この発明は、金属連続体（１）、特に普通鋼又はステンレス鋼から成る熱間圧延された鋼帯のデスケーリング及び／又はクリーニングを行う方法及び装置に関する。その方法としては、移送方向（Ｒ）に向かって装置（２）を通して金属連続体（１）を移送し、装置内で、金属連続体にプラズマ・デスケーリング及び／又はプラズマ・クリーニングを施すものである。この発明では、金属連続体のデスケーリング又はクリーニングの結果を改善するために、金属連続体（１）は、移送方向（Ｒ）に対して、プラズマ・デスケーリング及び／又はプラズマ・クリーニング装置（２）の前に、金属連続体（１）に高い度合いの平坦性を付与する処理を施されるものと規定する。
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【課題】切削加工又は研削加工によって得られた部品から効率的に切り屑、油、洗浄液等が除去される洗浄装置２の提供。
【解決手段】洗浄装置２は、圧力容器６、架台８及び案内板１０を備えている。圧力容器６は、本体１２及び蓋体１４を備えてる。本体１２は、注入口１６及び排出口１８を備えている。注入口１６は、逆止弁２０及び配管２２を通じて、コンプレッサー４と連結されている。排出口１８には、仕切り弁２４が装着されている。架台８は、圧力容器６に収納されている。架台８は、ネット状である。案内板１０は、圧力容器６に収納されている。案内板１０は、傾斜している。架台８には、バスケット２８が載置されている。このバスケット２８には、切削加工又は研削加工で得られた多数の部品が収納されている。 （もっと読む）

【課題】 大型空調ダクトの内面を清掃する自走型のダクト清掃ロボットを提供する。
【解決手段】主要構成部は、ダクト底板１を自走する走行台車機構部１０と、その上部に搭載した昇降機構部２０と、その昇降機構部２０の上部に配置したリフターの上部構造体６０と、２つの回転ブラシ１０１、１０２を取り付けた清掃ヘッド機構部１００と、上部構造体６０に対して、清掃ヘッド機構部１００を３６０°回動可能にする回動機構部１７０で構成する。各機構部にはそれぞれテレビカメラ１５０、１５２、１５４、１５５と照明用ライト１６０、１６２、１６３、１６５を備えている。走行台車機構部１０でダクト内を走行させることと、昇降機構部２０で高さ方向の清掃範囲を広げることと、回動機構部１７０で回転ブラシ１０１、１０２をダクト横壁や天板をに向けて、清掃ヘッド機構部１００を回動させることから成る多層構造により、矩形ダクトの内面を確実に清掃できる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの基板（３）、特にガラス基板をコーティングするために用いられる少なくとも１つのプロセスチャンバー（７）をクリーニングする方法および装置に関する。この発明によれば、少なくとも１つのプロセスチャンバー（７）は、コーティングプロセスの前に、調整パージガス（１５）によって洗い流される。 （もっと読む）

処理中にコンポーネント(200,300)の状態をモニタリングする方法およびシステム。本方法は、処理中にコンポーネントを反応ガス(エロージョン生成物発生のためコンポーネント材をエッチングできる)に曝露することと、コンポーネントの状態を判定するため処理中にエロージョン生成物の放出をモニタリングすることを含む。モニターできる処理はチャンバークリーニング、同コンディショニング、基板エッチングおよび薄膜形成処理を含む。コンポーネントは、チューブ(25)、シールド、リング、バッフル、インジェクター、基板ホルダー(35,12)、ライナー、ペデスタル、キャップカバー、電極およびヒーター(15,20,65,70,122)等消耗部品でもよく、それらは保護コーティングを有していてもよい。処理システム(1,100)は、処理チャンバー(10,102)内のコンポーネント、ガス噴射システム(94,102)、チャンバー保護システム(92,108)およびコントローラ(90,124)を含む。
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