【課題】容器の内部を洗浄する際の作業者への負担を軽減し、かつ、洗浄性に優れた洗浄装置を提供する。
【解決手段】所定量の洗浄液が収容された少なくとも一つの容器２を保持する保持部１０と、該保持部を揺動させるための少なくとも一つのアクチュエータ２３を具備する揺動部２０と、を具備する洗浄装置１を用いて該容器の洗浄を行う。該保持部に保持された該容器は保持部とともに揺動し、容器の内部の洗浄液が盛んに動くことにより容器の内部に付着した汚れが付着した部分から浮き上がり、洗浄液に取り込まれる。 （もっと読む）

従来技術（酸剥離）による部品の層範囲の除去方法では不均質な切除が行われるため、粗悪な結果を招く。それらの公知方法はまた、時間を要するものである。部品の層範囲を除去する本発明方法は、除去すべき層範囲をまず塩浴で、次いで酸浴で処理し、その部品を中間又は最終工程中に錯体生成物で処理する。塩浴に超音波を加えたり、酸供与体を添加したり、酸浴での処理後サンドブラストや流体研磨を行うことで、一層良好な結果を得ることができる。
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【課題】油脂類や塵埃の除去に効果があり、アクリル樹脂を含めた幅広い基材への影響がなく、適度な溶解力を有する溶剤組成物を提供する。
【解決手段】（２，２，２−トリフルオロエトキシ）−１，１，２，２−テトラフルオロエタン ６９質量％、（パーフルオロブトキシ）メタン ３１質量％とからなる共沸溶剤組成物。（２，２，２−トリフルオロエトキシ）−１，１，２，２−テトラフルオロエタン ５５〜８５質量％、および（パーフルオロブトキシ）メタン １５〜４５質量％を含有する共沸様溶剤組成物。（２，２，２−トリフルオロエトキシ）−１，１，２，２−テトラフルオロエタン ３０〜９０質量％、および（パーフルオロブトキシ）メタン １０〜７０質量％を含有する混合溶剤組成物。 （もっと読む）

【課題】光学センサの小スペース化を図り、装置の小型化を実現する。
【解決手段】透明材料からなる液体の収容部１４と、該収容部に近接された光学センサ１８とを備え、吐出ノズルから前記収容部に液体を吐出した後、又は吸引ノズルにより前記収容部に存在する液体を吸引した後、該収容部の液体の有無を前記光学センサにより検知し、吐出ノズル又は吸引ノズルの詰まりを検出するノズル詰まり検出装置において、前記収容部１４に液体の有又は無により光を反射する反射手段としてプリズム部材１６を設置すると共に、前記光学センサ１８の発光部１８Ａと受光部１８Ｂとを前記収容部１４に対して同側に配設し、前記発光部１８Ａから出射した光が、前記受光部１８Ｂにより受光されるか否かにより前記ノズルの詰まりを検出する。 （もっと読む）

【目的】基板等を良好且つ効果的に洗浄しうる洗浄材を製造する方法を提供する。
【構成】 洗浄材製造容器５の一端部に形成した過冷却液噴出口６２から、水若しくは水とこれより凝固点の低い有機化合物液との混合液である原料液を過冷却状態に冷却してなる過冷却液１ｃを、洗浄材製造容器５内へと噴出させることにより、洗浄材製造容器５内に過冷却液１ｃの乱流領域５３を形成し、過冷却液噴出口６２から噴出された過冷却液１ｃの一部を、洗浄材製造容器５内に発生させた種氷９３ａと接触させることにより、氷粒子に相変化させると共に、乱流領域５３で乱流攪拌することで氷粒子を成長させ、氷粒子と液体とが混在する固液共存のシャーベット状をなす洗浄材１を得るようにし、かくして得られた洗浄材１を洗浄材製造容器５からその他端部に接続した洗浄材供給路７へと流出させるようにする。 （もっと読む）

２種以上の揮発成分、特に、ＨＦＣ３６５ｍｆｃと、分子内におけるフッ素原子数の水素原子数に対する比が２以上の非塩素系フッ素化合物と、１種以上の高沸点の不揮発性成分からなる非共沸性多成分系組成物であって、洗浄性、乾燥性、安全性、環境保全性に優れ、かつ、長時間の使用わたって成分組成変動を容易に制御できる洗浄剤組成物として好適にもちいることができる組成物。 （もっと読む）

【課題】 各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、汎用性に富むとともに、スループットにも優れる基板洗浄技術を提供する。
【解決手段】 基板洗浄部Ｂは、複数種類の薬液で洗浄処理可能な多機能洗浄槽３（３ａ、３ｂ）と、専用の薬液で洗浄処理可能な単機能洗浄槽４（４ａ、４ｂ）とを組み合わせてなる洗浄槽列１（１ａ、１ｂ）が２組設けられてなり、各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、スループットにも優れる。 （もっと読む）