【課題】基板の高速搬送に適した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板を保持するハンド２３Ａ，２３Ｂと、ハンド２３Ａ，２３Ｂを駆動するハンド駆動機構２０，２６，２７と、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助するように気体を噴射する気体ノズルを有する動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂとを含む。動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂは、ハンド２３Ａ，２３Ｂに備えられており、気体噴射により生じる反力によって、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助する。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームの剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることを可能とするパイプ成形体を提供する。
【解決手段】
パイプ成形体であるロワーアーム７は、ＣＦＲＰにより円管状に形成された外側層７１と内側層７２とを備えているので、剛性が確保される。さらに、ロワーアーム７は、外側層７１と内側層７２との間に配置された制振層７３を備えているので、振動減衰特性が向上される。よって、ロワーアーム７を用いたロボットアーム３においては、剛性が確保されると共に振動減衰特性が向上される。 （もっと読む）

【課題】剛性を確保しつつ連結部材との接合を強化可能なパイプ成形体を提供する。
【解決手段】
パイプ成形体であるロワーアーム７は、炭素繊維強化プラスチックにより円管状に形成された外側層７１を備えているので、金属製のものに比べて高い剛性が確保される。さらに、ロワーアーム７においては、外側層７１の一端７１ａを含む一端部に、雄ねじ７４ａが設けられている。このため、ロワーアーム７と連結部材９との接合に際して、接着剤での接着に加え、雄ねじ７４ａと雌ねじ９ａとの螺合を用いることが可能となる。したがって、ロワーアーム７によれば、連結部材９との接合を強化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】保持台の姿勢を正確に制御することができ、また高速で移動させても保持台がふらつくことがない搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置に、第一の姿勢保持リンク５６、及び第二の姿勢保持リンク５７を設ける。第一の姿勢保持リンク５６の一端と第二の姿勢保持リンク５７の一端とは連結軸５３によって回転可能に連結される。保持台２１の基部プレート２７にレール５１，５２を取り付ける。連結軸５３にローラ５４，５５を所定の軸線の回りを回転可能に取り付ける。ローラ５４，５５はレール５１，５２のローラ転走部５１ａ，５２ａに接触するように配置される。保持台２１を移動させるとき、ローラ５４，５５がローラ転走部５１ａ，５２ａを転がり運動する。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットを用いて、カセットに収容された液晶基板等の板状の基板を搬出する際に、基板検出センサを用いて基板の位置を検出していた。従来は、基板がカセットの手前側（入り口側）に寄せられてカセット内部に収容されていたが、基板がカセットの奥側に寄せられる場合があり、従来の搬送ロボットでは対応できない。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、振動吸収体６の先端部に取り付けられた基板の有無を検出する基板検出センサ５と、ハンドの位置を移動させる移動機構１１（アーム機構２等）と、ハンドの位置及び移動速度を制御する動作制御部１２と、基板のエッジ位置を演算する基板エッジ位置解析部１３とを備えた。上記構成にすると、基板がカセットの奥側に寄せられて収容された場合であっても、基板の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】搬送工程の自動化を容易とし、効率よくワークを搬送することのできる搬送装置および搬送方法を提供する。
【解決手段】ワーク８を把持して搬送する搬送装置１である。搬送装置１は、ワーク８に設けられた２箇所の係合部に係合可能な２つの被係合部３１、３３を備えた把持部２と、把持部２を移動させる移動手段とを有する。把持部２を、移動方向へ移動させる際には、把持部２の被係合部３１、３３を結ぶ基準直線が移動方向の水平方向成分の方向と平行とし移動させるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】一般に、ロボットの駆動源であるモータの取り付け方法として、モータフランジ面をプレートに固定し、このプレートを、ロボット本体に結合する構造を採用することが多い。パラレルリンクロボットにおいても、この構成が一般的である。しかしながら、従来の技術では、高速動作時の振動等の影響で、モータの主軸がぶれ、取り付け面とモータの相対位置がずれることにより、ロボットの位置決め精度が低下するという課題がある。
【解決手段】本発明のパラレルリンクロボットのモータ取付け方法は、対向するモータを取り付ける部材を有し、これを一体のブロック構造とするものである。これにより、従来の課題を解決し、少なくとも対向する２つのモータ主軸の中心軸を一致させ、高速動作時におけるロボットの位置決め精度低下を軽減する方法および装置である。 （もっと読む）

【課題】力制御ロボットのエンドエフェクタの振動を抑制し、エンドエフェクタに作用する力の検出精度を向上させる。
【解決手段】一方が固定端、他方が可動端となるロボットアーム１の可動端に弾性部材３ａを介して接続されたエンドエフェクタ２は、エンドエフェクタコントローラ６によって開閉動作等を制御される。力覚センサ３は、エンドエフェクタ２に作用する外力を、弾性部材３ａの変形量より検出する。エンドエフェクタコントローラ６は、弾性部材３ａよりロボットアーム１の固定端側に支持され、ロボットコントローラ５は、力覚センサ３の検出値に基づいてロボットアーム１の動作を修正する。 （もっと読む）

【課題】プーリによってアーム部材を駆動するロボットにおいて、設置位置の制限を受けることなく振動の減衰性能が高いロボットの制振装置を提供する。
【解決手段】第二制振用プーリ５２は、錘部材と円弧ばねの作用によって姿勢制御ベルト４３の伸縮にともなう従動部材２５の振動を打ち消す方向へ揺動する。姿勢制御ベルト４３の伸縮にともなう従動部材２５の振動を打ち消す方向の揺動は、制振用ベルト５３を経由して第一制振用プーリ５１に伝達される。これにより、従動部材２５に振動が生じようとしても、この振動は第二制振用プーリ５２から伝達された揺動によって打ち消される。また、錘部材を含む第二制振用プーリ５２は、制振用ベルト５３を経由して第一制振用プーリ５１に接続することにより、アーム部材２１の先端部３２よりもモータ２２側に配置される。そのため、錘部材を含む第二制振用プーリ５２は、自由な配置が可能となる。 （もっと読む）

【課題】小出力化した柔構造のロボットの関節に用いても、ロボットの通常作動を妨げずに作動停止時の駆動トルクの変動による振動を速やかに減衰させ、作業のタスクタイムを短縮することができる回転ダンパーを提供することにある。
【解決手段】基部材と、前記基部材に対し所定軸線周りに回転可能に配置された回転部材と、前記基部材と前記回転部材との少なくとも一方に固設されるとともに他方へ向けて押圧されて前記他方に摺接し、前記基部材に対する前記回転部材の相対回転に摩擦制動力を与える摩擦部材と、前記摩擦部材に前記他方へ向けて押圧力を加える押圧手段と、前記回転部材の回転速度が上がると前記摩擦部材に加わる押圧力を減少させる押圧力変更手段と、を具えてなる回転ダンパーである。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の振動を抑制するとともに、軽量かつ保守が容易で高い防塵性及び高い防滴性を有するロボット及びロボット用のアタッチメントを提供する。
【解決手段】第２のアーム１５の回動中心軸と平行に設けられた主軸１６と、主軸１６の上端部に連結した上側連結部材２１と、主軸１６の下端部に連結した下側連結部材２２と、上側連結部材２１と下側連結部材２２とを連結した２本の補助軸２３と、第２のアーム１５に固着され、２本の補助軸２３と係合する嵌合溝を有する補助軸係合部材とを備え、２本の補助軸２３は、第２のアーム１５の外郭面から外側に離れた位置に配置され、主軸１６の軸方向から見て、２本の補助軸２３は、主軸１６と第２のアーム１５の回動中心軸とを結ぶ線に対して、対称に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ガタの存在により姿勢が不安定になることを解消可能なロボットを提供する。
【解決手段】２足歩行ロボット１は、大腿リンク６と下腿リンク８とは膝関節部７を介して連結され、大腿リンク６に対して下腿リンク８を揺動駆動する直動アクチュエータ１１と、下腿リンク８の動作に減衰力を付与するＭＲダンパー１２を備える。直動アクチュエータ１１による下腿リンク８の揺動動作中に、下腿リンク８に作用する力の方向が変わるとき、ＭＲダンパー１２に減衰力を発生させる。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）を主材とする樹脂複合材に関し、制振性、強度に優れ、毒性や環境への負荷が小さい樹脂複合材を提供する。
【解決手段】炭素繊維強化プラスチック内部に、樹脂フィルムを封じてなる構成を備えた樹脂複合材であって、前記樹脂フィルムが、引っ張り弾性Ｅ’が１×１０^７Ｐａ〜５×１０^８Ｐａで、且つ損失正接ｔａｎδが５×１０^−２〜１×１０^０であることを特徴とする樹脂複合材を提案する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、振動振幅の低減を図るようにする。
【解決手段】ハーモニック減速機９は、主要構成品としてフレーム３ｂと、サーキュラスプライン１０と、フレクスプライン１１と、ウェーブジェネレータ１２とを有して構成されている。前記フレーム３ｂのサーキュラスプライン取付座面３ｄにおける前記雌ねじ１３の開口周縁部に、この雌ねじ１３の径寸法より大きさな径寸法の凹部１４を設けている。 （もっと読む）

【課題】駆動部や腕部が振動するときにも角速度検出部が振動し難いロボットを提供する。
【解決手段】第１腕部８と、第１腕部８を回転させる第１モーターと、第１腕部８が回転する角速度を検出する第１角速度センサー２６と、第１腕部８から第１角速度センサー２６に伝わる振動を減衰させる減衰容器２３及び減衰容器蓋部２３ａと、を有する。そして、減衰容器２３及び減衰容器蓋部２３ａは減衰部材を有し、減衰部材が第１腕部８と第１角速度センサー２６との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】 片持ビームの重心変位による該片持ビームの上下方向の撓みの反復や揺動が発生するのを抑えて、成形品取り出し精度、つまり移動体の仕事精度の低下を回避するとともに、片持ビームの基部を片持支持部材に結合する締結手段の早期劣化を回避できる片持ビームを備えた成形品取出機を提供する。
【解決手段】 トラバース型の成形品取出機１における横行フレーム（片持ビーム）３には、該横行フレーム（片持ビーム）３に支持された移動体１８の進退に伴う横行フレーム（片持ビーム）３の重心変位を抑制する重心変位抑制ウェイトからなる重心変位抑制手段１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】物体を変形あるいは毀損することなく把持するのに適したロボットハンドを提案すること。
【解決手段】ロボットハンド１は、リニアアクチュエータ５の作動ロッド５ａの前後方向への伸縮動作を、リンク機構を介して左右の第１リンク１１の開閉動作に変換している。リンク機構にはコイルバネからなる左右の中間リンク１３が含まれている。左右の第１リンク１１が把持対象の物体Ｗに当たると中間リンク１３が弾性変形して伸び、物体Ｗを把持する力が中間リンク１３の弾性変形によって徐々に増加する。物体Ｗに急激に大きな把持力が作用して、物体Ｗが変形する、毀損するなどの弊害を防止できる。 （もっと読む）

【課題】動力停止時には外力により関節等を容易に動かすことができ、定常的に大きな負荷が作用した場合にも効率を損なわず、アクチュエータ自体を湾曲設置可能として柔軟に配置できるようにしたアクチュエータ装置およびロボット装置を提供する。
【解決手段】モータの回転を線方向の動作に変換するアクチュエータ装置において、モータに直接または間接的に接続されて回転する回転基部（１２または１５）と、前記回転基部の回転軸上でスライド可能に設けられた摺動基部（１５または１６）と、前記回転基部とともに回転し遠心力で外側へ移動可能な１以上の錘部材（１４）と、前記遠心力を利用して前記回転基部と摺動基部間の距離を変更するリンク機構（１３）とを有するユニットを１以上設けて構成する。 （もっと読む）

【課題】 移動状態から停止した時の慣性による振動を抑制することで、振動消失までの時間を短縮して生産設備の生産能率の向上に寄与することができる把持具を提供する。
【解決手段】 生産設備２で生産されたワークまたはインモールドワークをワーク把持位置からワーク解放位置に搬送する搬送手段３に設けられる把持具１であり、この把持具１は、搬送手段３側の基部１０と、この基部１０に延設され、かつ複数の把持ヘッド４を備えた把持部１１とからなり、把持部１１は、複数の枝１２〜１９を分岐延出した枝群２０によって構成し、基部１０から最も離れている各枝１２〜１９それぞれの先端部側の重量を小さく（軽く）する。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の振動を抑制するとともに、軽量かつ保守が容易で高い防塵性及び高い防滴性を有するロボット及びロボット用のアタッチメントを提供する。
【解決手段】スカラ型ロボット１０は、基台１１に回動可能な回転軸１２に固着された水平方向に延びる第１のアーム１３を備え、そのアーム１３の先端部である支持部１４には第２のアーム１５が回動可能に連結され、該アーム１５の先端部には上下方向に昇降するとともに、水平方向に回転可能な主軸１６が主軸筒に支持されている。主軸１６には、上端部に上部連結部材２１が、下端部に下部連結部材２２が各々回動可能に備えられている。両連結部材２１，２２は、主軸１６に平行な２本の補助軸２３にて接続されて、該アーム１５の先端下面に設けられた回転防止部材２４の嵌合溝２４ａに嵌合されている。この構造により、主軸１６の先端部の振動は好適に抑制される。 （もっと読む）