【課題】ガラス板表面への洗浄液の飛散を防止しつつ、ガラス粉の如き端面に強力に付着した異物を確実に除去する。
【解決手段】ガラス板端面洗浄装置１は、ガラス板２の端面２ａに回転を伴って当接させ、端面２ａの洗浄を行う洗浄ローラ３と、洗浄ローラ３を端面２ａに当接可能に移動させる移動手段と、洗浄液を供給する洗浄液供給手段５とを備えており、洗浄ローラ３はその外周にスポンジ部９を有し、移動手段により端面２ａに密着可能に移動するように構成されている。また、洗浄液供給手段５は、洗浄液をスポンジ部９に向けて供給可能に配設されている。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の容積を小型化するとともに洗浄媒体を洗浄槽に滞留させることなく飛翔させて表面が複雑な形状をした洗浄対象物でも効率良く洗浄する。
【解決手段】洗浄対象物４を保持した保持部３を洗浄槽ユニット２の外側に配置して洗浄槽ユニット２の洗浄槽６を小型化する。洗浄槽ユニット２は洗浄槽本体９の開口部の外縁に設けられたプール部材１９で保持部３を保持して一定間隙２２で吸引気流１７の流入路を形成する。洗浄槽６内の空気を洗浄槽本体９に接続された吸引装置１６で吸引してプール部材１９と保持部３の間隙２２に洗浄槽６に向かう吸引気流１７を発生させ、洗浄媒体６を洗浄槽６内に回収して、飛翔した洗浄媒体６が洗浄槽６外に漏れることを防ぐとともに洗浄媒体６を有効に利用して洗浄効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】不活性ガスの使用量を低減して被照射物の洗浄及び表面改質のコスト削減可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線を放射する光源２と光透過窓３とを有するランプハウス４と、光透過窓３と被照射物Ｐとの間の空間Ｓに少なくとも不活性ガスと酸素とが含まれる混合ガスを導入するためのガス導入手段５とを備え、ランプハウス４は、不活性ガスを導入するためのガス導入口７と、不活性ガスを排出するためのガス排出口８とを有しており、ガス排出口８から排出された不活性ガスをガス導入手段５に送る回送流路６が備えられていることを特徴とする紫外線照射装置１。 （もっと読む）

【課題】 紙の抄造に用いられるドライヤカンバス等の被洗浄物に洗浄媒体を吹き付けて洗浄する際に、被洗浄物で反射した洗浄媒体を吸引するための吸引フードの内壁面に該洗浄媒体が付着することがなく、したがって、洗浄媒体が被洗浄物に落下してしまうことのない洗浄装置を提供する。
【解決手段】 吸引フード２内に収容された洗浄ノズル８（図４）から高圧洗浄水をドライヤカンバスＣに向けて噴射し、反射した洗浄水を吸引フード２から吸引して回収する。吸引フード２の下端外周面にチャンバー部４を設け、このチャンバー部４の外壁の端部に吸引フード２の下端部と間隙Ｇを形成して該下端部を臨む位置まで伸張させた爪部10bを設け、該間隙Ｇから高圧空気を噴射する。吸引フード２の下端縁の形状を円弧状に形成して、噴射された高圧空気をコアンダ効果により吸引フード２の内壁面に沿って上昇させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理部への大気の侵入を防止することができ、安定してプラズマを発生させることができ、処理ガスの使用量を削減することが可能であり、さらに、処理ガスや処理によって生成されるガスの流出を防止することができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】被処理基材の搬入口および搬出口と排気口とを有する筐体と、前記筐体内に設けられプラズマを発生させて前記被処理基材を処理するプラズマ処理部と、前記搬入口とプラズマ処理部とを接続する搬入路と、プラズマ処理部と前記搬出口とを接続する搬出路と、前記被処理基材を前記搬入路と搬出路を通って搬送する搬送部と、前記搬入口からプラズマ処理部に渡るように前記搬入路に露出する第1通気板と、プラズマ処理部から前記搬出口に渡るように前記搬出路に露出する第2通気板と、前記搬入路および搬出路の気体を第1および第2通気板を介して吸引し前記排気口から排気する吸引排気部とを備え、第1および第2通気板がそれぞれ複数の通気口を備える。 （もっと読む）

【課題】 湿潤状態のまま投入される円柱状造粒品を球形とする球形整粒機は、整粒円板の上面の凹凸が、特に外周部において詰まり易い。そこで、整粒円板に付着した湿粉を、迅速かつ確実に除去する。
【解決手段】 洗浄装置３２は、回転する整粒円板１７の外周部の一部に被さるカバー３３を備える。このカバー３３には、ノズル３９が設けられており、このノズル３９は、カバー３３が被せられた洗浄対象面へ流体を噴射させる。カバー３３が洗浄対象面との間で形成する空間内の流体は、真空接続口３６から外部へ吸引排出される。 （もっと読む）

【課題】高い処理能力を備えることができ、処理ガスの使用量を削減できるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置は、被処理基材の搬入口および搬出口を有する筐体と、前記筐体内に設けられプラズマを発生させて前記被処理基材を処理するプラズマ処理部と、前記搬入口とプラズマ処理部とを接続する搬入路と、プラズマ処理部と前記搬出口とを接続する搬出路と、前記被処理基材を前記搬入路と搬出路を通って搬送する搬送部と、前記搬入路および搬出路の少なくとも一方に吸引口が露出しプラズマ処理部から気体を吸引する吸引部と、プラズマ処理部に設けられ前記被処理基材の搬送方向に沿って配列された複数対の対向電極と、プラズマ処理部に設けられ処理ガスを各対向電極間へ供給する処理ガス吹き出し部と、処理ガス吹き出し部の処理ガス供給量を設定する設定部とを備え、前記設定部は前記吸引口に近い処理ガス吹き出し部ほど処理ガス供給量が少なくなるように処理ガス供給量を設定する。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の洗浄液ミストを効率良く排気し、且つ、洗浄槽のメンテナンススペースを十分確保できる洗浄槽排気装置を提供することにある。
【解決手段】洗浄槽排気装置は、１つ以上の洗浄槽１０−１、２を覆う各上蓋２０−１、２と、洗浄液のミスト６６を誘導する集合ダクト３０と、洗浄液のミスト６６を吸引、排気する吸引排気部４０とを具備し、各上蓋２０−１、２は、それぞれ中空箱型の構造を成し、各上蓋２０−１、２の下面は複数の吸気口２２を有し、側面の１つは集合ダクトと接続される通気口２４を有し、集合ダクト３０は、各上蓋２０−１、２の通気口２４と接続される１つ以上のダクト入口３２と、吸引排気部４０に接続されるダクト出口３４とを有する。 （もっと読む）

【課題】エラストマー物品の必要な洗浄に付随するコストを減少させる。
【解決手段】エラストマー物品の処理方法は、ハウジングの内部の物品支持場所に配置されたエラストマー物品と接触するようにガス状洗剤のガス流を送るステップより成る。ガス状洗剤は、粒状汚染物質をエラストマー物品から脱離させ、エラストマー物品を通過するガス流中に粒状汚染物質が同伴されるように作動可能である。ガス状洗剤の供給源は、ハウジングの内部に流入する蒸発した洗剤の噴霧源と、ハウジングの内部において物品支持場所に近接配置され、弱イオン化プラズマを物体支持場所に隣接する周囲雰囲気中に発生させる弱イオン化プラズマ源とより成る。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ効率的で、金型や固定治具等の被洗浄部材に対するダメージが少ない、被洗浄部材の洗浄方法等を提供する。
【解決手段】光学素子製造装置から光学材料成分が付着した被洗浄部材４１を取り出す工程と、取り出された被洗浄部材４１を、光学材料成分を除去する洗浄装置４０に設置する工程と、洗浄装置４０にて、設置された被洗浄部材４１の周囲環境に所定のガスを導入する工程と、導入された所定のガスに高周波電圧を印加してプラズマ化し、被洗浄部材４１の表面をプラズマ化されたガスに晒し、光学材料成分をハロゲン化物にして気化させ除去する工程と、を含む被洗浄部材４１の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】廃液処理の問題がなく設備費などを抑えながら、清浄効率や効果に優れた表面清浄化方法及び装置を提供する。
【解決手段】水中燃焼による表面清浄化方法であり、被洗浄物を保持しかつ被洗浄物表面を冠水ないしは水中に浸すとともに、燃焼炎を被洗浄物表面に該表面上の水を排除しながら照射し、該燃焼炎及び該燃焼炎にて発生する活性種に被洗浄物表面を曝すことにより該被洗浄物表面の汚染物を除去するようにした。また、前記燃焼炎は、保炎器を介して前記被洗浄物側へ照射されるとともに、前記被洗浄物が所定温度となるよう制御されることが好ましい。 （もっと読む）

検査流体及び／又は点検流体をそれぞれの容器に導入し、容器用の輸送路に配置された検査ステーションにより、容器の内部空間で生成され得るガス状及び／又は蒸気状の反応生成物を分析することによって、瓶又は同様の容器を検査するための装置において、輸送路の輸送方向で、前後に並べて、少なくともガス状及び／又は蒸気状の発生生成物を分析するための少なくとも２つの検査ステーションが設けられる。
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【課題】水処理設備を要することなく、かつブラストを効率よく行うことができる、特に除染作業に好適なブラスト装置及びその運転方法を提供する。
【解決手段】本発明のブラスト装置１０は、ホース２６の基端部側で炭酸カルシウム粉体と液体とをブラスト媒体供給装置３０によってミキシングし、ミキシングしたブラスト媒体と液体との混合媒体２０を、圧縮エアでホース２６中を空気輸送させ、ホース２６の先端のノズル２４から素地面１４に向けて投射する。これにより、混合媒体２０は、ホース２６の基端部から加速されてノズル２４から素地面１４に向けて高速で投射される。 （もっと読む）

【目的】 建物の壁体内に充填されたセルロースファイバー断熱・防音材を再利用することを可能にすることができる、セルロースファイバー断熱材回収装置を提供する。
【構成】 前記壁体内のセルロースファイバー断熱材を一時的に収容するバケットと、前記バケットを前記壁体の任意の部分に対向させながら上下方向に移動可能に支持すると共に前記壁体の内側に対向する所定の高さの位置で静止させるバケット移動支持部と、前記セルロースファイバー断熱材を移送する移送管と、前記バケットに収容されたセルロースファイバー断熱材をサイクロン部に移動させるための送風部と、セルロースファイバー断熱材及び空気流を回転力により互いに分離させるサイクロン部と、前記分離されたセルロースファイバー断熱材を収容する回収容器と、前記分離された空気流を濾過して大気中に放出するフィルタ付き空気放出口と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ状の物品の一方の表面上の、縁部側の所定の部分を、或る液体で処理し、しかも、（ウエハの外縁から測定して）２ｍｍより多い縁部領域を処理する可能性を示すこと。
【解決手段】 洗浄ガスの大部分をウエハ状の物品（Ｗ）の縁部領域でウエハ状の物品（Ｗ）から導き出すガス排出装置（４）が周囲に設けられ、また、第２の主面上の液体が縁部付近の所定の部分を濡らし、続いて、液体がウエハ状の物品（Ｗ）から除去される。 （もっと読む）

【課題】紫外線透過窓の取り外しや、紫外線源の位置調整を行う必要を実質的に無くすような、連続的自動制御可能な紫外線樹脂硬化装置内部の乾式洗浄方法。
【解決手段】乾式洗浄機能付き紫外線樹脂硬化装置１００は、硬化用筐体１０内部に酸素ボンベ５０から酸素を供給しながら、紫外線透過窓２０を介して紫外線源３０から波長約１８５ｎｍ及び２５４ｎｍの紫外線を照射する。これにより、硬化用筐体１０内部の酸素分子から、オゾンや高エネルギー状態の¹Ｄ状態の酸素原子が生成し、紫外線透過窓２０の内面２０１に付着した有機物から成る汚れ７を低分子成分に分解する。汚れ７から生成した低分子成分は、酸素分子と共に排気手段６０に排出される。 （もっと読む）

【課題】作業空間における作業員の安全を確実に確保することができる付着物除去方法を提供する。
【解決手段】建物１０の室内空間２０内において、被洗浄面に付着している付着物を当該被洗浄面から脱落させる付着物除去方法として、ドライアイスブラスト法を実施する。まず、ドライアイスブラスト法を実施する前に、送風機３０を室内空間２０の下部に設置する。ドライアイスブラスト法では、粒状のドライアイスを吹き付けることにより、建物１０の区画体１１に付着している埃などの付着物を区画内面１１ａから脱落させる。この際、送風機３０は、稼働されており、室内空間２０内の空気を、ドライアイスが昇華した結果発生した二酸化炭素ガスと共に、室内空間２０の下部から室内空間２０の外へ排出する。 （もっと読む）

【課題】ＶＯＣの輸送に使用するタンクコンテナの洗浄において、タンク内に残留せる気化したＶＯＣガスを安全に簡便な方法で排出、捕集回収するとともに回収工程にて排出される微量の残余ＶＯＣを無害化処理する方法を提供する。
【解決手段】タンクコンテナの洗浄にあたりタンクコンテナ内に不活性ガスを導入し、タンク内に残留する揮発性有機化合物（ＶＯＣと言う）をパージし、冷媒を循環閉回路となした凝縮器に導き冷却液化せしめ、然る後、気液分離器に導き液化した該ＶＯＣを回収するとともに気液分離器から排出される未凝縮の微量ＶＯＣガスを触媒燃焼器にて燃焼処理することを特徴とするタンクコンテナ内に残留するＶＯＣの排出、回収、処理する方法。 （もっと読む）

基材の処理を容易にするためにプラズマ処理環境内のプラズマ均一性を管理する統合ステアアビリティアレイ配置が提供される。配置は、電気素子のアレイを含む。また、配置は、ガスインジェクタのアレイを含み、電気素子のアレイおよびガスインジェクタのアレイは複数のプラズマ領域を形成するように配置され、複数のプラズマ領域の各プラズマ領域は実質的に同じである。配置は、さらに、ポンプのアレイを含み、ポンプのアレイの個々は電気素子のアレイおよびガスインジェクタのアレイの中に組み入れられている。ポンプのアレイは、プラズマ処理環境内の均一なプラズマ領域を維持するために排ガスの局所的除去を容易にするように構成される。 （もっと読む）

【課題】 従来の電気装置における粉塵除去のやり方は、筐体のカバーを固定しているネジ等を外し、粉塵の除去終了後は筐体のカバーを固定しているネジ等を取り付けるといった分解と組立の作業が必要であり、また、作業スペースの確保も必要なため、粉塵除去の効率が非常に悪かった。
【解決手段】 筐体と、前記筐体内に設けられた部品と、少なくとも一部が前記筐体内にあり内部に流体を通すものであって前記部品に対して前記流体を噴き出す孔を有する管を備えることにより、電気装置内の部品等の粉塵を容易でかつ効率的に除去する。 （もっと読む）