【課題】 ロボットの教示の際のアーム同士の特異姿勢の発生を回避する。
【解決手段】 複数のアーム、関節及び駆動源を備えるマニピュレータ装置１０と走行装置２０とを備えるロボット１の教示装置３０において、教示点入力手段３７と、入力教示点に基づく複数の移動目標位置Ｔ１ごとにマニピュレータ装置の先端部１４を位置決めする際に、第二の関節１３ｂが屈曲状態を維持した状態での走行装置の走行方向及び走行距離を求める走行距離算出手段と、当該求められた走行方向及び走行距離を反映させてロボットの制御データを生成するデータ生成手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ウェーハアライメント専用装置やウェーハアライメント用のアクチュェータを使用せずに、フットプリントを最小に抑えて、低発塵でかつ、高スループットなアライメント機能を有するウェーハの搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハを把持するウェーハ把持部４１と、前記ウェーハ把持部４１を支持するアーム部４０と、機台１とを有し、前記機台１は、機台座１０と、前記アーム部４０を固定支持し、かつ前記機台座１０に対して回転自在なる旋回基軸３とを有し、前記ウェーハ把持部４１は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサ５を有し、前記ウェーハが載置されるウェーハ置台１１を前記旋回基軸３が回転する回転軸心上に位置するように前記機台１に設けた。 （もっと読む）

【課題】 荷物の傾きを補正可能な荷受装置及び運搬機械を得る。
【解決手段】 運搬機械本体のツール支持部に取り付けられる基体２１と、基体２１に水平軸Ｊ６まわりに傾動可能に取り付けられ、荷物を支持する荷受体２２とを備え、移動体３２及び案内体３３からなる一対の直動案内３１，３１を、水平軸Ｊ６から離れた位置で、移動体３２の移動方向における互いの間隔が連続的に変化するように、一方を他方に対して傾斜させた状態で基体２１及び荷受体２２にそれぞれ取り付け、該一対の移動体３２，３２間を連結体３４，３５で連結し、該連結体に取り付けられたナット３６に係合するねじ軸３７を駆動装置Ｍ５により回動させて、連結体３４，３５を案内体３３，３３に沿って移動させることにより、荷受体２２を水平軸Ｊ６まわりに傾動させ、荷受体２２に支持された荷物を略水平に支持する。 （もっと読む）

【課題】直動する距離以外の移動体の長さや余裕長さが不要であり且つ静粛性に優れた小型移載機を提供すること。
【解決手段】水平方向の進退動作と、水平面内での旋回動作が可能なロボットハンド１３０を有する小型移載機において、前記ロボットハンドは、駆動アーム１６０の揺動によって、水平方向の進退動作が行われ、回転テーブル１１０下側に前記回転テーブルと同軸上に水平駆動用モータ１５０と干渉しない位置に固設された半円強の旋回用ギヤ１７０と、旋回駆動用モータ１９０の回転軸に固設された駆動用ギヤ１８０との噛み合いにより水平面内での旋回動作が行われる構成としたことにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 ロボットが使用される状況に応じて要求される条件を考慮することで、アーム先端を目標位置に移動させるために必要な走行軸の移動量を自動的に決定することができるロボット制御装置を提供する。
【解決手段】 ロボットの制御を行うコントローラは、垂直多関節型で６軸のアームの先端について、現在位置（Ｘ０，Ｙ０，Ｚ０）と所定時間後の目標移動量（ΔＸ，ΔＹ，ΔＺ）とに基づいて決定される目標位置（Ｘｃ，Ｙｃ，Ｚｃ）に対し（ステップＳ１〜Ｓ４）、その時点でアームが保持している第２関節角度θ２と第３関節角度θ３との和が一定となることを拘束条件として、アームの先端を目標位置に移動させるために必要な走行軸上における所定時間当たりの移動量ΔＸ３を計算する（ステップＳ５）。 （もっと読む）

【課題】 構造的に簡単な手段により実現可能なエネルギ案内ユニットを案内する案内ユニット及び案内装置を提示する。
【解決手段】 定置接続部（２）及び可動接続部（３）を持つエネルギ案内ユニット（１）を案内する案内ユニットにおいて、案内ユニットが互いに実質的に同心的に設けられる内側案内通路（７）及び外側案内通路（８）を持ち、両方の案内通路（７，８）が分離ユニット（１０）により互いに分離され、内側案内通路（７）が内側区画壁（９）を持ち、外側通路（８）が外側区画壁（１１）を持ち、分離ユニット（１０）が外側区画壁（１１）又は内側区画壁（９）より小さい高さを持っている案内装置は、定置接続部（２）と可動接続部（３）及び定置接続部と可動接続部との間で三次元的に偏向可能な少なくとも１つの範囲を持つ少なくとも１つの三次元的に偏向可能なエネルギ案内ユニット（１）及び案内ユニットを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 ケーブルにおける過度の弛みおよび張りを防いで、ケーブルの寿命を延ばすとともに、アームの可動範囲を広げることができる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 カバー体６１がケーブル２２を覆い、ケーブル保持部５１が手先第１軸線Ｌ１まわりに角変位自在に設けられる。また第３手首可動部４２に連結されて、ケーブル２２が緩やかに挿通するケーブル案内部５２を有する。これによってケーブル２２が手先基部３９から大きく突出することがなく、弛んだケーブル２２が周辺機器に干渉することを防ぐことができる。これによってケーブル２２の寿命を延ばすとともに、狭い領域にロボットを配置することができる。また、ケーブル案内部５２の挿通孔をケーブル２２が挿通することによって、ケーブル案内部５２に対してケーブル２２が移動することが許容され、ケーブル２２が過度に張ることを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 搬送対象物の姿勢を自由に変更可能であり搬送対象物の搬送速度を向上させることができる搬送装置、搬送ロボット及びプレスラインを提供する。
【解決手段】 カム型３ｆのような障害物がプレス機械３に設置されている場合には、搬送対象物Ｗの姿勢を同一にして搬送すると搬送対象物Ｗがカム型３ｆと干渉して搬送対象物Ｗを搬送することができない。このため、先ず、スライド駆動モータがアーム部９を個別にスライドさせて、アーム部９をＢ₁方向に前進させプレス機械３内でクランプ部８に搬送対象物Ｗを保持させる。その後に、搬送ロボット５のＴ軸駆動モータが駆動軸５ｍを回転させて、アーム部９と一体となってガイド部１１をＡ方向に回転させるとともに、回転駆動モータがクランプ部８を個別に回転させて搬送対象物Ｗを回転させる。その結果、搬送対象物Ｗの姿勢が変化するため搬送対象物Ｗとカム型３ｆとの干渉が回避される。 （もっと読む）

本発明の課題は、最適な負荷容量の主軸受を用いつつも、中心部に貫通穴を設けその中に線状体を配線しロボット各軸の動作範囲についての制約を大幅に緩和することが出来る、低コストな減速装置を提供する。本発明によれば、ロボット基台に対し位置固定された大ギアと、前記大ギアとかみ合いかつ旋回胴部内に軸支された小ギアを持つ旋回軸（第１軸）減速装置において、前記大ギアと前記小ギアを、第２軸（前後軸）の回転平面の近傍に配置し、また、ロボット基台に軸支された小ギアと、前記小ギアとかみ合い旋回胴部に対し位置固定された大ギアを持つ旋回軸（第１軸）減速装置において、前記大ギアと前記小ギアを、第２軸（前後軸）の回転平面の近傍に配置した。
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【課題】搬送効率を向上させ得る搬送装置を提供する。
【解決手段】ベース部３１を回動させるモータ３２と、ベース部３１の中心部に挿通された中心軸３３を回動させるモータ３４と、基材１０１を保持可能に構成されると共に中心軸３３に対して接離する方向に沿ってスライド可能にベース部３１に配設されたスライダ３５ａ，３５ｂと、中心軸３３の回動に応じてスライダ３５ａ，３５ｂをスライドさせるリンク機構とを備えている。これにより、基材１０１を搬送する効率を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】関節駆動系の部品を取り外すことなく、アーム片を交換することができる加工搬送装置を提供する。
【解決手段】加工搬送装置１は、複数の関節を有する可動アーム２の基端をベースプレート１６に装着するとともに、可動アーム２の先端に加工又は保持手段を設けてある。アーム片９０の本体部９１は、モータ９７を収容するモータハウジング９２とモータ取付用ブラケット９３にボルト９６,１１０で締結固定してある。 （もっと読む）

【課題】可動アームの移動範囲を広くし、可動アームの動作の自由度を高めることによって、ワークの加工条件の制約を緩和することができる加工搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】加工搬送装置１は、可動アーム２の関節の回転軸５,６,７に対して垂直な回転軸１４を中心として可動アーム２を回動させるべく可動アーム２の基端とベースプレート１６との間に設けた第１の回動手段１５と、該回動手段１５の回転軸１４と関節の回転軸５,６,７の双方に対して垂直な回転軸１９を中心として可動アーム２を回動させるべく可動アーム２の基端側アーム片１１に設けた第２の回動手段２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
雰囲気汚染を回避しながらも、高精度にロータの回転角度を検出でき、更に信頼性を確保できるダイレクトドライブモータを提供する。
【解決手段】
隔壁１３の円板部１３ａの肉厚が、円筒部１３ｂの肉厚より厚くなっているので、寸法精度や機械精度および温度変化に起因して、隔壁１３に変形が生じた場合でも、薄肉の円筒部１３ｂが先に変形することで、隔壁１３の軸方向応力や曲げ応力を緩和することができ、それによりシール不良や破壊などを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 アームに接続される長尺部材が、基台の固定部に対する基台の可動部の回転に起因する摩擦によって損傷および破損してしまうという不具合を防ぐことができるロボットを提供する。
【解決手段】 塗装ロボット１は、基台４に旋回自在に設けられるアーム３の先端部８に塗装ガン９が装着され、この塗装ガン９を予め定める位置および姿勢に配置して、ワーク２の塗装作業をする。前記基台４は、予め定める設置位置に設置されて固定される固定部５と、アーム３の基端部７に固定され、固定部５に対して回転軸線Ｌまわりに回転駆動される可動部６とを有する。アーム３に接続される長尺部材１７は、固定部５の固定側案内部２１によって形成される固定側内部空間２２および可動部６の可動側案内部２４によって形成される可動側内部空間２５を、回転軸線Ｌに沿って緩やかに挿通する。 （もっと読む）

【課題】 ワークを搬送するアームおよびハンド部の動作範囲に死角が生じないようにし、全方位に等しくワークを送り出し尚かつどの方位の作業ステーションからもワークを受け取ることができるようにする。
【解決手段】 ロボット移動ステーション１を中心として各作業ステーション２がワーク１０に対し組立・加工・洗浄等の各工程が行われる各作業ステーション２にワーク１０を送り出しあるいは各作業ステーション２からワーク１０を受け取り又はワーク１０に対して作業を行う産業用ロボットＭを載置する回転テーブル５と、回転テーブル５の中央に配置され、これと一体となって回転可能な回転軸３と、回転軸３近傍に配置した回転軸３を回転させる回転軸用駆動装置４とを備え、回転テーブル５を中心として各作業ステーション２がその周囲に配置されるとともに、産業用ロボットＭは、回転テーブル５とは独立の駆動ユニットとなっている。 （もっと読む）

【課題】
静止状態にある矩形基板を保持し、直進動作で別の位置へ搬送を行なう場合、基板移載ロボット装置上において、基準位置と基板の横方向（Ｘ方向）の位置ズレを検出し、搬入時に位置ズレを補正する技術を提供すること。
【解決手段】
静止状態にあるガラス基板Ｗを保持し搬送を行なう基板移載ロボット装置１であって、ハンドＨ１、Ｈ２の移載面上にガラス基板が位置し、且つロボット上での待機位置に移動した状態において、ロボット装置上の基準位置と基板位置との位置ズレ値を検知するセンサを基部１００に備え、搬入時の駆動制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】 多関節ロボットのツールの位置ズレを補正して移動位置精度を向上させる。
【解決手段】 ロボットハンド２１のハンド位置設定点Ｈを任意の補正基準位置ｍ₁に移動し、指標５ｂのツール位置座標と基準オフセット量とを算出する。ロボットハンド２１を補正基準位置ｍ₁を中心に所定角度回転させて指標５ｂのツール位置座標を求め、このツール位置座標と基準オフセット量とから、その回転位置に対応した基準補正位置ｍ₂を求める。この基準補正位置ｍ₂と基準補正位置ｍ₁との間の距離（Ｘ_r2，Ｙ_r2）がロボットハンド２１の回転時に発生する位置ズレ量であり、補正データとして記憶される。視覚センサによって検出されたワーク５の位置にロボットハンド２１を移動させる際には、ロボットハンド２１の回転角度に対応した補正データを読み出し、この補正データによって指標５ｂのツール位置座標を補正する。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】インデクサロボット１３には、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７が備えられており、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７は、いわゆる３リンク方式とされている。これにより、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７を延ばした状態では、必要なリーチの長さを確保できる。よって、これらを折りたたんだ状態においては、インデクサロボット１３の占有面積を小さくすることができる。よって、回転昇降台を回転させた場合のインデクサロボット１３の旋回直径Ｌ１および移動範囲Ｐ１を小さくすることができ、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】 トーチケーブルの挙動を安定に保ち、干渉を最小に抑えたトーチケーブル処理構造を、天吊り方式／壁掛け方式のアーク溶接ロボットで実現する。
【解決手段】 ロボットベース１５を天井部１００に設置し、前腕基部１０に第１軸線Ａの回りで回転可能に第１手首要素１１を設け、同第１手首要素１１に、第２軸線Ｂの回りで回転可能に第２手首要素１２を設け、伝動機構１３を介して溶接トーチ２をオフセットされた軸Ｃ回りで回転可能に支持する。溶接トーチ２は、図示したロボット姿勢で先端が下方を向くように取付けられる。支持ベース５を介してリニアガイド６ａ、スライダ７を設け、トーチケーブル３の中途部（または溶接ワイヤ送給装置４）を固定し、張力発生装置８０で引き寄せる。壁掛け方式のロボットにも適用できる。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】インデクサロボット６は、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、基台部８を左右方向に移動することができる。また、基板保持ハンド１１４または１２４を基板受け渡し位置Ｓまで進出させる場合には、基台部８が搬送路７と交差する方向に移動して基板受け渡し位置Ｓ寄りに位置することで、基板保持ハンド１１４または１２４の進出距離を短くすることができるので、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２の各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。よって、移動範囲Ｐ１を小さくし、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）