【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】インデクサロボット６は、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、基台部８を左右方向に移動することができる。また、基板保持ハンド１１４または１２４を基板受け渡し位置Ｓまで進出させる場合には、基台部８が搬送路７と交差する方向に移動して基板受け渡し位置Ｓ寄りに位置することで、基板保持ハンド１１４または１２４の進出距離を短くすることができるので、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２の各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。よって、移動範囲Ｐ１を小さくし、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】回動体の回動を適切に規制できる回動装置を提供する。
【解決手段】回動装置２は、ベース体７に対して回動中心軸線Ｘを中心として回動する回動体３を備える。ベース体７には、回動中心軸線Ｘを中心とする円周上に互いに間隔をおいて並んで位置する複数の係合凸状体11を設ける。ベース体７には、選択した係合凸状体11と係合する係合凸部21を有するベース側ストッパ体22を取り付ける。回動体３には、ベース側ストッパ体22と当接して回動体３の回動を規制する回動側ストッパ体27を設ける。
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【課題】 電解質托体層で電気分解が発生しない条件において応答速度を向上させた導電性高分子アクチュエータ、前記導電性高分子アクチュエータの駆動方法、前記導電性高分子アクチュエータを利用するロボットを提供することを目的とする。
【解決手段】 酸化還元反応により膨張収縮する導電性高分子膜に対して、酸化する場合には電解質托体層の電位窓の上限に相当する電位を、還元する場合には電解質托体層の電位窓の下限に相当する電位を加えるようにする。このようにすることで、電解質托体層に含まれるイオンの移動速度が最大限高まるようになり、電解質托体層で電気分解が発生しない条件において応答速度を向上させた導電性高分子アクチュエータが得られるようになる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ加工作業中に光ファイバに生じ得る絡みや撓みの問題を解消でき、しかもロボットの外形寸法の増加を効果的に抑制できるレーザ加工用ロボットを提供する。
【解決手段】 マニピュレータ１４の腕部２８は、第１制御軸４４に関して固定配置される第１部材４８と、第１制御軸４４に関して回転可能に第１部材４８に支持され、手首部２６を有する第２部材５０とを備え、配線通路５２が第１及び第２部材の内部に連続して形成される。第１部材には光ファイバ導入口５４が設けられ、第２部材の手首部には光ファイバ導出口５６が設けられる。レーザ加工ツール１８は、第２制御軸４６に関して旋回可能な装着部６０と、装着部に内設され、光ファイバ２２から出射されたレーザ光を反射してノズル部６４のレーザ光通路６２に導く反射部６６とを備え、光ファイバの出力端面２２ａが、光ファイバ導出口５６と反射部６６との間に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】 プローブ、ピンセットあるいはシリンジなどの各種のマニプレータを簡単な操作で且つ高い自由度で位置決めすることのできる簡単な構成の三次元位置決め装置を提供すること。
【解決手段】 基台、この基台に第一の軸により支持され、第一の軸と共にあるいは第一の軸を中心にして独立に回転する第一の回転支持部、第一の回転支持部に、第一の軸に垂直な第二の軸により支持され、第二の軸と共にあるいは第二の軸を中心にして独立に回転する第二の回転支持部、そして第二の回転支持部に、第二の軸に垂直な第三の軸により支持され、第三の軸と共にあるいは第三の軸を中心にして独立に回転する、マニプレータ支持用の第三の回転支持部を含むマニプレータ三次元位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】基板を安定して移送することができ、基板の収納状態も感知することができる 基板移送装置を提供すること。
【解決手段】基板移送装置はハンド１３０ａ、１３０ｂがピックアップ位置から溝の位置に戻った時、ハンド１３０ａ、１３０ｂのポケット部１３２に配置された基板Ｗを把持する把持部材１４０を含む。この把持部材１４０は基板Ｗのエッジと面接触する湾曲部１４４ａを有し、そして少なくとも一つのハンド１３０ａ、１３０ｂの移動方向と同一の方向に移動可能に前記ベース上に設けられるプッシャー１４４及びプッシャー１４４が基板Ｗのエッジを側方に押すように弾性力を加える弾性体１４６を含み得る。 （もっと読む）

例えば内視鏡を用いた外科手術において、手術用具を挿入するために人体に開設した穴を押し拡げることなく、かかる手術用具の先端を体内において処置が必要な部位へ位置決めするユニットを提供する。このユニットは手術用具等の可動部材に対して枢動自在に接続されると共に互いに平行に且つ往復動自在に設けられた第１及び第２の出力軸と、この第１の出力軸に対して任意の進退量を与えると共に、前記第２の出力軸に対しては第１の出力軸の進退量と常に一定比率（≠１）の進退量を与える駆動手段とから構成されている。
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【課題】被製版ロールや印刷ロールを挟持して昇降自在・垂直面内に往復旋回自在・垂直面内に往復旋回自在・搬送自在であることにより、他の装置との間でまたは他の場所へ被製版ロールの受渡しを行える、ロールハンドリング装置。
【解決手段】走行台車装置に装着された旋回台に、昇降台装置を備えた支柱が立設され、昇降台に装着された垂直旋回台に基端を水平アームが固定され、水平アームには水平アームと一体に旋回する一対の挟持アームが互いに接近移動・離隔移動自在に設けられ、一対の挟持アームに一対のロール挟持具を備えている。被製版ロールを、一対のロール挟持具によりロールの面長方向中央部を挟持中心として挟持して昇降自在・垂直面内に往復旋回自在・垂直面内に往復旋回自在・搬送自在であることにより、他の装置との間でまたは他の場所へ被製版ロールの受渡しを行う。 （もっと読む）

【課題】 ロボット動作域に周辺機器等の配置が余儀なくされる場合、第６軸部駆動用モータの存在に基因してロボットの動作に制約が課されないようにする。
【解決手段】 エンドエフェクタ駆動台７は、傾動アーム５から独立した別部品で構成され、基準軸線２とで一平面を形成するように置かれた上下軸線を持つエンドエフェクタ装着部１４の周囲に、センタから等距離にある複数の当接面１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃが形成される。傾動アーム５の下端には当接面１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃを着座させることができる接合座５Ａが形成され、エンドエフェクタ回転用モータ搭載部１５の傾動アーム５に対する位置を変更するとき、エンドエフェクタ装着部１４における現用当接面１７Ａと異なる当接面１７Ｂ，１７Ｃを接合座５Ａに付け替えることによりエンドエフェクタ駆動用モータ９を位置替えし、周囲物との干渉を回避できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の搬送ロボットの回動により、搬送ロボット自身から発生する塵埃を低減して、かつ、ガラス板を含む稼働範囲を狭くすると共にガラス板の可搬送範囲を広くする。
【解決手段】駆動源による駆動アームの回動を、ガラス板を保持するエンドエフェクタを回動可能に支持する従動アームに伝達する回動伝達手段を駆動アームと従動アームとから独立して備えることで、駆動源の上方領域をエンドエフェクタが進退運動により通過できる搬送ロボット。 （もっと読む）

【課題】 ロボットの寿命が予想外に短くなることを防止できるロボットの寿命時間予測方法を提供する。
【解決手段】 本発明のロボットの寿命時間予測方法は、複数の軸を備えるロボット１０が動作可能な寿命時間を予測する方法であって、基準となる基準動作パターンでロボット１０を基準寿命時間Ｔｇ内に繰り返し動作させたときに発生する前記軸ごとの総トルク量τｓ１〜τｓ６を用いて、該基準動作パターンとは異なる任意動作パターンでロボット１０を繰り返し動作させたときのロボット１０の寿命時間を予測する（ステップＳ５）ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロボット本体における軸順序（駆動軸の順序）と駆動装置における軸順序とを容易に入れ替え可能な、多関節ロボットの制御装置を提供する。
【解決手段】複数の駆動軸を有するロボット本体５を制御する多関節ロボットの制御装置１１において、ロボット本体５における少なくとも位置および角度を算出するロボット機構計算部１と、ロボット本体が具備する複数の駆動軸の軸順序を入れ替え可能な軸入れ替え部２とを有し、前記軸入れ替え部２を介して前記ロボット機構計算部１によりロボット本体５が具備する複数の駆動軸を制御するようにした。これにより、従来使用していた駆動装置４を用いながらも、ロボット本体５における駆動軸間のサーボモータの入れ替えに容易に対処できるものとなる。
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【課題】ロボットの第１アームとワークや治具の干渉が少ない産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 ロボットの第１アーム９を、旋回部４に対して回動する方向に、かつ第１アーム９と第２アーム１２の内角と反対方向に湾曲させることにより、ロボットが治具１６上に保持した箱形状のワーク１７の内側で作業を行う場合、湾曲したアームの凹空間１３において、干渉点１８との干渉を避けることができ、ワーク底面１９まで作業することができるので、従来のロボットのワーク内作業領域に比べ、広いワーク内作業領域２０を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】ロボットのアーム部（５）のためのロボットの手首部（７）は、第１の軸（Ｃ）を中心として回転するように配置された傾動ハウジング（８）を有し、更に、この傾動ハウジング（８）が第１の軸（Ｃ）を中心として回転するようにさせる第１のモータ（１０）及び第１のギアアセンブリ（１１）を有しており、そして、第１のモータ（１０）の出力シャフト（１５）が、第１の軸（Ｃ）と同軸となるように配置されている。
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【課題】 本発明は搬送構造を改善した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 本発明による基板搬送装置は、ベース部２０と；ベース部２０上に直線運動ができるように設置されて、回転体３２が備わっている運動部３０と；運動部３０の両側に並立設置されて、高さ調節が可能な一対のフレーム部４０ａ、４０ｂと；一対のフレーム部４０ａ、４０ｂの間に連結されて、フレーム部４０の高さ調節動作に連動して、上下直線運動する搬送部５０と；を含んで構成される。これにより、構造的な安全性を確保した状態で、簡便で精密に基板、特に大型基板を搬送させることが可能になる。 （もっと読む）

本発明の遠隔操作アームは主アーム（５）及び従アーム（１）を備え、それら２つのアームは互いに機械的に分離されており、且つ、制御ユニット（７）と、従アームを駆動させるための機械ユニット（８）とを有するインターフェースシステム（６）によって連結されている。本発明によれば、機械ユニット（８）は、固定モータと、従アームの水平部分の管状セグメント（３）を少なくとも完全に１回転させて作業負荷を増大させる伝達装置とを有している。
選択図 図１
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【課題】ガラス固化装置の危険な隔室領域で、目標対象物を操作・加工するのに適用することができる種々の装置を提供する。
【解決手段】目標対象物を操作する方法および装置を開示し、マニピュレータ（２３）は、トロリ−（１３）に固定される基礎（２３）と、使用者が遠隔操作できるように基礎（２３）に搭載された流体圧ア−ム（２４）とを備えている。アーム（２４）は、基礎（２３）から離れた端部に、目標対象物に作業を施すための種々の工具を取り付けるように配設された工具連結具（２５）を具備している。 （もっと読む）

【課題】アームの熱膨脹収縮により生じるハンド部材の偏位量を許容範囲内に収めることができるアーム回動形のワーク搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】固定プーリ８，２７と、一端が固定プーリ８，２７に対して回動自在に支持されたアーム１３，２６と、アーム１３，２６の他端に回転自在に支持された回転プーリ１５，２９と、固定プーリと回転プーリとの間に張設されたベルト１７，３０とを備えたアーム機構を多段に設けて、最終段のアーム機構の回転プーリ２９にハンド部材４０を取り付けたワーク搬送用ロボットにおいて、アーム１３，２６の熱膨脹収縮によりハンド部材４０に生じる偏位を許容範囲に収めるように、テンションローラ２２，３５からベルト１７，３０に与える張力を調整するようにした。 （もっと読む）