変換処理を含む、アルミニウム合金の帯材、板材、または成形部材の表面に化学変換膜を形成するための表面処理方法である。本発明による表面処理は、先行技術の変換処理より時間がかからずまた経済的であり、そして、自動車のボディのために利用され、また接着または溶接によって組み立てられることを目的とした、アルミニウム合金の帯材および板材にとりわけ適用される。
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【課題】 バレル研磨とその後の洗浄処理とをまとめて一気に行うことのできる研磨洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】 処理対象物を収容したバレルＢＡ１〜ＢＡ３を、洗浄液に浸漬した状態で回転させて、処理対象物とメディアとを流動させる処理槽１〜３と、洗浄液に接触しない状態でバレルＢＡ１〜ＢＡ３を保持して回転させる空転機構ＲＴ（Ｈ）と、処理槽１〜３に接続された液タンクＴＫ１〜ＴＫ３と、液タンクＴＫ１〜ＴＫ３と各処理槽１〜３との間で洗浄液を循環させる循環機構とを備えている。各バレルＢＡ１〜ＢＡ３には、研磨屑が通過自在な貫通孔ＨＯが設けられているので研磨屑が有効に排出される。排出された研磨屑は、循環機構において捕捉される。 （もっと読む）

【課題】芳香族液晶ポリエステル含有液状組成物が付着した反応容器や、芳香族液晶ポリエステル含有液状組成物の濾過に使用したフィルターについて、加熱処理を要しないで、芳香族液晶ポリエステル、異物及びゲル化物などの芳香族液晶ポリエステル含有液状組成物を簡便に洗浄することのできる方法を提供する。
【解決手段】芳香族液晶ポリエステル含有液状組成物が付着した装置部材と、水に可溶であり芳香族液晶ポリエステルを溶解しない有機溶媒と、を接触させて該芳香族液晶ポリエステルを主成分とする薄膜を形成させ、次いで該薄膜にアルカリ金属水酸化物水溶液を接触させて、該装置部材と該薄膜との界面を剥離させることを特徴とする芳香族液晶ポリエステル含有液状組成物が付着した装置部材の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】 透光性板材収納用トレイと透光性板材との面接触を無くし画像に影響を与える欠陥の発生を低減することにある。
【解決手段】 上面に透光性板材６を収納するための凹部２を有する透光性板材収納用トレイ１において、凹部の底面３を外周部から中央部にかけて漸次深くした。 （もっと読む）

【課題】半導体装置用の基板の製造に用いる基板洗浄用ブラシのブラシ毛の絡み合いを防止し、洗浄能力の向上と、基板洗浄用ブラシの長寿命化図り、洗浄品質の向上による洗浄コストの削減をすることである。
【解決手段】基板洗浄用ブラシのブラシ毛を帯鋼のチャネル台座に芯金を介して挟みつけて製作するチャネルブラシを、円筒状のブラシシャフトの表面にコイル巻きの要領手順で、手前側から奥側へ順番に巻き付けるように取り付け、ブラシシャフトの表面をチャネルブラシで埋め尽くす基板洗浄用ブラシにおいて、隣り合うチャネル台座とチャネル台座との間の位置に柔軟な隔壁を設け、該柔軟な隔壁によって、隣り合うチャネルに植毛したブラシ毛の双方が絡まることを防止する基板洗浄用ブラシである。 （もっと読む）

【課題】 基板の吸着面を効率的に洗浄し、かつ安定した洗浄結果を得ることを可能とした貼合せ基板製造装置の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 基板を吸着保持する吸着面９ａを備えた処理室の内部に洗浄用治具を設置して、吸着面９ａを洗浄する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理後のポリマー残留物を基体、例えば電子装置から除去するために有用な組成物の提供。プラズマ処理後の残留物を除去する方法および組成物を用いた集積回路の製造法の提供。
【解決手段】本発明は、ａ）フッ化物イオン源；ｂ）水；ｃ）トリハロ酢酸、有機ポリカルボン酸化合物、有機ヒドロキシ−カルボン酸化合物およびアミノ酸から選択される有機酸化合物；ならびに任意にｄ）有機溶媒を含む組成物であって、４．５以下のｐＨを有する組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】 純水供給装置の新設あるいは修理の後に、配管内に残る微粒子を簡単な操作で効率よく排出できる純水供給配管の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 純水供給配管に過酸化水素水溶液を通水しつつ、過酸化水素水溶液中に過酸化水素分解酵素を添加することにある。過酸化水素分解酵素は、カタラーゼであることが好ましい。過酸化水素水溶液に過酸化水素分解酵素水溶液が注入されることにより過酸化水素が分解されて水中で非常に細かな気泡を発生し、この気泡により微粒子を運び出す作用を強めるのみならず、微粒子を管壁から剥離させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、研磨装置を用いて厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後に研磨装置からウエハー状態の圧電素板を効率良く回収するための作業手順を実現することを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、圧電素板の表面研磨に研磨装置を用いて、前記圧電素板の厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後の前記表面研磨装置から前記圧電素板を回収する圧電素板の処理方法において、前記厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後、前記圧電素板を専用トレーに回収する工程と、専用トレーを複数個まとめて格納する洗浄枠に収納し洗浄工程で洗浄する工程と、前記洗浄処理後乾燥工程で乾燥する工程を一貫して処理することにより課題を解決する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１種の界面活性剤を含む水−二酸化炭素系から界面活性剤を回収する方法であって、該水−二酸化炭素系を脱水剤と接触させて水を除き、界面活性剤を回収する方法に関する。また、本発明は、二酸化炭素、二酸化炭素と相溶性を有する界面活性剤及び／又は助溶媒、並びに除去対象物を含む混合系を循環させる循環ライン中に該除去対象物の選択的除去装置を設け、該混合系を循環させて、前記界面活性剤及び／又は助溶媒に取り込まれた該除去対象物を選択的に除去することを特徴とする方法に関する。
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【課題】マスク洗浄方法を提供する。
【解決手段】マスクに付着された物質にレーザビームを照射するステップと、マスクに付着された物質を除去するステップと、を含むことを特徴とするマスク洗浄方法である。これにより、マスクに付着された物質を迅速かつ効率的に除去できる。また、マスクに付着された物質を除去するステップは、マスクを超純水に浸漬するステップと、マスクを有機溶剤に浸漬するステップと、を含むものであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ピッチングの発生しない、光沢の優れた白肌のステンレス鋼を製造するためのコイル状ステンレス鋼線材の脱スケール方法を提供すること。
【解決手段】予めそのコイル状のステンレス鋼線材をコイル形状に保ったままショットブラストをかけてステンレス鋼線材の表面のスケール層を完全に除去することなく５〜１０μｍの範囲の厚み幅に制御してスケールを残存させ、しかる後に酸洗処理を行う。例えば酸洗処理は、第一の酸洗処理とソルト処理及び第二の酸洗処理とからなり、酸洗液として弗酸と硫酸を含有し、酸濃度が２０〜２５重量％の範囲にある比較的高濃度の酸液と酸濃度が５〜１５重量％の範囲にある比較的低濃度の酸液のうち選択された１種又は２種の酸洗液を用いてそれぞれ１段階又は２段階処理する。 （もっと読む）

【課題】 処理槽の上部空間の雰囲気を排気したときに、排気管内に塩が蓄積することを防止してパーティクル発生の原因を取り除くことができる装置を提供する。
【解決手段】 上部に開口を有し処理液を貯留する処理槽１０、処理槽１０内で基板Ｗを保持するリフタ１８、処理槽１０内へ処理液を供給する手段、処理槽１０の上部開口の上方に設けられた排気口３０に連通接続された排気管３２を通して処理槽１０の上部開口上の雰囲気を排気する排気手段、および、排気管３２の途中に連通接続された純水供給管３４を通して排気管３２内へ洗浄用純水を供給する純水供給手段を備えた。 （もっと読む）

【構成】この発明は、界面活性剤及び／または粘稠剤を含む液剤を、発泡状態で噴射することができる容器からコンタクトレンズに噴射し、手指洗浄する方法であって、手指洗浄中の所定時間経過後に泡が消失することにより、使用者が洗浄完了を認識できることを特徴とする。
【効果】本発明による洗浄方法に従ってレンズを洗浄すれば、手指洗浄の効果を最大限に発揮させることができ、レンズの洗浄不足や、過洗浄によるレンズ表面の傷などの発生を抑えた快適なレンズの装用サイクルを提供することができる。また、本発明の方法によれば、使用者による洗浄操作という、通常コントロールすることができない工程をある程度一定に制御することができるため、従来の浸漬洗浄法に比較して界面活性剤濃度を適切な範囲で使用することができ、より眼に安全で、快適なレンズの処理液剤を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 磁性研磨スラリーを用いた局所研磨を基板に施しても、磁性研磨スラリーの残留による凸欠陥や、次工程への磁性研磨スラリーの持込みによる凹欠陥の発生を防止する。
【解決手段】 鉄を含む磁性流体２１中に研磨砥粒を含有させた磁性研磨スラリー２を用いて、マスクブランクス用基板１の表面を研磨した後、塩酸を含む洗浄液６を用いて、マスクブランクス用基板１の表面を洗浄する方法としてある。 （もっと読む）

【課題】 配管、特に浴湯が循環する配管の内側に付着堆積したレジオネラ属菌の温床となる生物膜やスケール等の汚れを効率よく除去する洗浄方法を提供する。
【解決手段】 配管の内側を過硫酸塩又は過硫酸塩と界面活性剤を含有する水溶液に接触させた後、過硫酸塩、界面活性剤及び過炭酸アルカリ塩を含有する水溶液に接触させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、簡易な方法且つ漏れなくびん内残液を検出することができるびん内残液検出装置を提供することである。
【解決手段】 本発明のびん内残液検出装置１は、回収したビールびん２を洗浄するびん洗浄部３と、洗浄が終了したビールびん２の口部２ａを下にしてビールびん２内の水切りを行なう水切り部５とを備え、水切り部５はビールびん２内の残液を検知する液検知センサ２１を備え、液検知センサ２１がビールびん２内の液体を検知するようにしている。 （もっと読む）

【課題】コンクリート等の多孔質体に付着・浸透している油類を、大掛かりな工事を必要とすることなく効率的に除去すること。
【解決手段】油類が付着・浸透しているコンクリート等の多孔質体表面に吸着部材を敷き詰める工程と、前記多孔質体表面に敷き詰めた吸着部材の全域に溶剤もしくは水等を注ぐ工程と、前記溶剤等を注いだ吸着部材をシート部材により被覆した状態で所定時間放置し、前記溶剤等により溶解されて多孔質体表面に滲出する油類を吸着部材に吸着する工程と、所定時間経過後、シート部材による吸着部材の被覆状態を解除するとともに、前記油類を吸着した吸着部材を多孔質体表面から撤去する工程と、前記吸着部材を撤去した多孔質体表面をウエス等を用いて拭き取り・乾燥し、前記多孔質体表面への油類の滲出の有無を確認する工程からなる油類の除去方法により、多孔質体から油類を除去するようにした。 （もっと読む）