【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マニピュレータの設置位置を変えることなく上部及び前方からのアプローチを可能にした双腕型ロボットマニピュレータを提供する。
【解決手段】旋回軸Ｊ８上に配置された胴体１と、前記胴体１に備えられた右腕２Ｒおよび左腕２Ｌと、前記右腕２Ｒおよび前記左腕２Ｌが複数の関節軸Ｊ１〜Ｊ７で構成された双腕型ロボットマニピュレータにおいて、前記右腕２Ｒおよび前記左腕２Ｒの第１の関節軸Ｊ１が前記胴体１の前方に配置されたものである。 （もっと読む）

【課題】各アームを独立して動作させるとともに、各アームの上下方向の座標位置を同じにして、ワークの搬送時間等を短縮することができる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】基台部１００側からアーム部２及びハンド部３の順で連結され、そのハンド部３を所定方向に向けながら伸縮自在に動作するアーム１０を２つ以上有する産業用ロボットであって、アーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮軸２Ａ，２Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを伸縮させるアーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂと、アーム旋回軸３Ａ，３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂと、ハンド部１２の上下方向の座標位置Ｐ１，Ｐ２をほぼ同じにする連結部材１３Ａ，１３Ｂとを備えるように構成して、上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】教示作業に要する時間を短縮することができる把持候補位置選出装置を提供する。
【解決手段】ワークの形状モデルを構成する複数の形状片に対して、法線ベクトルをそれぞれ計算する法線ベクトル計算手段と、複数の形状片のなかから、計算される法線ベクトルの内積が閾値以下であって、かつ、一の形状片の法線から他の形状片までの距離が許容範囲内に含まれる形状片の対を、ロボットハンドによる把持候補位置として選出する候補位置選出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マニピュレータの設置位置を変えることなく上部及び前方からのアプローチを可能にした双腕型ロボットマニピュレータを提供する。
【解決手段】旋回軸Ｊ８上に配置された胴体１と、前記胴体１に備えられた右腕２Ｒおよび左腕２Ｌと、前記右腕２Ｒおよび前記左腕２Ｌが複数の関節軸Ｊ１〜Ｊ７で構成された双腕型ロボットマニピュレータにおいて、前記右腕２Ｒと前記左腕２Ｌは、全て共通のアーム体で構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】汎用的に適用可能で、特に好適には工作機械に前面入口から加工材または工具を送給または取り出すことに適する取扱マニピュレータ装置を得る。
【解決手段】取扱マニピュレータ装置１に、垂直方向に延在し垂直軸線の周りに回転可能な主支持体２と、垂直方向に移動可能な垂直キャリッジ９によって主支持体２に支持した水平伸展アーム１２および、直接的または間接的に水平伸展アーム１２に支持したグリッパ１８を設け、水平伸展アーム１２をリニアガイドによって水平方向に移動可能に垂直キャリッジ９に支持し、水平伸展アーム１２に垂直軸線１５の周りに回転可能な関節連結アーム１４を設け、この関節連結アーム１４の端部にグリッパを設ける。好適には、主支持体２を水平方向に移動可能な主キャリッジ５上に固定する。 （もっと読む）

【課題】昇降動作のストローク量を大きく確保するとともに装置全体の高さを低く抑えることができる、低床型の搬送装置を提供する。
【解決手段】固定ベース１と、旋回ベース２と、この旋回ベース２を固定ベース１に対して昇降させる昇降機構３と、旋回ベース２を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構と、旋回ベース２に支持された直線移動機構５と、直線移動機構５に支持され、直線移動機構５の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド６Ａ，６Ｂとを備えた搬送装置Ａであって、昇降機構３は、固定ベース１に対してテレスコピック状に伸縮するように組み合わされた２段の昇降部材３１，３２と、各段の昇降部材をその下位段の部材に対して昇降させる第１および第２の昇降駆動機構３３，３４と、を備えて構成されており、かつ、旋回ベース２は、最上位段の昇降部材３２に支持されている。 （もっと読む）

少なくとも１つの駆動軸を有する駆動部と、少なくとも１つの駆動軸に動作可能に連結される少なくとも２つのスカラアームと、を有する基板搬送装置であって、少なくとも１つの駆動軸は、少なくとも２つのスカラアームの伸長および収縮を生じさせる少なくとも２つのスカラアームのための共通駆動軸であり、少なくとも２つのスカラアームは、少なくとも２つのスカラアームに連結される少なくとも１つの駆動軸によって、駆動軸の回転が、少なくとも２つのスカラアームのうちの別の１つの運動に実質的に関係なく、少なくとも２つのスカラアームのうちの１つの伸長および収縮を生じさせるように、互いに連結される。
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【課題】 回転部材にケーブルを配線する際に，ケーブルを構成する各線条体にかかる負荷を抑えつつ，回転部材の回転に伴ってケーブルが動いた場合の擦れ合いや絡み合いを防止し，ケーブルの配線スペースをより省スペース化できる。
【解決手段】 ケーブルを収容するケーシング１１０と，ケーシング内の上方に鉛直軸回りに相対的に回転可能に配設された回転板１２６と，帯状に配列された複数本の線条体を相互に接合して一体化してなり，各線条体が鉛直方向に配列するように回転板に配線されるフラット状のケーブル２００とを備え，ケーブル２００は，その一端を回転板の回転中心からずれた位置に取付けて，そこから下方に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように，その他端をケーシングに取付けた。 （もっと読む）

【課題】安全性が高く、かつ人間的なスムーズな動きを再現して上肢の動作を好適に支援すると共に、多様な場面で使用者の利便に供し、高いリハビリ効果の期待できる動作支援装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】使用者の上肢の動作を検出する第１検出手段３０と、上肢の位置および姿勢を検出する第２検出手段１４ａ、１６ａ、１８ａ、２０ａとを有し、これら各手段からの情報によって制御下に作動するマニピュレータ１２を備え、このマニピュレータ１２の先端は使用者の上肢が離間自在であり、該マニピュレータ１２を第１検出手段３０および第２検出手段１４ａ、１６ａ、１８ａ、２０ａからの情報でフィードバック制御することで、上肢の動作を好適に支援する。 （もっと読む）

【課題】放射線治療システムにおいて、治療台の干渉を回避して安全性を向上させると共に、治療効率を向上させること。
【解決手段】放射線治療システム１０は、治療用放射線を照射する照射ノズル１１と、多関節ロボットで構成され且つ患者を乗せて照射ノズル１１から照射される治療用放射線の照射位置に患者１３の患部を位置決めする治療台１２と、照射ノズル１１及び治療台１２を制御する制御部と、制御部に制御信号を入力する操作装置２０と、操作装置２０の操作者１９の位置を検出する位置検出手段を備える。制御部は、位置検出手段で検出した操作者１９の位置を基に当該操作者１９との干渉を回避する移動経路を算出する経路算出装置４２と、経路算出手段で算出した移動経路を基に治療台１２の移動を制御する治療台制御装置４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】特異点に接近もしくは通過するような目標軌道を与えられた場合でも、計算上の破綻なく連続してマニピュレータを動作させて作業を続行可能とする。
【解決手段】作業用マニピュレータの制御装置は、目標値生成手段１０１、感度パラメータ計算手段１０３、対応感度計算手段１０５、複数の制御手段１０９〜１１３、制御方式切替手段１０７、及び外力検出手段を備える。感度パラメータ計算手段１０３はマニピュレータ機構からの関節変位応答を用いて感度パラメータを計算し、対応感度計算手段１０５は感度パラメータを用いて対応感度を計算し、制御方式切替手段１０７は対応感度に基づいて制御手段１０９〜１１３の切り替えを行う。各制御手段１０９〜１１３は、目標値、関節変位応答、外力検出手段で検出された外力、及び感度パラメータを用いて制御処理を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】日常生活で、自らの腕のように操作できる小型、軽量、安全な日常生活支援マニピュレータ装置を実現する。
【解決手段】互いに多関節状に接続される複数のアーム構成要素は、平行リンクを構成する駆動リンク６、１２および従動リンク５、１１を備えたアーム構成要素を含み、駆動リンク１７を備え従動リンクを備えていないアーム構成要素を含み、駆動リンク６、１２、１７および従動リンク５、１１は、それぞれ両端が、支持体３、９、１５、２０に回転可能に取り付けられており、駆動リンク６、１２、１７は、その一端において回転軸を介して支持体３、９、１５に付設されたモータにより駆動され、従動リンク５、１１や駆動リンク１７には、支持体９、１５、２０との間でバネ８、１４、１９が装着されていることを特徴とする日常生活支援マニピュレータ装置２９を提供する。 （もっと読む）

【課題】 旋回軸等を含む多軸の搬送ロボッハンドを容易に直線的に動作させるため直交ロボットをアームとしたために起きる装置が大型化し、取り回しが困難と成るという欠点を取除き、旋回半径が小さいアームを有する搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】 旋回軸等を含む多軸の搬送ロボットにおいて、搬送物を載せるハンドを駆動するアームは２個のステージ有し、一側はハンドに、他側は１個の軸に固着した直交ロボットであることを特徴とする旋回軸等を含む多軸の搬送ロボットとした。 （もっと読む）

【課題】搬送中における基板に対して適切な処置を施すことができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置５０は、第１基板収容部２０と第２基板収容部３０との間を移動可能なフォーク支持体５１と、フォーク支持体に移動可能に支持されたフォーク６０，６５と、を備える。フォークは、第１基板収容部から第２基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置において支持し、第２基板収容部から第１基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置とは異なる第２支持位置において支持する。第１支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置に配置され、第２支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置とは異なる第２待機位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】日常生活で、自らの腕のように操作できる小型、軽量、安全な日常生活支援ロボットアーム装置を実現する。
【解決手段】互いに多関節状に接続される複数のアーム構成要素は、平行リンクを構成する駆動リンク６、１２および従動リンク５、１１を備えたアーム構成要素を含み、駆動リンク１７を備え従動リンクを備えていないアーム構成要素を含み、駆動リンク６、１２、１７および従動リンク５、１１は、それぞれ両端が、支持体３、９、１５、２０のいづれかに回転可能に取り付けられており、駆動リンク６、１２、１７は、その一端において回転軸を介していづれかの支持体３、９、１５に付設されたモータにより駆動され、従動リンク５、１１や駆動リンク１７には、いづれかの支持体９、１５、２０との間でバネ８、１４、１９とダンパー２６、２８、３０が装着されていることを特徴とする日常生活支援ロボットアーム装置３５を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ロボットが動作するときの力を適切に制限する。
【解決手段】 ロボットは、複数のリンクが関節を介して接続されているロボット本体と、ロボット本体の関節を動かすモータと、モータに通電している電流を計測する電流計測手段と、ロボット本体の静止時に電流計測手段によって計測された電流値に基づいて、モータに通電する電流の上限値を設定する上限値設定手段と、上限値設定手段によって設定された上限値以下の範囲で、モータに通電する電流を調節するモータ駆動手段を備える。 （もっと読む）

【課題】吸着力を保持しながら基板の変形に追従するとともに、外力が開放されたとき（基板開放時）に元の位置に戻る復元力を有し、安定的な基板吸着装置およびこれを用いた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】基板吸着部１４１を有する中空の吸着パッド１４と、この吸着パッド１４を弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材１５と、エア吸着力を発生する基板吸着部１４１とを備えた基板吸着装置１３において、
摩擦低減機構を有するマニホールド１６と、前記吸着パッド１４と前記マニホールド１６との間に弾性体１８を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク等の基板の移載が容易に行える基板移載装置を提供する。
【解決手段】本発明による基板移載装置１００は、ベース部１１１に固定されたシャフトを中心に回転可能な回転胴部１１２と、回転胴部１１２の側面に上下動可能に取り付けられたアーム部１２０と、アーム部１２０の先端部に水平方向に回転可能に取り付けられた把持部１３０とを備える。把持部１３０は、上下動可能な下側把持爪１３３と上側把持爪１３４とによって、移載対象となる基板を垂直に立てた状態で上下方向に把持する。更に、把持部１３０は、垂直に立てた状態で把持されている基板に垂直な軸を中心に微小角度回転することができ、基板の重さでアーム部１２０がたわんで把持部１３０が傾いてしまうような場合にも、基板を水平に保持することができる。 （もっと読む）