【課題】搬送ロボットを用いて、カセットに収容された液晶基板等の板状の基板を搬出する際に、基板検出センサを用いて基板の位置を検出していた。従来は、基板がカセットの手前側（入り口側）に寄せられてカセット内部に収容されていたが、基板がカセットの奥側に寄せられる場合があり、従来の搬送ロボットでは対応できない。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、ハンド４の先端付近に取り付けられた基板の有無を検出する基板検出センサ５と、ハンドの位置を移動させる移動機構１１（アーム機構２等）と、ハンドの位置及び移動速度を制御する動作制御部１２と、基板のエッジ位置を演算する基板エッジ位置解析部１３とを備えた。上記構成にすると、基板がカセットの奥側に寄せられて収容された場合であっても、基板の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】一度に、複数の対象物を把持して搬送できるようにすることにある。
【解決手段】対象物１を挟んで把持する１対の把持爪３ａ、３ｂと、１対の把持爪を動作可能に支持して空間内を移動する支持移動体７と、を備える。１対の把持爪３ａ、３ｂは、支持移動体７に対して往復動方向に駆動されることで、互いに近接して対象物１を挟み、または、互いに離間して該対象物を解放するようになっている。さらに、１対の把持爪３ａ、３ｂの間に位置し、１対の把持爪が把持した対象物１を保持する保持機構８を備える。１対の把持爪３ａ、３ｂに把持された対象物１が、当該把持から解放されるように保持機構８内の奥側に移動させられて、当該奥側で保持機構８に保持され、この状態で、１対の把持爪３ａ、３ｂが、別の対象物１を把持できるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】互いの隙間を狭くして複数の対象物を配列した場合であっても、より容易に、対象物を挟んで把持できるようにする。
【解決手段】対象物１を挟んで把持する１対の把持爪３ａ、３ｂと、１対の把持爪を動作可能に支持して空間内を移動する支持移動体７とを備える。１対の把持爪は、支持移動体に対して往復動方向に駆動されることで、互いに近接して対象物を挟み、または、互いに離間して該対象物を解放するようになっている。往復動方向は、１対の把持爪３ａ、３ｂが対象物１を挟む方向に対して斜めの方向である。 （もっと読む）

【課題】クランプ部により薄板状物をクランプする際の衝撃を緩和しながら、位置検出器を用いることに起因する電磁アクチュエータの構成の複雑化を抑制することが可能な把持装置を提供する。
【解決手段】この電磁グリッパ（把持装置）１００は、ウエハ９をクランプする方向に移動する可動部２５を含むクランプ部２４と、クランプ部２４の可動部２５をクランプする方向に常時付勢するばね部材３０と、少なくともクランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に推力を発生させる電磁アクチュエータ２２とを備える。また、電磁アクチュエータ２２は、クランプ解除状態からクランプ状態に移行する際に、ばね部材３０のクランプ方向への付勢力による可動部２５の移動速度を低減する方向に推力を発生させる励磁コイル２７ａ〜２７ｃを有する励磁回路２８を含む。 （もっと読む）

【課題】部品Ｐを複数のフィンガ７２により把持するロボットハンド７において、あまりコストのかからない簡単な構造で所要の把持性能が安定して得られ、十分な耐久性を確保できるとともに、狭隘な環境下でも使用しやすい優れた構造のフィンガ７２を提供する。
【解決手段】複数のフィンガ７２のそれぞれにコイルばね８１を巻き付け、その両端を除いた中間部分の巻き線をフィンガ７２の外周に沿って長手方向に変位可能に取り付ける。こうすると、それらのフィンガ７２によって取り囲むように部品Ｐを把持したときに接触点Ｃの数が増大する可能性があり、個々の接触点における摩擦力はあまり大きくなくとも、部品Ｐを安定して把持することができる。部品Ｐの寸法、形状等に応じてコイルばね８１の巻き線の太さやピッチを選定することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ワークの円筒形部分をその径方向に把持することができ、かつ円筒形部分に作用する把持時の面圧を低く抑えることができ、対応できる円筒形部分の直径の種類が限定されないロボットハンドを提供する。
【解決手段】複数のワークが円筒形部分５ａを有し、円筒形部分の直径が所定の範囲内で最小値から最大値まで相違するワークの円筒形部分をその径方向に把持するロボットハンド。１対の爪１２と、爪の根元に付属し爪の先端から根元までの直線方向を軸方向としてもつ回転軸と、爪を回転軸の軸心回りに回転駆動する回転駆動装置と、１対の回転軸を開位置と閉位置の間で開閉するチャック装置とを備える。１対の爪１２は、閉位置において、互いに対向する位置に回転駆動により所定の範囲の直径を超えて連続的に変化する円弧溝１３を周方向に有する。 （もっと読む）

【課題】ワークの把持を正確に検出することが可能な開閉チャックを提供する。
【解決手段】爪によりワークを把持する開閉チャックであって、ガイドレールを有するガイド部材と、ガイドレール上を摺動するよう設置され、爪を取り付け可能な第１及び第２のスライダと、第１及び第２のスライダが互いに離間又は接近するよう、第１及び第２のスライダを摺動させる駆動源と、ガイド部材において、第１及び第２のスライダに取り付けられた爪がワークを把持した際にひずみが生じる位置に取り付けられたひずみセンサと、を備える開閉チャック。 （もっと読む）

【課題】ウェハのデバイスが形成された面または形成される面に吸着痕や損傷を生じさせることなくウェハを搬送することができるウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド３０の内部には、段差部２４に設けられた吸着孔３２と、複数の通気用の孔３１，３３とが設けられている。段差部２４は、リブウェハ１０のデバイス面２と重ならない位置に設けられている。第１通気用の孔３１は、吸着孔３２に接続されている。各第１通気用の孔３１同士は互いに独立している。各第１通気用の孔３１には、異なる第２通気用の孔３３が接続されている。各第２通気用の孔３３は、それぞれ異なる配管２５を介して真空発生源２６に連結されている。つまり、複数の吸着孔３２に対する真空系統が互いに独立して設けられている。リブウェハ１０の吸着状態は、搬送ハンド３０の内部に流れる空気の流速に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】小型の開閉チャックを提供する。
【解決手段】シリンダ室及び収容空間を内部に有しており、外部とシリンダ室とを連通する第１の長孔及び外部と収容空間とを連通する第２の長孔が形成されているハウジングと、シリンダ室内を摺動し、第１のラック部分が形成されたピストンロッドとピストンロッドの両端に設けられた第１及び第２のピストンヘッドとを有する、ピストンと、ピストンと平行に移動可能なよう収容空間に収容され、第１のラック部分と平行に延びる第２のラック部分が形成されているラック部材と、第１及び第２のラック部分と噛み合うピニオンと、第１の長孔を介してピストンに連結されている第１のスライダと、第２の長孔を介してラック部材に連結されている第２のスライダと、を備え、第１のピストンヘッドとシリンダ室の一方の端部との間に第１の密閉空間が画定され、第２のピストンヘッドとシリンダ室の他方の端部との間に第２の密閉空間が画定されている、開閉チャック。 （もっと読む）

【課題】組付受部品に組付部品を組付けるに当たり、組立後の組付部品の組付け状態を容易且つ正確に検査する。
【解決手段】組付受部品１に組み付けられる組付部品２の一部に設けられ、中心位置Ｃから周囲に向かって濃度パターンＰｃが順次変化するように形成される単位パターン印１３を予め決められた位置関係で四以上有する認識表示体１２と、組付受部品１に組み付けられた組付部品２に対向配置されて前記認識表示体１２を撮像する撮像具５と、この撮像具５にて撮像された認識表示体１２の撮像情報を少なくとも用い、組付受部品１に組み付けられた後の組付部品２の位置及び姿勢に関する配置情報を認識する配置情報認識部６と、この配置情報認識部６にて認識された配置情報に基づいて良好な組付状態の組立であるか否かを検査する組立検査部７と、を備える。これを用いた組立処理装置も対象とする。 （もっと読む）

【課題】ワークが容器の隅に存在する場合であっても、容器の壁と干渉することなくワークを取出すことができるロボット装置を提供する。
【解決手段】ワーク１６を認識して把持するロボット装置１１。ワーク１６を認識する画像認識装置２１と、ワーク１６を把持するロボットハンド１５を有する動作機構１９と、ロボットハンド１５がワーク１６を把持するように動作機構１９を制御する制御装置２０を備える。画像認識装置２１は動作機構１９に対して着脱可能となっている。 （もっと読む）

【課題】大型化を避けつつ、一対の把持部材の閉じ方向および開き方向のいずれの移動でも把持対象物が把持され、且つ、停電時にも把持力を失うことがなく、把持の柔軟性と把持力の正確な検出とを両立する電動ハンドを提供する。
【解決手段】回転軸２に沿って移動する直動部材３と把持部材に連結される連結部材２８との間に弾性部材５０を備えている。弾性部材５０は、直動部材３と連結部材２８とが接近するとき圧縮され、直動部材３と連結部材２８とが離間するとき伸長する。直動部材３，と連結部材２８との間に弾性部材５０を設けることにより、把持部材から把持対象物へ加わる力の一部は弾性部材５０の変形によって吸収される。したがって、把持対象物が破損しやすい場合でも、把持対象物を柔軟に把持することができる。 （もっと読む）

【課題】 直径の異なる円筒形部分を有するワークの前記円筒形部分をその径方向に把持する場合に、円筒形部分の直径が大きく異なっても、作動を中断することなくかつ部品を交換することなく、ワークの把持部を安定して把持することができるロボットハンドを提供する。
【解決手段】 直径の異なる円筒形部分５ａを有するワーク１の円筒形部分をその径方向に把持するロボットハンド１０。長手方向に延びる１対の爪１２と、爪の間隔を開位置と閉位置の間で開閉するチャック装置１４とを備える。爪１２は、チャック装置により開閉される開閉部材１２ａと、開閉部材に爪の長手方向に伸縮可能に取り付けられた先端部材１２ｂと、先端部材を爪の長手方向に伸縮させるアクチュエータ１２ｃとを有しており、開閉部材１２ａと先端部材１２ｂは、ワーク１の円筒形部分５ａに接触してこれを把持する互いに交差する把持面１３ａ，１３ｂをそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】ワークの形状によらずに確実にワークを把持することを可能とするロボットハンドを提供すること。
【解決手段】ワーク１６を把持するロボットハンド１５であって、複数の爪２１と、爪２１の対向する内側に取り付けられた複数の形状自在パット２２と、爪２１の間隔を開方向と閉方向の間で開閉するチャック装置２３と、を備える形状自在パット２２は、ワーク１６を把持する把持力によりワーク１６の表面形状にならうようになっている。 （もっと読む）

【課題】 形状又は寸法の異なるワークを把持することができ、交換用の部品の収容スペースを小さくでき、かつその交換のためアクチュエータが不要であるロボットハンドとその爪部材交換方法を提供する。
【解決手段】 ワークを把持するロボットハンド１０。複数の末端爪部材１２と、末端爪部材同士の間隔を開位置と閉位置の間で開閉するチャック装置１４と、末端爪部材に着脱可能に片持ち支持された複数の先端爪部材１６とを備える。先端爪部材１６は、ワークに接触してこれを把持する把持面を有する。 （もっと読む）

【課題】任意の形状を有する対象物体を安定して把持することができるロボットハンド機構を提供することにある。
【解決手段】ロボットハンド機構においては、第１及び第２可動部３０５Ａ、３０５Ｂが直動機構３０４に移動可能に支持される。第１可動部３０５Ａは、接続機構４０１を介して指部１０１Ａの受動回転部１０４及び指部１０１Ｃの受動回転部１０４に結合される。第２可動部３０５Ｂは、接続機構４０１を介して指部１０１Ｂの受動回転部１０４及び指部１０１Ｄの受動回転部１０４に結合される。直動機構が駆動モータ３０１によって駆動されると、第１及び第２可動部３０５Ａ、３０５Ｂが互いに反対向きに移動される。第１及び第２可動部３０５Ａ、３０５Ｂの直動運動に伴って、接続機構４０１によって各受動回転部１０４が回転される。この結果、指部１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃ、１０１Ｄの駆動方向が変更される。 （もっと読む）

【課題】 曲げ剛性を確保しつつ制振性を向上させることができるロボットハンドを提供する。
【解決手段】 ロボットハンド１は、互いに積層されたＣＦＲＰ層２，３と、ＣＦＲＰ層２とＣＦＲＰ層３との間に配置された制振弾性層４と、を備えている。制振弾性層４は、粘弾性樹脂と粘弾性樹脂に混練された繊維状物質とを含む材料からなる粘弾性樹脂領域４１を有する。繊維状物質は、粘弾性樹脂の剛性よりも高い剛性を有する。このロボットハンド１によれば、ＣＦＲＰ層２とＣＦＲＰ層３との間に、剛性が比較的高い繊維状物質が混練された粘弾性樹脂を含む材料からなる粘弾性樹脂領域４１を有する制振弾性層４が配置されているので、曲げ剛性を確保しつつ制振性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】高い把持力を維持しつつ、電動モータの消費エネルギーを低減し、高耐久化を実現させる。
【解決手段】ＣＰＵは、把持対象物を把持するのに必要な所定把持力Ｆ_ａを一対のフィンガーに発生させる第１の電流指令値Ｉ_１^＊を電源部に出力する。電源部は、第１の電流指令値Ｉ_１^＊に対応する第１の電流値Ｉ_１の電流を電動モータに供給する。また、ＣＰＵは、電流指令を歯車減速機のヒステリシス特性に基づき、所定把持力Ｆ_ａが維持される第２の電流指令値Ｉ_２^＊に減少させる。電源部は、第２の電流指令値Ｉ_２^＊に対応する第２の電流値Ｉ_２の電流を電動モータに供給する。 （もっと読む）

【課題】多孔質体の塑性変形を抑制することのできる吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着装置１は、吸着面２ａに接着層を介して貼着された、樹脂からなる多孔質体３と、吸着面２ａよりも当該吸着面２ａが面する方向に突出するストッパー４と、を備えている。ストッパー４の吸着面２ａからの高さは、接着層および多孔質体３で規定される厚さと対象物５の厚さの合計以下、接着層および多孔質体３で規定される厚さの７０％以上である。この構成によれば、多孔質体３の変形がストッパー４によって規制されるため、多孔質体３にかかる圧力を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】寸法をより低減しながらもより大きな把持ストローク確保できるようにしたハンド装置及びロボット装置並びに機械製品の製造システムを提供する。
【解決手段】第１部材と、第１部材に固定された固定部材と、第１部材の一端部に固定された第１指部材と、第１部材の一端側から他端側にかけて設けられたスライド機構と、スライド機構にスライド自在に取り付けられた第１スライダ部材と、一端部が第１スライダに固定された第２部材と、第１部材の一端側から他端側に設けられたガイド機構と、ガイド機構にスライド自在に取り付けられた第２スライダ部材と、第２スライダ部材に固定された第２指部材と、固定部材と、第１スライダ部材との相対変位を第２スライダ部材に伝達する変位増加機構とを有して構成する。 （もっと読む）