【解決手段】 パレット３の水切りを行う水切り手段３９は、コンテナ２を吊り下げて保持する保持機構４１と、パレット３を支持した両搬送コンベヤＣ７，Ｃ８を退没位置まで下降させる昇降機構４２と、パレット３を支持して高速回転させる遠心脱水機構４３とを備えている。
保持機構４１によってコンテナ２を保持し、その後、昇降機構４２によって両搬送コンベヤＣ７、Ｃ８を下降させると、コンテナ２からパレット３が離隔するとともに十字フレーム４７上に支持される。次に、パレット３を支持した十字フレーム４７を高速回転させることで、パレット３の水切りが行われる。
【効果】 水切り後の乾燥工程においてパレット３とコンテナ２を容易に乾燥させることができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象面内の清浄度およびその均一性を高めさらにメンテナンスも容易なＵＶオゾン洗浄装置を提供すること。
【解決手段】ＵＶ照射室（１０）内に２つのＵＶユニット（２０Ａ、２０Ｂ）を備えており、これらＵＶユニットは所定の間隔を有するように対向して設けられている。この間隔内には、洗浄対象物（３０）が基板搬送部（４０）により把持された状態で搬送される。オゾン発生の源となるエアーと不活性ガスの混合ガスは第１および第２のガス供給部（５０Ａ、５０Ｂ）から、ＵＶ照射室（１０）内に搬送された基板（３０）の表面に向けて供給される。ガス排出部（６０）は、装置（１００）の底部に設けられており、ＵＶ照射室（１０）内で発生したオゾン含有ガスは、装置上部に設けられた排気ユニット（７０Ａ、７０Ｂ）の作用により、ガス排気経路部（８０Ａ、８０Ｂ）を通ってガス排出部（６０）から外部へと排出される。 （もっと読む）

【課題】輸送管内壁への酸化物の付着を低減できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】対象物１１に水素ラジカルを供給することによって前記対象物１１を洗浄する洗浄装置２７であって、加熱された触媒１に気体を供給することによって水素ラジカルを生成する生成手段と、前記生成手段から前記対象物１１への気体の供給を制限可能な制限手段と、前記制限手段により気体の供給が制限された状態で、前記触媒１の周囲の気体を前記対象物１１を介さずに排気可能な排気手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】エレベーターのロープ表面に付着している余分なグリースを容易に除去することができ、清掃時の作業性を大幅に向上させることができるエレベーター用ロープの清掃装置を提供する、
【解決手段】本清掃装置は、主ロープ１の表面に付着したグリースを除去するためのものであり、その要部が、供給装置７と除去装置８とから構成される。供給装置７は、加熱及び圧縮された空気を除去装置８に供給する機能を有している。また、除去装置８は、供給装置７から供給された空気を主ロープ１の表面に吹き付ける機能を有しており、主ロープ１に対し、非接触の状態で対向するように配置される。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成で基板表面の塵を除去でき、かつ除去された塵を効率よく吸引して廃棄することができる装置を提供する。
【解決手段】このエア集塵装置は、基板表面の塵をエアにより除去する装置であって、エアが導入されるエア導入部１と、エジェクタ部２と、排気部３と、を備えている。エジェクタ部２はエア導入部１からのエアの流速を高めてワーク表面に吹き出す。排気部３はエジェクタ部２から吹き出されたエア及びその周囲のエアを吸入して排気する。そして、エジェクタ部２から排気部３に流れるエアのエジェクタ効果によって基板表面の気圧を周囲の大気圧より低くする。 （もっと読む）

【課題】熱硬化型のシリコン系接着剤を介して半導体素子が装着された基板をプラズマ処理して、接着剤中に含まれるシロキサン成分を除去して、その後の信頼性の高いワイヤーボンディング等が行えるようにすること。
【解決手段】真空チャンバー１を所定の真空状態とし、高周波電源１０からの高周波電圧を下部電極３に高周波電圧を印加する。また、開閉バルブ２３を開いて、上部電極２と下部電極３との間に六フッ化イオウガスを供給してプラズマ化する。すると、六フッ化イオウガスのフッ素がシリコン系接着剤７中のケイ素と合体して、このケイ素は真空通路６を介して装置外部へ排出される。このプラズマ洗浄を６０秒間行った後、５秒経過後に上部電極２と下部電極３との間にアルゴンガスを供給してプラズマ化する。すると、アルゴンガスのアルゴンが六フッ化イオウガス中のイオウと合体して、このイオウは真空通路６を介して装置外部へ排出される。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の液体の加温時の温度ムラをなくして、その後の減圧時に洗浄槽内の液体を均一に沸騰させ、これによりムラのない確実な洗浄または濯ぎを図る。
【解決手段】被洗浄物２が浸漬された洗浄槽３内の液体を設定温度まで加温後、洗浄槽３内を減圧して液体を沸騰させる動作を含んで、被洗浄物２の洗浄または濯ぎを図る装置である。洗浄槽３内の液体を加温中に液体を流動させる液体流動手段を備える。液体流動手段は、洗浄槽３内の液体への外気導入手段（液相給気手段）９とされる。 （もっと読む）

【課題】被処理物の表面に分解残渣が再付着することを防止または抑制することができ、しかも、被処理物の温度上昇を抑制しながら紫外線照射処理を行うことができる光処理装置および光処理方法を提供する。
【解決手段】本発明の光処理装置は、一面に開口を有する筐体と、この筐体の開口に設けられた紫外線透過性を有する窓板材と、前記筐体内に配置されたエキシマランプとを具えてなり、前記筐体は、当該筐体内に不活性ガスよりなる洗浄用ガスを供給するためのガス供給口を有し、前記窓板材は、前記筐体内の洗浄用ガスを当該窓板材に対向して配置された被処理物に向かって噴出するガス噴出口を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ドラフトが無いような場合でも、揮発性薬剤が大気中に拡散するのを抑制できる技術を提供することである。
【解決手段】 揮発性薬剤が充填された容器を開蓋して作業するに際して該容器の背部に設置されて用いられる環境保全具であって、
函体と、前記函体の前面上方部に設けられた斜下方向けて気体を吐出するライン状の吐出口と、前記吐出口にＱ（Ｑ＞０）ｍ^３／ｈｒの割合で気体を供給する給気装置と、前記函体の前面部であって、かつ、前記ライン状吐出口の下側に設けられた面状の吸気口と、前記吸気口から（Ｑ＋α（α＞０））ｍ^３／ｈｒの割合で前記函体の前面部に存する気体を吸引する吸気装置と、前記函体の左側部から前方側に延在する左延在板と、前記函体の右側部から前方側に延在する右延在板とを具備する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の洗浄に有利な露光装置の提供。
【解決手段】光源２０と、複数の光学素子１５ａ、１５ｂを収容する真空容器３４、３５とを有する露光装置は、複数の光学素子のうち予め決められた値未満の照度で光が照射されている光学素子に酸素ガスＡ２を供給する酸素ガス供給手段と、記複数の光学素子のうち前記値以上の照度で光が照射されている光学素子に水蒸気Ａ１を供給する水蒸気供給手段と、を有する。 （もっと読む）

ガス流デバイスおよび開口部を画定する支持表面を備える洗浄ステーションと、フィルタクロスから除去された物質を受けるために開口部の下方に位置決めされた収集デバイスとを備え、ガス流デバイスが、フィルタクロスから物質を除去し収集デバイス内にこの物質を向けるために、開口部の上方に位置するフィルタクロスのある領域を通過するガス流を供給するように構成される、フィルタクロスを洗浄するための装置を説明する。
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【課題】簡単な構造で、粉塵処理の効率を向上させ、かつ粉塵の廃棄処理が容易となる粉塵分離処理装置を提供する。
【解決手段】吸入空気から粉塵を分離して除去した後にサイクロンホッパー２を上方に移動させるだけで回収容器３から離脱でき、かつ回収容器３の方に設けられた蓋体５２にサイクロンホッパー２の下端部が挿入・離脱可能に連結されているので、サイクロンホッパー２を用いることによって粉塵処理の効率を向上させるとともに、サイクロンホッパー２に対する回収容器３の着脱が容易となり、回収容器３内の粉塵の廃棄作業が容易になる。 （もっと読む）

【課題】より効率的にノズル洗浄でき得るノズル洗浄ユニットを提供する。
【解決手段】分注装置に搭載されたノズル洗浄ユニット２０は、洗浄槽２２と、当該洗浄槽２２内において洗浄液を噴射する洗浄液噴射器４４と、ノズルに付着した洗浄液を洗浄槽２２内に吹き飛ばすべくエアを噴射する乾燥用噴射器５０と、ノズル１２を昇降させる移動機構と、これらを制御する制御部と、を備えている。制御部は、ノズル１２を下降させつつ洗浄液を噴射させる洗浄工程と、洗浄工程の後でノズル１２を上昇させつつエアを噴射させる乾燥工程と、をセットにしたセット動作を２回以上繰り返させる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は高精彩に成膜できるまたは生産性あるいは稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置または有機ＥＬデバイス製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、真空蒸着チャンバの壁に設けられた真空隔離手段から前記マスクを搬出し、前記真空隔離手段を共有するマスク洗浄チャンバで前記基板に付着した前記蒸着材料の堆積物にレーザ光を照射し前記マスクをドライ洗浄し、洗浄後前記マスクを真空隔離手段を介して前記真空蒸着チャンバに戻し、前記蒸着を行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】除塵機能と排気機能とをともに持たせたハンディタイプの除塵システムを提供する。
【解決手段】加圧エア供給源４０から供給される加圧エアに対し、高電圧を印加することによりイオン化してイオン化エアを噴射するイオナイザ１０を用いる除塵システム１であって、加圧エア供給源４０から供給される加圧エアにより真空を発生する真空発生器２２と、真空発生器２２の吸引口に接続される吸引部２３と、を有する真空発生ユニット２０を備える。真空発生ユニット２０は、イオナイザ１０から噴射されたイオン化エアが除塵対象物７０に噴射されて飛散した塵埃を含む排気エアを、真空発生ユニット２０の吸引部２３を通じて吸引する。 （もっと読む）

【課題】 シート部材の製造時に生じる物体の吸引処理を迅速化する。
【解決手段】 吸引装置１は、外気が流入すべき吸気路１５を構成する吸気路構成体１０、吸気路１５内の気体を常時吸引する吸引源１１、および吸気孔開閉部１２を含む。吸気路構成体１０において、外気とともに物体７を吸引すべき吸引口１７が形成され、吸引口１７とは異なる位置に吸気孔１８が形成される。吸引源１１が常時駆動する状況下で、吸気孔開閉部１２は、吸気孔１８の開度を機械的に制御する。この結果、吸引装置１は、吸引力の調整を高速に行うことができるので、物体７の吸引処理に要する時間を、従来技術よりも短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】省力化および工期短縮を図れるアスベスト含有建材除去装置を提供することを課題とする。
【解決手段】エレベータシャフト１０内のアスベスト含有建材１２を除去するアスベスト含有建材除去装置１であって、エレベータシャフト１０内を昇降する昇降架台２０と、アスベスト含有建材１２を剥離するための剥離装置３０と、昇降架台２０に設置され剥離装置３０を所定の位置に移動させる移動装置４０と、昇降架台２０と剥離装置３０と移動装置４０の遠隔操作を行う制御手段５０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成によって花粉を除去できる花粉除去システムＳを提供する。
【解決手段】屋外１４で付着した花粉を除去する花粉除去システムＳである。
そして、身体又は衣服に付着した花粉を吸引する第一吸引口２と、空気中に浮遊する花粉を吸引する第二吸引口３と、第一吸引口２及び第二吸引口３が接続される吸排気手段４と、を備え、吸排気手段４の排気口４１は屋外又は床下に繋がっている。 （もっと読む）

【課題】円筒内に多数突設された針にプラスチック容器を回転させながら送り込むことで、プラスチック容器に装着又は貼り付けられた樹脂系ラベルなどを容易かつ安価に分離処理する。
【解決手段】プラスチック容器が供給される円筒状本体１１の軸芯部に設けられた多角形状回転体１２と、多角形状回転体１２のそれぞれの矩形状側面に所定の傾斜角度で互いに平行配置される一対の第１及び第２回転刃ブレード部１３、１４と、プラスチック容器の動きを規制するように前記円筒状本体の内側に所定長さに突設された複数の固定針部１５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを分解することなく、少ない溶剤使用量で、供給配管およびスリットノズルの内部に残る塗布液を洗浄除去できるとともに、洗浄後の乾燥も早く、このスリットノズルを用いた塗布工程を素早く再開することのできるスリットノズルの洗浄方法を提供する。
【解決手段】僅かの隙間を空けて対向配置されたリップ（１ａ，１ｂ）間に形成されるスリットから、供給配管（２）から供給される塗布液を吐出するスリットノズル１を洗浄する方法であって、上記塗布液の吐出完了後に、上記供給配管（２）に液化炭酸ガスを導入し、この液化炭酸ガスを上記スリットから吐出させることにより、上記スリットノズル１の内部に残る塗布液を効率的に排出・除去することができる。 （もっと読む）