【課題】可撓性給気管から発塵したとしても除塵ヘッドから噴射する前にその塵埃を捕集することで基板の汚染を防止し、除塵能力を高めた可動式除塵装置を提供する。
【解決手段】可撓性を有する第１弾性材製給気ホース１５・第２弾性材製給気ホース１９の下流であって除塵ヘッド１２の上流の流路に配置される第１フィルタ１３・第２フィルタ１７が第１弾性材製給気ホース１５・第２弾性材製給気ホース１９の屈曲時に管内に発生した異物を捕集して清浄エアを除塵ヘッド１２へ給気することで、除塵能力を高めた可動式除塵装置１０とした。 （もっと読む）

【課題】管路を簡単且つ効率的に清掃可能な管路内清掃方法を提供する。
【解決手段】管路１の上流端と下流端とにそれぞれ配置したバルブＡ及びバルブＢを閉じる段階と、管路１内を真空ポンプ６により減圧する段階と、管路１の上流端のバルブＡを開く段階とを有する第１工程と、上流端のバルブＡを閉じた後、管路１内にコンプレッサ３により蓄圧する段階と、下流端のバルブＢを開く段階とを有する第２工程とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受けからの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して製品への異物付着を抑制することができる異物付着防止装置を提供する。
【解決手段】帯状可撓性素材１２を複数のローラ１４、１４…で搬送する搬送ラインにおける異物付着防止装置１０において、帯状可撓性素材１２の両端位置近傍に帯状可撓性素材１２の搬送方向Ａに沿って立設され、その下端と帯状可撓性素材１２との間に隙間Ｚが形成された一対の仕切り板１８、１８と、一対の仕切り板１８、１８の間に清浄空気を供給して隙間Ｚから排出する気流を形成する清浄空気供給手段１６と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レチクルに付着した異物を確実に除去する。
【解決手段】レチクルに付着した異物を確実に除去するレチクルクリーニング装置は、クリーニング室２２内においてレチクル姿勢変更装置５０によって垂直状態に保持されたレチクル１に窒素ガスを噴射する複数個の噴射ノズル７６と、レチクル１に噴射した窒素ガスを異物と共に吸引して排気する排気ダクト７８とを備えており、クリーニングに際して、噴射ノズル７６群と排気ダクト７８とは往復水平移動しながら下降する。垂直状態に保持されたレチクルに窒素ガスを噴射するとともに、レチクルに噴射した窒素ガスを異物と共に吸引するので、レチクルに付着した異物の飛散を防止しつつ確実に除去できる。噴射ノズル群と排気ダクトがレチクルの全面をスキャニングするので、レチクルの全面の異物を確実に除去できる。 （もっと読む）

【課題】表面を酸化させることなく、光洗浄では除去できない有機物汚染を効果的、且つ、短時間で除去することができる洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】被洗浄物を洗浄する洗浄方法であって、前記被洗浄物を収納する処理室を減圧又は真空環境に維持するステップと、水素を含むガスを前記処理室に供給するステップと、前記ガスをプラズマ化するステップとを有し、プラズマ化された前記ガスによって前記被洗浄物を表面処理することを特徴とする洗浄方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の消費量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０の最上部の基点Ｐから，回転方向Ｆに２７０°から３００°回転した位置に，第１のブロック１１０が設けられ，その後方側に第２のブロック１３０が設けられる。第１のブロック１１０により，回転ロール９０との間に狭小の隙間Ｄが形成され，その表面１１０ａに洗浄液吐出口１１１と吸引口１１２が形成される。第２のブロック１３０には，排気口１３１が形成される。回転ロール９０の下部側には，滞留部１４１と洗浄液誘導部１４２が形成された第３のブロック１４０が設けられる。洗浄時には，回転ロール９０を回転させた状態で，洗浄液吐出口１１１から隙間Ｄに洗浄液Ｈが吐出され，洗浄液Ｈが回転ロール９０の表面を伝って流れ，滞留部１４１で一旦滞留された後，洗浄液誘導部１４２を通って排出される。 （もっと読む）

【課題】排ガス流路の切換操作と別途清掃用集塵器および排風機を活用して、集塵器出口から煙突下部の区間を、人手を直接介在させることなく処理でき、除塵作業を容易にした集塵器下流ダクトの清掃方法を提供する。
【解決手段】排ガス発生源１から排出されるダストを含んだ排ガスを減温処理して除塵した後大気中に放出する排ガスの除塵工程において、集塵器３を通るメイン流路６と前記集塵器３をバイパスするバイパス流路７との合流位置より下流に設けられる清掃接続管２３に清掃用配管（ダクト）２５を接続し、前記メイン流路６と前記バイパス流路７に配置されるダンパを切換えて、前記清掃用配管２５に接続される清掃用排風機２７により清掃用集塵器２６を介して、前記バイパス流路７上流に設けた外気吸気管２０または煙突開口５ａから外気を吸入して前記流路６，７内のダストを吸引除去する。 （もっと読む）

【課題】フィルムロールから剥離させた異物が再付着することを防止でき、効率よくフィルムロール表面を除塵できるフィルムロールの除塵方法及びフィルムロール用除塵設備を提供する。
【解決手段】フィルムロール用除塵設備１０は、フィルムロール１２の上方でエアを吸引する吸引口３２Ａと、吸引されたエアに含まれる異物の粒子数を計測するパーティクルカウンタ３８と、吸込されたエアを除塵するエアフィルタ６２と、除塵した清浄エアをイオン化するイオナイザ装置６０と、イオン化した清浄エアを吸引口３２Ａの両側からフィルムロール１２に向けて吹き出すことによりフィルムロール１２から吸引口３２Ａに向かう気流を形成する吹出口３２Ｂ、３２Ｂと、フィルムロール１２表面から吹出口３２Ｂまでの距離に基づいて清浄エアの吹出風速及び吹出角度を制御する制御装置４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】製鐵所等で使用されるガス管のエアー抜き管、ブロー管や計器用の配管を閉塞するダスト、タールやカーボン等の付着物を、配管系統の流体を停止することなく簡易に除去し、特にＣガス配管ドレン抜き管閉塞部開口作業に好適な冶具を提供する。
【解決手段】管体と一端がドリル状に螺旋加工され、他端に取っ手を設けた、全長が前記管体より長い棒状部材と前記棒状部材を前記管体内部で、その管軸に保持する機構を備え、
前記管体はその一端が開放され、他端には前記棒状部材を保持する前記機構が取り付けられ、前記機構は気密構造で、前記棒状部材を中心軸まわりに回転可能で、且つ前記管体の管軸方向に出し入れ可能な構造を備え、必要に応じて、管体の一部に、本管からのガスを逃がすブロー弁を備えたブロー配管を取り付ける。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い処理を実施可能なプラズマ処理装置およびプラズマ処理方法を提供する。
【解決手段】大気圧近傍圧力雰囲気下で電極対の電極間に交番電界を印加して放電プラズマを生成せしめ、プラズマ内で生成された励起ガスを搬送される被処理基材に吹き付け作用させるプラズマ処理装置において、希ガスからなる主放電ガスの励起および励起された主放電ガスの吹き付けを行うための第１および第２の経路、並びに、搬送される被処理基材上の空間であって第１の経路のガス吹き出し部と第２の経路のガス吹き出し部との間に位置する空間の酸素の状態を制御するための制御手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】生産コスト及び運用コストを低減すること。
【解決手段】放電電極（８）が内部に配置された光発生室（６）と、前記放電電極（８，４３）が放電したときに所定の波長の真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記光発生室（６）内に流入させるガス流入口（１６）と、前記光発生室（６）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを前記光発生室（６）から流出させるガス流出口（１７）と、前記ガス流出口（１７）および前記ガス流入口（１６）とを接続する循環路（２１＋２２）と、を有し、前記ガス流出口（１７）から流出した前記真空紫外光発生用ガスを前記ガス流入口（１６）から前記光発生室（６）内に流入させることにより前記真空紫外光発生用ガスを循環させることを特徴とする光源装置（４）。 （もっと読む）

【課題】凹凸のある複雑形状の部品であっても、確実に摺接して除去することができる洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被洗浄部品Ｗを洗浄槽内に出入れ可能に構成され、洗浄槽内において被洗浄部品表面に付着した粒子を除去する洗浄装置において、保持部材２０に一部を固定されることにより他の部位を自由に変形動作し得るように構成された柔軟材料から成る摺接部材２１と、摺接部材を振動させる気流発生手段と、摺接部材を被洗浄部品の表面適所に接触させる相対姿勢変更手段２５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】装置の清浄化を容易に、かつ短時間で行うことができる。
【解決手段】処理液配管による処理液の供給を遮断し、供給部５を注入部に連通接続した状態で、開閉弁３９を開放すると、洗浄液タンク３内の洗浄液が供給部５から処理液配管に供給されるので、注入部よりも下流にある接液部材を洗浄液で洗浄できる。したがって、基板処理装置を分解することなく洗浄装置１により接液部材の汚染を解消することができるので、洗浄を容易にかつ短時間で行うことができる。しかも、通常の処理では純水しか流通させられない箇所であっても注入部より下流には洗浄液を流通させることができるので、清浄度高く洗浄が可能となる。 （もっと読む）

【課題】プラズマに影響を与えないでタクトタイムを短縮すること。
【解決手段】処理ガスを用いたプラズマを生成するプラズマ生成空間と、被処理物の搬入口と前記空間とを連通し被処理物を前記空間へ搬入するための搬入路と、被処理物の搬出口と前記空間とを連通し被処理物を搬出するための搬出路と、搬出路に搬出方向に間隔を有して設けられる複数のシャッタとを備え、被処理物が搬出方向に所定長さを有し、複数のシャッタは被処理物が搬出路を通過中に選択的に開閉され、前記空間と搬出口との間が常に気密的に閉鎖される。 （もっと読む）

【課題】クリーニング液を使用しなくてもノズルを清浄にクリーニングすることができるノズルのクリーニング装置および電子部品実装装置におけるノズルのクリーニング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】電子部品を吸着によりピックアップして基板等のワークに移載するノズル１０の下端部に付着する異物等を除去する際に、凹溝４３ａが形成された下受け部４３により下方から支持されたクリーニングテープ３２の上面にノズル１０を下降させて押し付け、クリーニングテープ３２を凹溝４３ａの内部に押入し、クリーニングテープ３２の下面を凹溝４３ａの底面４３ｃに当接させた状態で、ノズル１０に水平移動ａ、鉛直移動ｂ、水平回転ｃ、排気動作ｄの各動作を行わせることにより、ノズル１０の下端部をクリーニングテープ３２に擦り付けてクリーニングを行う。 （もっと読む）

【課題】基材の外周部に被膜された不要物に反応性ガスを接触させて除去する際、反応性ガスの利用効率及び反応効率を高め、所要ガス量を低減できる基材外周処理装置を提供する。
【解決手段】基材外周処理装置にオゾン等の反応性ガスの供給路４２を形成し、この供給路４２に柄杓型ノズル６０の導入部６２を連ね、この導入部６２の先端に柄杓型ノズル６０の筒部６１を設ける。この筒部６１を基材Ｗの被処理位置に被さるように配置する。筒部６１の内部は、導入部６２より拡開しており、反応性ガスを一時滞留させる一時滞留空間となる。好ましくは、筒部６１の下端部に切欠きなどの逃がし口を設ける。 （もっと読む）

【課題】 屋外で身体や衣服に付着した花粉を簡易な構造で効果的に除去して、屋内に持ち込まないようにし、花粉症患者の屋内での症状の緩和を図る。
【解決手段】 本発明の花粉除去装置２は、出入口１１の軒天井１３の裏に送風機２１を設置し、送風機２１の吸気側には、軒天井１３の周縁部近傍を経由して外気を吸入する外気吸入経路２２を接続するとともに、送風機２１の排気側には、出入口１１の屋外側の側壁１４の内部に縦方向に配設したチャンバー２４を接続し、このチャンバー２４には前記側壁１４を貫通する吹出口２６を設ける。そして、この吹出口２６から吐出される空気を身体に側方から吹き付けることによって、身体や衣服に付着した花粉を出入口１１の屋外側にて飛散させうるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 焼却炉の解体作業における残灰回収・搬出作業の安全性と環境保全性を保ちつつ作業労力を低減させ、残灰の重量および体積を減らして少ない数のフレキシブル・コンテナで移送できるようにする。
【解決手段】 外部から遮蔽して負圧に維持した作業場内にドレインホースを導入し、作業場外に配置した遠心分離方式のホッパ装置を介して吸引車に接続する。ホッパ装置で残灰をフレキシブル・コンテナに収容する空間を閉塞し、ここに負圧機を接続する。回収される残灰はホッパ装置の遠心分離により水分が除去され、また大きな遠心力が加えられて単位量あたりの重量と体積が小さくなり、少ない数のフレキシブル・コンテナで搬出することができる。 （もっと読む）

本発明は、照射ユニット内の光学表面の清浄化処理および後処理の方法であって、前記照射ユニットは、EUV放射線および／または軟X線を放射する放射線源と、前記放射線源に続き、前記光学表面を有する第1の光学部品を収容する第1の空間と、前記第1の空間に続き、第2の光学部品を収容する第2の空間と、を有する。当該方法は、第1のガスまたは混合ガスが前記光学表面と接触するように供給される、少なくとも一つの清浄化ステップであって、これにより前記光学表面に堆積された汚染物との間で、揮発性の化合物が形成され、該化合物は、前記第1のガスまたは混合ガスとともに、前記第1の空間から排気される、ステップを有する。前記清浄化ステップに続く後処理ステップにおいて、前記第1の空間が前記第2の空間から分離された状態で、前記放射線源は、1回または数回作動され、前記EUV放射線または軟X線を前記光学表面に照射することにより、前記清浄化ステップの残留物が前記光学表面から放出され、前記放出された残留物は、前記第1の空間から排気される。この方法により、改良された清浄化結果が得られる。
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【課題】キャリア内に付着したパーティクルやキャリア内のウェハに付着したパーティクルを効果的に除去できる処理システム及び処理方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗを処理する処理部と，複数枚の基板Ｗを収納する収納容器Ｃを載置する載置台４０とを備え，収納容器Ｃは，収納容器Ｃ内の基板Ｗを略水平にして上下に並べる状態，かつ，収納容器Ｃに基板Ｗを搬入出させるための開口２０を収納容器Ｃの側方に向けた状態で載置されるようにした。開口２０の外側には，ガスを供給する複数のガス供給口７３を設けた。各ガス供給口７３は，収納容器Ｃ内の各基板Ｗ同士の間に向かって略水平方向にガスを供給する方向に指向させた。 （もっと読む）