【課題】従来のような二流体ノズルや高圧ジェットを用いた場合、たとえば、パターン等が形成された基板を洗浄する場合、洗浄液の供給される力によって、基板上に形成されたパターンに損傷が生じる場合があり、一方、損傷を防止するために供給する力を抑制すれば、洗浄を十分に行えないという問題があった。
【解決手段】微細気泡を含む洗浄液を用いて基板の洗浄を行う。洗浄液を供給するノズルの先端を、基板上に形成された液膜の液面より低い位置に配置し、ノズルの先端部分付近（微細気泡発生領域）を洗浄液が通過する際に、洗浄液中に微細気泡が発生するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 従来洗浄困難であった被洗浄面全域をコンタミが覆った場合であっても、該コンタミを好適に除去する。
【解決手段 】被洗浄面に対して垂直な方向から洗浄流体を吹き付ける第一の洗浄工程と、第一の洗浄工程により部分的に露出した被洗浄面に対して垂直とは異なる所定の角度を以って洗浄流体を吹き付ける第二の洗浄工程と、によって被洗浄面とコンタミとの剥離部分を拡大させてコンタミの除去を図る。 （もっと読む）

【課題】比較的簡便な構成で、配管破損を生じることなくかつ短時間で、配管を洗浄することができる配管洗浄方法を提供する。
【解決手段】
まず、内部にオゾンを含む直径が１μｍ未満の気泡であるオゾンナノバブルを含む洗浄液が生成される。次いで、当該洗浄液が配管内壁の付着物に所定の圧力で供給される。この洗浄液によれば、洗浄液中のオゾン粒子数の残存時間を長期間維持することができ、オゾンの作用を効果的に引き出すことができる。その結果、洗管作業時間内における洗浄液中のオゾンバブルの消滅を実質的に無視することができる。また、この洗浄液は、ＯＨラジカルや酸素ラジカルを含むため、その作用により、スケールやスライムはもちろん、配管内壁に付着している水酸化第一鉄、水酸化第二鉄等を極めて効率よく短時間で分解除去することができる。 （もっと読む）

【課題】安定して確実に目詰まりを解消できるエアージェッティング装置及び工法を提供する。
【解決手段】高圧水と圧縮空気を用いて井戸のスクリーン81を洗浄するエアージェッティング装置10であって、装置10の中心軸C上に配置された高圧水送管6と、高圧水送管6が上面に接続されかつ高圧水送管6と連通する内部空間31dを具備する高圧水ノズル取付部3と、高圧水ノズル取付部3の側面に取り付けられかつ高圧水ノズル取付部3の内部空間31dと連通する複数の高圧水ノズルと、圧縮空気を供給するために高圧水送管6内及び高圧水ノズル取付部3の内部空間31d内を貫通しかつ装置10の下端まで延在するエアー送管5と、エアー送管5を通して供給された圧縮空気を放出するためにエアー送管5の下端に接続されかつ中心軸Cの周りに均等に配置された複数のエアーノズル12と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ノズル内の流路における異物の付着を防止し、被処理基板に対する塗布液の塗布
の際に、ノズル吐出口から処理液を均一に吐出する。
【解決手段】吐出口１６ａから塗布液を吐出するノズル１６と、前記ノズル１６の待機期間において前記ノズル１６内の流路が前記塗布液から前記塗布液の溶剤Ｔに置換された状態で保持するメンテナンス手段２６とを具備し、前記メンテナンス手段２６は、前記ノズル１６に前記溶剤Ｔを供給する溶剤供給手段３３，３４と、前記ノズル１６の吐出口１６ａとの間に所定の間隙を形成する液保持板２８の液保持面２８ａと、この液保持面２８ａを洗浄する液保持面洗浄手段５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】ワークを治具により姿勢制御可能な洗浄装置において、省スペースで安定した治具を提供することを目的とする。
【解決手段】治具２は、外枠３と、基台１０と接続可能な接続台４と、ワークＷを保持するための支持台５と、リンク機構とを備える。リンク機構は、外枠３に一端が回転可能にジョイントされ、他端が支持台５に回転可能にジョイントされた２つのリンク６ａと、接続台４にヒンジ８ｂにより回転可能にジョイントされたロッド８ａを備えた２つのエアシリンダ８とを有する。この構成により、エアシリンダ８のロッド８ａが動作することで、リンク６ａが回転すると共に、ワークＷの中心を回転中心としてワークＷの姿勢制御をすることができる。 （もっと読む）

【課題】液中洗浄と気中洗浄とを行うことができるタレット式洗浄装置を提供すること。
【解決手段】タレット式洗浄装置１は、クイル２１に固定されたセンターポスト２２と、センターポスト２２に軸支されたタレットヘッド４と、ワークＷを洗浄するための洗浄工具Ｔと、タレットヘッド４を旋回させるタレット駆動装置６と、タレットヘッド４が配置された洗浄室３と、洗浄液Ｃを貯溜する洗浄槽７と、ワークＷを回動させる回動ユニット８と、洗浄液Ｃを供給する第１洗浄液供給流路１４と、洗浄液Ｃを供給する第２洗浄液供給流路１５と、第１洗浄液供給流路１４及び第２洗浄液供給流路１５に洗浄液Ｃを供給する洗浄液供給源１６と、洗浄槽７内の洗浄液Ｃを排出する排出口７ａと、を備えている。タレット式洗浄装置１は、選択された洗浄工具ＴからワークＷに洗浄液Ｃを噴射することによって液中洗浄、半液中洗浄及び気中洗浄することが可能である。 （もっと読む）

【課題】ケミカルタンカーのステンレス製カーゴタンクの酸洗作業において、安全面、効率面で問題のある手作業による酸洗方法に替えて、タンク洗浄装置を用いて無人化、自動化による酸洗方法、及びこの自動酸洗方法に好適な高い洗浄効果を得ることができる酸洗浄剤を提供する。
【解決手段】硝酸、フッ酸、硫酸、有機酸、多価アルコール、粘性助剤、錯化合物、消泡剤を含有した構成をもつ酸洗浄剤、及びこの酸洗剤を使用してタンク洗浄装置を用いて行うケミカルタンカーのステンレス製カーゴタンクの自動酸洗方法。 （もっと読む）

【課題】洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる技術を提供することを課題とする。
【解決手段】連結手段５７は、支持穴５２を囲うようにして支持ブロック５３に設けられた複数個のピン穴６１〜６８と、これらのピン穴６１〜６８の一つに嵌合するように回転ブロック５３から突出されたピン７１とからなる。ピン７１をピン穴６１からピン穴６２に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は矢印（１）のように移動する。同様にピン７１をピン穴６２から隣接するピン穴６３〜６８に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は回転中心５４を中心にして一周する。
【効果】回転ブロックを回転させ支持ブロックに固定するだけで洗浄ノズルの位置が調整されるので、洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ワークを保持する専用の台が不要にし、洗浄の死角となる部分を少なくする。
【解決手段】円筒状のワークＷを挟み込む位置に配置し、ワークＷの回転軸線と平行な軸線回りに回転し、ワークＷの外周面に接触する少なくとも３個以上の円筒状のローラ５２、５３、６３、６７と、少なくとも３個以上のローラ５２、５３、６３、６７のうち少なくとも１個を回転駆動する流体モータ８８、８９と、ワークＷに向けて流体を噴出させるノズル２０、２１、２２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 重機と併用せずともコンクリート打継面を効率的に処理する。
【解決手段】本発明に係るコンクリートの打継面処理装置１は、コンクリート打継面３を覆うことが可能なケーシング４と、該ケーシングの底部に貫通配置されたジョイント部材５と、該ジョイント部材のケーシング側端部に連結された高圧水噴射ノズル機構６とを備える。高圧水噴射ノズル機構６は、シャフト８の先端から左右２方向に２本のアーム９ａ，９ｂを延設するとともに、シャフト８の基端側をジョイント部材５に設けられた軸受７に保持させることで、シャフト８の材軸Ａの廻りに全体が回転自在となるように構成してあり、アーム９ａ，９ｂにはそれぞれ噴射ノズル１０ａ，１０ｂを設けてある。噴射ノズル１０ａ，１０ｂは、それらの噴射方向が、材軸Ａの方向ではなく、その方向に対し、アーム９ａ，９ｂの材軸廻りに角度θだけ回転させた方向を向くように構成してある。 （もっと読む）

【課題】フットプリントを小さくすることができ、排気と排液との分離機構を特別に設ける必要のない液処理装置を提供すること。
【解決手段】排気・排液部６は、主にウエハＷから振り切られた処理液を取り入れて排液する環状をなす排液カップ４１と、排液カップ４１の外側を囲繞するように設けられ、回転カップ３およびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップ４２とを有し、回転カップ３は環状の庇部材３２を含み、排液カップ４１は、庇部材３２の下側で回転カップ３に形成された排出孔３３，３４を通してウエハＷから振り切られた処理液を取り入れて排液口４３から排液し、排気カップ４２は、庇部材３２の上側で排気カップ４２に形成された導入口４２ｂを通して回転カップ３の周囲からの気体成分を取り入れて排気口４５から排気し、排液カップ４１からの排液と排気カップ４２からの排気が独立して行われる。 （もっと読む）

【課題】微小洗浄水粒子を含んだ空気との混合流体を噴射して、塗装表面に付着したカーボン等を含んだ埃を除去できる混合流体噴射装置を提供すること。
【解決手段】混合流体噴射装置１０は、流入した空気１と洗剤を含む洗浄水３Ａを同じ圧力にする二流体混合タンク１１と、二流体混合タンク１１から接続する空気通路１２と、洗浄水通路１３Ａと、空気通路１２と洗浄水通路１３Ａとを接続して洗浄水３Ａを微小洗浄水粒子に形成するエジェクタ部１５と、圧縮空気１と微小洗浄水粒子との混合流体５を高速で噴射する噴射ノズル１６とを備えている。エジェクタ部１５において空気通路１２を狭小の絞り部１５１を形成することにより、負圧室を構成し、少量の水３を送って洗浄水３Ａを微小洗浄水粒子に形成する。微小洗浄水粒子３を含んだ混合流体５を高速で噴射することにより、微小洗浄水粒子３を破壊させて少量の残留汚染物質を塗装表面から除去する。 （もっと読む）

【課題】３つ以上の噴射装置を有する高圧洗浄装置において、特殊な仕様の流路切換装置を使用することなく、標準の流路切換装置を使用する。
【解決手段】流路切換弁６３をオフ状態に切り換えると、第１流通管７２と第２流通管７３とが油圧配管８０を介して連通され、第１油圧モータ６５が回転駆動される。一方、オン状態に切り換えると、第１流通管７２と第３流通管７４とが連通されるとともに第２流通管７３と第４流通管７５とが連通される。ここで、流路切換弁６４を第１の状態としてのオフ状態に切り換えると、第３流通管７４および第４流通管７５を通じて第１流通管７２と第２流通管７３とが油圧配管８１を介して連通され、第２油圧モータ６６が回転駆動される。また、オン状態に切り換えると、第３流通管７４および第４流通管７５を通じて第１流通管７２と第２流通管７３とが油圧配管８２を介して連通され、第３油圧モータ６７が回転駆動される。 （もっと読む）

【課題】 洗浄対象物に洗浄液混合の圧縮気を噴射可能であると共に、周囲にミストが飛散しなよう吸引回収可能であり、洗浄液を切り替えて汚れや塵埃などを除去し、最終的に圧縮空気のみを噴射して、洗浄の全工程を一挙に完了可能とする新たな洗浄技術を提供する。
【解決手段】 グリップ２の先端に一体化してなる吸引筒７の先端中央に、同吸引筒７に対して同心状配置で、その先端がわ方向に向けた洗浄ノズル８を設け、該グリップ２の基端から該洗浄ノズル８に達する主圧縮気回路３の適所に噴射スイッチ６を配し、該主圧縮気回路３適所から分岐した負圧誘導回路３３の末端を、当該吸引筒７内壁適所において、同吸引筒７末端がわに向けて開口し、当該グリップ２内の一液回路４１および別液回路４２の各内端に液路切換器５を接続し、且つ、同液路切換器５の吐出路５１を、当該主圧縮気回路３の適所に配した気液混合器３５に接続してなる洗浄ガン１である。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等の製造に用いる基板、例えばフォトマスク用基板、フォトマスクブランク、フォトマスク、あるいはそれらの製造中間体等を洗浄した場合に、異物の発生を極めて少なくすることができる基板の洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも、超純水により基板を洗浄する際に超純水を噴出するための超純水噴出ノズルと、該超純水噴出ノズルから超純水を噴出して基板の洗浄を行う基板洗浄室とを有する、基板の洗浄を行うための洗浄装置であって、少なくとも、超純水による基板の洗浄の前後の待機中に前記超純水噴出ノズルを待機させるための、前記基板洗浄室とは隔壁により仕切られた超純水噴出ノズル待機室を有し、該待機室は、排水機構と前記超純水噴出ノズル待機室から前記基板洗浄室へのミスト拡散防止機構を具備するものであることを特徴とする基板の洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】平板材料の表面に付着しているゴミを拭き取るゴミ取りロール３１の清掃装置３２の洗浄液吐出ノズル３０の塵埃微粉による目詰まりを解消する。
【解決手段】洗浄液吐出口１１と、洗浄液供給管１２から供給される洗浄液が入り込む注入口１３と、注入口から吐出口まで洗浄液を導く流通管１４を具備するノズル本体１５に、流通管１４から吐出口に向けて進退移動する針桿１６と、針桿を吐出口に向けて進退駆動する駆動装置１７を付設する。吐出口に塵埃微粉が入り込んでも、その塵埃微粉が、流通管から吐出口へと移動する針桿に叩き出され、同時に、洗浄液にも流し出されるので、吐出口の目詰まりが回避される。吐出ノズル３０の内側から塵埃微粉を吐出し排除するので、吐出口がシートで覆われていても支障を来さず、清掃装置の拭取シート１８をゴミ取りロール３１に摺接させるバックアップ材に吐出ノズルを使用することも出来る。 （もっと読む）

【課題】被洗浄体が、例えば、孔または溝等、複雑な形状の凹凸部を有した場合であっても、凹凸部に付着した異物を被洗浄体から除去することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄水１の中で、異物が付着した被洗浄体４に向かってマイクロバブル６を噴射して異物に吸着させ、異物を被洗浄体４から分離させ、マイクロバブル６が洗浄水１の水面に向かって浮上するのに伴って異物を浮上させて、被洗浄体４を洗浄する洗浄装置であって、洗浄水１を貯留する洗浄槽２と、マイクロバブル６を噴射するマイクロバブル噴射器３と、被洗浄体４を保持するハンド部５ｃを有しているととともに、被洗浄体４を移動させるロボットアーム５と備え、ロボットアーム５は、被洗浄体４を移動させて、被洗浄体４とマイクロバブル噴射器３との相対位置を変えながら、マイクロバブル６を被洗浄体４に衝突させる。 （もっと読む）

洗浄液をスプレー状に太陽光モジュールに噴射することにより、太陽光タイプ及び太陽熱タイプの太陽光モジュールを洗浄する装置が記載される。この装置はトラクター車両又はその類似物に牽引されるタイプのものであり、連結された平行基礎構造を備えた多関節ユニットを実装するものであり、運搬車両に結合された支持構造周りのピボット動作が可能なものであって、末端のプロジェクションバーを含む伸縮アームの反対端において接続され、多様な動作位置をとり、洗浄液を噴射するための複数のノズルを備える。前記プロジェクションバーは、表面の位置付けをするための複数のメカニカルセンサを備える。異なる動作が油圧シリンダの動作により制御された方式で実行され、プロジェクションバーと伸縮バーとの間の関節ジョイントは前記プロジェクションバーの最大傾斜角の調整手段を含む。 （もっと読む）

【課題】均一な洗浄性能を得るとともに、洗浄液供給ノズルと被洗浄基板との間に液膜を形成する際の使用液量を低減することが可能な超音波洗浄ヘッドを備える超音波洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】超音波を、供給される洗浄液に照射することで、被洗浄基板３０を洗浄する超音波洗浄装置１０において、被洗浄基板３０を垂直な姿勢で保持する基板保持手段３１と、洗浄液を供給する複数の超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂを備え、超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂは、超音波を発生させる超音波振動子２１ａ、２１ｂと、洗浄液を噴射する洗浄液供給ノズル２２ａ、２２ｂを備え、複数の超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂは、被洗浄基板３０の洗浄方向に沿って複数設けられており、各洗浄液供給ノズル２２ａ、２２ｂの開口部の中心軸が被洗浄基板３０と超音波洗浄ヘッド２０ａ、２０ｂの間で交差することを特徴とする超音波洗浄装置１０である。 （もっと読む）