【課題】専用の設備を要せずともプラスチック廃材の再利用化の工程を利用して簡易な構成でプラスチック廃材の洗浄が可能なプラスチック廃材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】亜臨界水または超臨界水によるプラスチック廃材の分解処理後に水およびこれに溶解する樹脂成分から固液分離した無機物を主成分とし水分を含有する固形物を乾燥および粉砕して無機物を回収する際に、固形物を熱風により乾燥して固形物が含有する水分を水蒸気として除去する熱風乾燥器５の下流における水蒸気を含む熱風のラインに設けた洗浄槽１０に、再利用に供する別途のプラスチック廃材を投入し、洗浄槽１０内のプラスチック廃材に水蒸気を含む熱風を接触させてプラスチック廃材を洗浄することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の洗浄液に被洗浄物を浸漬して、洗浄槽内の減圧と復圧とにより被洗浄物の洗浄を図る洗浄方法において、被洗浄物が管状部を有していても、その管状部内の洗浄を効果的に図る。
【解決手段】被洗浄物４は、管状部３の一端に洗浄補助具１を設けて、洗浄を図られる。洗浄補助具１は、洗浄槽８内の減圧時に洗浄液の沸騰による蒸気を溜める一方、洗浄槽８内の復圧時に前記蒸気の凝縮により、管状部３を介して洗浄液の流入を受ける。洗浄槽８内の減圧と復圧とにより、被洗浄物４の管状部３に洗浄液が流通するので、被洗浄物４の管状部３内は効果的に洗浄される。 （もっと読む）

【課題】 電子機器の基板製造における紫外線洗浄では紫外線照射時間の経過とともに被処理基板が加熱され電子部品の耐熱温度を超えてしまう問題がある。
【解決手段】 設定した洗浄処理時間と被処理基板に搭載される複数の部品の温度を測定し、各々の部品に対し上限温度、下限温度を設定することにより、複数部品の中で最も早く上限温度に到達した信号に対し低圧水銀ランプへの電力供給をオフにし、全ての部品温度が下限温度以下になった場合、低圧水銀ランプへの電力供給をオンにし、部品の耐熱温度を超えないよう所定の洗浄処理時間を満たすまで上記処理を自動で繰り返すことで、熱容量や光エネルギーの吸収率の違いにより各部品の温度上昇傾向が不明であっても、紫外線照射条件を設定することなく電子部品等の故障を起こさず最小の洗浄回数で自動処理が可能となる。 （もっと読む）

【課題】表面処理装置において、被処理物の表面上での処理ガスの流れを調節する。
【解決手段】被処理物９を支持部２１にて処理領域に配置して支持する。第１処理ガス供給系６０Ａにて、処理ガスを被処理物９の相対的に内側の部分に供給する。第２処理ガス供給系６０Ｂにて、処理ガスを被処理物９の相対的に外周側の部分に供給する。第１処理ガス供給系６０Ａの処理ガスの供給流量と第２処理ガス供給系６０Ｂの処理ガスの供給流量を互いに連関させて調節する。好ましくは、第１処理ガス供給系６０Ａの供給流量を第２処理ガス供給系６０Ｂの供給流量より大きくする。 （もっと読む）

【課題】従来加工基板上の粉塵を除塵する方法として高圧エアーをスリット状のノズルから加工基板に噴射させ、ブロアーの負圧により吸い込む方法がとられていたが、このエアーのみ吹き付ける方法では基板上に付着した１ミクロン以下の微細な粒子や基板に付着した汚れを除去することができなかった。
【解決手段】加工基板上に近接するように設置された内部をブロアー等により負圧にした負圧ボックス内の負圧により発生する基板又はシート上の粉体の流れにより基板上の１ミクロン以下の微細な粉塵や基板に付着した汚れを除去することが可能となった。 （もっと読む）

【課題】加工処理されたフィルム基板に対する洗浄を迅速かつ確実に行い、最終製品の品質を向上させるとともに、生産リードタイムの短縮化を図ることが可能なフィルム基板の洗浄装置及び洗浄方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、加工処理されたフィルム基板２に付着している加工残渣を除去する洗浄装置１において、フィルム基板２を巻回した巻出しロール３よりフィルム基板２を巻出す巻出し部４と、巻出し部４から巻出されたフィルム基板２の両面を洗浄ロール５，６に押し付けながら洗浄する第１の洗浄部７と、第１の洗浄部７から巻出されたフィルム基板２の両面を粘着ロール８，９に押し付けながら洗浄する第２の洗浄部１０と、第２の洗浄部１０から巻出されたフィルム基板２を巻取りロール１１に巻取る巻取り部１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】異物を除去するためのレーザ光照射装置及び受光装置を利用して基板の位置合わせを行い、基板に対して適正な後処理を施すことができる異物除去方法を提供する。
【解決手段】異物除去装置に設けられた異物を除去するためのレーザ光照射部３４からステージ３３に載置されて回転するウエハＷの端部にずれ測定用のレーザ光を照射し、照射したレーザ光のうちウエハＷの端部に遮られたレーザ光を除く残りのレーザ光をパワーメータ３５で受光してレーザ光の出力を検出し、回転するウエハＷの回転角を検出し、検出したレーザ光の出力データと回転角データとに基づいてウエハＷのずれ量を算出し、算出したずれ量に基づいてウエハＷのずれを補正し、その後、ウエハＷの端部にレーザ光照射部３４から洗浄用のレーザ光を照射すると共に異物と反応する処理ガスを噴射してウエハＷに付着した異物を分解、除去する。 （もっと読む）

吸気口（１）と、排気口（２）と、吸気口（１）と排気口（２）の間にある空気誘導部とを備え、空気誘導部に少なくとも１つの反応表面部材（３）が設けられ、空気誘導部に少なくとも１つの紫外線光源（４）が配置され、反応表面部材が空気誘導部のほぼ全体に配置される、特に車両用の空気清浄システムを提案する。
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【課題】被処理物を表面処理する処理槽から処理ガスが漏れるのを防止し、かつ処理空間での処理ガスの流れを安定化する。
【解決手段】被処理物９を搬送手段２０によって搬入開口１３から処理槽１０の内部に搬入し、処理空間１９に配置する。供給系３０から処理ガスを処理空間１９に供給し、被処理物９を表面処理する。その後、被処理物９を搬出開口１４から搬出する。排気系４０で処理槽１０の内部からガスを排出する。このガス排出によって外部のガスが開口１３，１４を通して処理槽１０の内部に流入する。この流入ガスの平均流速が、０．１ｍ／ｓｅｃ以上、かつ流入ガスが処理空間１９に達する大きさ未満になるよう設定する。 （もっと読む）

【課題】表面処理用の処理槽に設けた、被処理物の出し入れ用の開口でのガスの流れを安定させる。
【解決手段】被処理物９を搬送方向に沿って搬入開口１３から処理槽１０の内部に搬入し、処理空間１９に配置する。供給系３０から処理ガスを処理空間１９に供給し、被処理物９を表面処理する。その後、被処理物９を搬出開口１４から搬出する。排気系４０で処理槽１０の内部からガスを排出する。開口１３，１４を、互いに上記搬送方向と直交する対向方向に対向距離Ｄを隔てて対向する一対の整流面１７，１８によって画成する。開口１３，１４の上記搬送方向に沿う奥行きＬを、対向距離Ｄの２倍以上とし、好ましくは６倍以上とする。 （もっと読む）

【課題】 加工機の加工室で発生する粉塵等を効率良く機外に排出し、飛散防止用カバーで囲まれた空間内における粉塵等の除去残りを削減する。
【解決手段】 加工機１の加工室を粉塵等の飛散防止用カバー１０で覆い、飛散防止用カバー１０内の４隅角部に配設され４本の吹き出し部１１，１２，１３，１４にそれぞれ圧縮空気を送り込み、３本の吹き出し部１１，１２，１４から各壁面に沿って吹き出させ、渦流Ｇを発生させ、この渦流Ｇに粉塵等を巻き込ませ、後壁面１４に設けた排出口３２から機外へ排出する。吹き出し部１３のみは中央側へ向けて吹き出させ、渦流Ｇを速やかに排出口３２へ向かわせるようにする。 （もっと読む）

【課題】異物を溜めずに確実に除去することができ、コスト低減を図ることができる異物除去装置及び異物除去方法を提供する。
【解決手段】本発明の異物除去装置１０は、ワークに付着している異物をエアブローによって除去するもので、ワークを入れて異物を除去するためのワークスペース１３を備えている。また、ワークスペース１３の上部側に設けられ、ワークスペース１３に向けてエアを吹き付ける給気ダクト２０と、ワークスペース１３の下部側に連設された渦巻スペース１６とを備えている。また、渦巻スペース１６を形成する傾斜面に対して所定角度で配置され、ワークを取り出した後に、高圧エアを傾斜面に向けて噴射し、該傾斜面に当たってトルネードＴを発生させるエアノズル１５を備えている。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理時に外方に飛散する洗浄液によるミストの発生を抑制し、基板への再付着の防止を図れるようにした基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハＷを水平に保持し、鉛直軸回りに回転するスピンチャック２０と、鉛直軸回りに回転可能な洗浄部材３０と、洗浄部材を鉛直軸回りに回転するサーボモータ３９と、洗浄部材をウエハの被洗浄面に沿って移動させる移動機構６３と、を具備する基板洗浄装置において、洗浄部材は、ベース部３２にスポンジ状の洗浄基部３１を接合してなり、ベース部及び洗浄基部の中心部に、洗浄液供給源に接続する吐出口３３を設け、洗浄基部の表面に、基端が洗浄液吐出口に連通すると共に、先端が洗浄部材の外周縁部手前まで延びる複数の連通溝３５を設け、ベース部における連通溝が位置する部位に、連通溝と連通する排出孔３６を設ける。 （もっと読む）

【課題】摩耗粉を除去して電極リング間の絶縁抵抗の劣化を防止し、摩耗粉の発生量を人がモニタ可能なスリップリングを提供する。
【解決手段】外筒体と、この外筒体内に設けられ、それぞれ絶縁体１４を介して外筒体の軸方向に積層配置された複数段の電極リング１２、１３から成り、この軸周りに回転駆動される電極リング部４と、この電極リング部４に圧接保持された導電性のブラシ５と、電極リング部４の胴部外周部の近傍に吸い込み口６，９を有し、このブラシ５と電極リング部４との摺動によって発生する摩耗粉をこれら吸い込み口６，９より吸引して除去する摩耗粉吸引除去手段と、を備え、この摩耗粉吸引除去手段は、電極リング部４が回転を開始したときに吸引動作を行う。 （もっと読む）

【課題】液体容器の容器本体内部を短時間で効率よく確実に洗浄できる容器洗浄装置を提供すること。
【解決手段】保護用函体１内にプラスチック製の液体取出口２ｏ付き容器本体２を収納してなる液体容器３の容器本体２内部を洗浄する容器洗浄装置であって、 作業床部６と左右側壁部７，８と後側壁部９と天井部１０と前面側出入口１１とからなるクリーンブース４を設け、作業床部６には、床部６上面から垂直上向きに所要高さ突出して先端ノズルヘッド１５ａからイオンを含む清浄なエアを噴射させる静電ブローノズル１５を設けると共に、このノズル１５を囲繞して床部６上面に近い位置でノズル１５周囲に環状の吸引排出口１６ａを形成する洗浄済みエア吸引排出管１６を設け、クリーンブース４内の上部側にはイオン放出口１２ａ及び清浄エア放出口１３ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】家電機器に付着した塵埃を、簡易な設備で、かつ効率的に除去する除塵装置、を提供する。
【解決手段】除塵装置１０は、リサイクルのため解体される家電機器から塵埃を除去する。除塵装置１０は、圧縮エアを発生するコンプレッサ５１と、タンク３６と、家電機器にエアを噴射するエア噴射部３０とを備える。タンク３６は、コンプレッサ５１から供給されたエアを一時的に貯留し、昇圧する。エア噴射部３０は、タンク３６から家電機器に向かうエア流路３４を開閉制御するバルブ３３を有する。 （もっと読む）

【課題】作業性の良いトナー清掃用チャンバー及び清掃方法を提供する。
【解決手段】整流板２０に沿って空気は流れるので、第１チャンバー部１０の上部空間で空気が舞ったり、作業者Ｓ（前方の開口１２側）に舞い戻る空気の流れが発生しない。また、内側壁面２２に半球状の山２２Ａと半球状の谷２２Ｂとが形成されているので、乱流を消す整流効果（エアロダイナミクス）が生まれ、空気がスムーズに流れる。よって、作業性の良いトナー清掃用チャンバー１００となっている。 （もっと読む）

【課題】被処理物の表面に到達する紫外光の強度の低下を抑制しつつ、被処理物の表面における静電気の発生を抑制することのできる紫外光照射処理装置を提供する。
【解決手段】搬送される被処理物Ｗに紫外線ランプ３２を備えたランプハウス３０からの紫外光を照射することで被処理物Ｗの表面の洗浄を行う紫外光照射処理装置２０であって、被処理物Ｗの周囲に不活性ガス及び電子親和性分子を混合した混合ガスを供給するガス供給ダクト３７を備えることを特徴とする。前記混合ガス中における前記電子親和性分子の濃度は、１．０％以上６．０％以下であることが好ましい。前記不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。前記電子親和性分子は、酸素分子であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物（パレット）を短時間で効率的に洗浄し、クリーンルーム内での塵埃による汚染を防止するとともに、精密機器の生産効率の向上を図ることができる自動パレット洗浄装置を提供する。
【解決手段】自動パレット洗浄装置１は、パレットＰを洗浄装置本体１０内に搬送する搬送コンベア１１と、搬送コンベア１１により搬送されたパレットＰに対してエアーを噴出し、エアーによりパレットＰに付着した塵埃を除去し洗浄するエアー噴出ノズル２１と、洗浄装置本体１０内を負圧状態とし、エアー噴出ノズル２１によってパレットＰから除去された塵埃を吸引するエアー吸引装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】排気によるエネルギー損失をできる限り小さく抑えることのできる、ボトルあるいは容器用の洗浄機を提供すること。
【解決手段】処理中にアルミニウム、アルミニウム合金等の金属と化学反応して水素を発生する液状の洗浄媒体を用いてボトル等の容器２を洗浄する洗浄機であって、当該洗浄機の通気のため、及び水素を含む排気である空気を当該洗浄機から少なくとも１つの出口８．１を介して除去するための少なくとも１つの通気装置８を備えて成る前記洗浄機において、少なくとも前記排気に含まれる水素のエネルギーを利用するための装置を、少なくとも１つの前記出口８．１に接続した。
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