【課題】ウエーハのノッチの位置合せを実行することができ、かつ、径の異なるウエーハを搬送した場合でも、ウエーハ処理装置に対するウエーハの中心位置を位置合せすることができる半導体ウエーハ搬送用ハンドを提供する。
【解決手段】容器からウエーハＷを取り出し、ウエーハＷを処理する処理装置に搬送する半導体ウエーハ搬送用ハンド１０であって、ハンド部材本体１２と、ハンド部材本体１２に対して移動可能なハンド部材１４と、ハンド部材１４に対して移動可能な保持部材３６と、ウエーハＷと接触する第１回転部材２４と、第１回転部材２４と共にウエーハＷを回転させる第２回転部材５６と、第１回転部材２４と第２回転部材５６が相互に離間する方向又は相互に接近する方向に沿って同じ距離だけ移動させる移動手段と、ウエーハＷのノッチを検出するノッチ検出手段と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】ロボットの移動動作によってナットの把持を確実に行うことができるナット把持治具を提供すること。
【解決手段】ナット９を載置するための下治具２と、ロボット８のアーム８１に接続される上治具３とよりなる。下治具２は、載置台部と、ナット９の外周面の周方向位置を規制するための外周規制部とを有し、外周規制部は、載置台部に対して軸方向に相対移動可能に配設され、規制位置に向けて付勢されている。上治具３は、アームに接続される基部３０と、基部３０に対して相対移動可能であると共に付勢力に抗して上記縮小位置に向けて移動した場合にナットのねじ込み方向に回転するよう構成された回転部３１と、回転部３１に固定され、ナット９を収容可能な把持凹部と、把持凹部に収容されたナット９を保持する保持部とを備えた把持ヘッド部３５とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切換えに要する時間を短縮することができ、構成も簡略化できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬出入機構４は、複数枚の基板Ｗを積層状態で一括して保持するバッチハンド４０と、このバッチハンド４０を進退させるバッチハンド進退機構と、１枚の基板Ｗを保持する枚葉ハンド３９と、この枚葉ハンド３９を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース４１と、保持ベース４１を上下動させる昇降ブロック４３と、前記保持ベース４１を鉛直方向に沿う旋回ブロック４２とを含む。 （もっと読む）

【課題】搬送される被搬送物に搬送装置が把持や吸着するための専用の領域を新たに設けることなく、被搬送物を搬送することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板搬送装置１００は、穴部２０１が形成された基板２００を搬送可能な搬送装置であって、基板２００に向けて進退可能に設けられると共に、基板２００の表面に位置する穴部２０１の第１開口部から穴部２０１内に挿入可能な第１状態と、穴部２０１内に挿入された状態で、第１開口部と反対側に位置する第２開口部の開口縁部と係合可能な第２状態とに切替可能とされた係止機器１４０を備える。 （もっと読む）

【課題】地中或いは地表に遺棄された対象物の中から目標の対象物のみを確実に把持でき、落下等の発生が確実に防止できる危険物把持装置を提供する。
【解決手段】対象物Ｗを吸着する真空吸引機構５５のバキュームパッド５８ａ〜５８ｄに対し、第１把持爪２２及び第２把持爪４２の基端側把持爪部２３、４３をバキュームパッド５８ａ〜５８ｄから離れる上方の開放位置に揺動して目標とする対象物Ｗとの接触を確実に回避した状態で目標とする対象物Ｗのみを吸着する。また、把持位置に揺動した第１把持爪２２の基端側把持爪部２３と第２把持爪４２の基端側把持爪部４３によって対象物Ｗを把持すると共に、バキュームパッド５８ａ〜５８ｄと把持位置に揺動した第１把持爪２２及び第２把持爪４２の各先端側把持爪２９、４９によって上下方向から対象物Ｗを把持する。 （もっと読む）

【課題】 対象物の把持のための微妙な握力調整や位置決め精度を緩和したロボットハンドおよびアタッチメントを提供する。
【解決手段】 互いに接近および離間することによって開閉する一対の把持フィンガー７を備えており、ロボットハンド部６が保持しようとする対象物には、把持フィンガー７が把持するためのアタッチメント４１が取り付けられており、前記一対の把持フィンガー７同士の対向する面７ａそれぞれに対向する複数個の係止部材１４が突設され、前記アタッチメント４１の左右の両外表面それぞれに前記係止部材１４が係止する複数個の被係止部４１ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数種類のワークの位置決めが可能な位置決め装置を備えているワークのクランプ装置において、ワークの表面に傷などが発生する虞のない技術を提供することを課題とする。
【解決手段】ワークのクランプ装置１０は、開口６５ｈを有するダミー材６５とクランプアーム１４とピン保持装置２０とを備え、このピン保持装置２０は、下部プレート４５を貫通して下方へ延びている複数の位置決めピン３２と、位置決めピン３２の後退位置Ｂと突出位置Ｔとに設けられている第１係止部５５および第２係止部５６と、これらの第１係止部５５と第２係止部５６のいずれかに当接するように位置決めピン３２の軸直角方向に移動する挟持プレート５７および駆動用のシリンダユニット５８と、位置決めピン３２を下方に付勢して第２係止部５６を挟持プレート５７に臨ませるスプリング４７とを備える。 （もっと読む）

【課題】構造を簡単とし、ワークの姿勢や形状に応じて確実且つ安定した把持状態とすることができ、コストを低減することができるワーク把持装置を提供する。
【解決手段】ブロック状のワーク２に形成された貫通孔１８に挿入する挿入ロッド３と、貫通孔１８の一端縁に係止する係止爪７と、係止爪７の反対側からワーク２に当接する当接部材４と、当接部材４を進退駆動して係止爪７と当接部材４とによりワーク２を把持させる当接部材駆動手段１３とを備える。当接部材４は、挿入ロッド３の軸線に対して直行する角度に形成された第１当接面１０と、挿入ロッド３から離間した位置において挿入ロッド３の軸線に対して傾斜する第２当接面１１とを備える。係止爪７と当接部材４とによりワーク２を把持したとき、第１当接面１０と第２当接面１１との少なくとも一方がワーク２に当接する。 （もっと読む）

【課題】適切な積付作業ができる積付装置を提供する。
【解決手段】積付装置１は、回動部10を有する装置本体４を備える。回動部10にはベース体12を回動可能に設ける。ベース体12には、物品Ｗを両側方から挟持する固定挟持体23および可動挟持体31を設ける。ベース体12には、物品Ｗの下面を支持する下面支持体41を移動可能に設ける。積付作業時には、保持物品Ｗを積付物品Ｗの上方位置に平面視で保持物品Ｗが積付物品Ｗに対して傾斜した状態でかつ保持物品Ｗの一角部と積付物品Ｗの一角部とが平面視で一致した状態になるように位置させる。次いで保持物品Ｗの一部のみを積付物品Ｗ上に載せた後、平面視で保持物品Ｗの積付物品Ｗに対する傾斜をなくし、その後、下面支持体を移動させて保持物品を積付物品上に互いに嵌合した状態に積み付ける。 （もっと読む）

【課題】ドアをボディから取り外して搬送する際に、ドアやボディが損傷するのを防止できるドア取り外しシステムを提供すること。
【解決手段】ドア取り外しシステム１は、自動車のボディ１０にボルト１２で固定されたドア１１を、このボディ１０から取り外す。このドア取り外しシステム１は、ドア１１を把持しかつ略鉛直方向を旋回軸２１３として旋回可能な双腕ロボット２０と、この旋回軸２１３に作用するトルクを検出するトルクセンサ２１４と、双腕ロボット２０を制御する制御装置と、を備える。制御装置は、双腕ロボット２０によりドア１１を把持した状態で、この双腕ロボット２０を旋回軸２１３で旋回させる際、トルクセンサ２１４により旋回軸２１３に作用するトルクを検出し、この検出したトルクが所定値以上である場合には、双腕ロボット２０の旋回を停止する。 （もっと読む）

【課題】 基板の両面を同時に保持することにより、保持面積の拡大、保持力の向上を図ると共に、基板受け渡し面のチルト補正の容易化、基板の面精度の維持を可能にし、装置全体の基板搬送スループット向上、および搬送精度の向上を実現する。
【解決手段】 基板８の両面の一方を吸着する第１保持部２，３と、他方に当接してそれを支持する第２保持部６，７と、基板を吸着した第１保持部を第２保持部側へ付勢する付勢手段４，５とで基板保持機構１を構成する。 （もっと読む）

【課題】１個のエンドエフェクタにおいて、ウェハを２枚搬送することができるようにする。
【解決手段】ウェハを把持する把持機構を備えたエンドエフェクタ３において、エンドエフェクタ３の上面に把持機構を備え、上面の裏面にも把持機構を備え、エンドエフェクタの上面及び裏面の両方でウェハを把持可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】熱などの諸要因によって被保持面が変形した被保持体を、より確実に保持した状態で搬送することができる搬送装置、および搬送方法を提供すること。
【解決手段】被保持物の被保持面に対して保持面を当接させて前記被保持物を保持した状態で搬送する搬送アームＡにおいて、該搬送アームＡに、ウエハ吸着孔６が設けられたウエハ支持部２を設けるとともに、該ウエハ支持部２をウエハ支持部２の基端部２ａを中心に所定の幅だけ回動自在に構成した。 （もっと読む）

【課題】薄板物品を落下させることなく安定して搬送することができるようにするとともに、多数同時搬送と、物品を密集して積み付けることができるハンド装置を備えたマニピュレータを提供する。
【解決手段】少なくとも一対の把持部材３を備え、該把持部材３の互いが接近するよう水平方向に駆動する把持部材駆動部５とをハンド装置３０に備え、把持部材３の狭持動作によって物品Ａを挟持して移送する物品搬送用マニピュレータにおいて、把持部材３からまたは把持部材３の下面から突出して薄板物品Ａの下面を掛止する可動受爪３７と、把持部材３の薄板物品Ａの非把持側に突出させることなく、可動受爪３７を把持部材３の内部または下面に収納する受爪駆動部４と、前記把持部材内側面から突出して薄板の浮き上がりを掛止する固定受爪３６と、をハンド装置３０に備えた。 （もっと読む）

【課題】仮組みが必要な部品の組立作業に使用されるロボットにおいて、第２の部品を第１の部品に対して仮組みできるハンドの構造を開示し、第２の部品を仮組みした後、第２の部品を仮組みしたロボットのハンドが他の作業に使用できるようにする。
【解決手段】ロボットハンドが、ロボットのアーム先端２２に固定され、把持動作が可能な一対の把持部材を備えた第１のハンド２１と、第１のハンド２１によって把持されたときに保持ツメ１６を閉じることができる第２のハンド１０と、から構成され、第２の部品の穴と第１の部品の穴に挿入された第２のハンド１０が、第１のハンド２１によって離されたとき、保持ツメ１６が付勢手段１３によって開き、第２の部品が第１の部品に対して係止されるよう構成した。 （もっと読む）

基板搬送ロボットのエンドエフェクタが、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）から製造された上プレートと、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）から製造された下プレートと、上プレートと下プレートとの間に配置され、アルミニウム、ステンレス鋼およびハニカム形繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）からなる群から選択された中間部材とを備える。さらに、基板搬送ロボットが上記のエンドエフェクタを備えている。
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【課題】異なる形状のワークを簡便に把持することができるロボットハンド、及びロボットを提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかるロボットハンドは、ベースプレート３８と、ベースプレート３８に固定され、コンロッド２０の位置を規制する可動基準ピン３２と、可動基準ピン３２によって位置決めされたコンロッドを両側から把持する１対の可動爪３０と、１対の可動爪に対応して設けられ、可動爪３０が固定された１対のスライド板３９と、スライド板３９を移動して、１対の可動爪３０の間隔を変化させるアクチュエータ３６と、を備え、ベースプレートに対する可動基準ピン３２の固定位置が可変であり、スライド板３９に対する可動爪３０の固定位置が可変であるものである。 （もっと読む）

【課題】容器及び蓋からなる薄い基板容器を、容器に挟み込む力を作用させることなくハンドリングして、炉内に積層して載置し、炉内から搬出することができ、これにより基板の汚染を防止しながら水蒸気アニール処理をし、かつ炉内処理領域への基板のセット数を高めて、スループットを高めることができる基板容器用ロボットハンドと蓋付基板容器を提供する。
【解決手段】水平に位置する蓋付基板容器３の外縁に沿って延び、水平かつ対向して互いに平行に拡縮可能な１対の容器支持枠１２と、容器支持枠を蓋付基板容器の外縁に近接する縮小位置Ｃと離れた拡大位置Ｏとの間で移動させる支持枠駆動装置１４と、支持枠駆動装置を支持し、容器支持枠を間隔を隔てて水平に囲む枠部材１６とを備える。蓋付基板容器３は、その外周の少なくとも一部に所定角度のテーパ下面３ｃを有し、１対の容器支持枠１２は、縮小位置においてテーパ下面に近接しかつ同一角度のテーパ上面１２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】特定ワークの専用品とせず、汎用性の高いワークハンド装置を提供する。
【解決手段】ロボット２０のアーム２１の先端に接続され、アーム２１の旋回、伸縮によ
ってワークＷを搬送するワークハンド装置１″であり、フレーム２にワークＷを位置決めする基準ピン３ａ，４ａ，５ａと、この基準ピンに内蔵され、ワークＷを把持するクランパー３ｂ，４ｂ，５ｂと、それぞれの基準ピンとクランパー３ｂ，４ｂ，５ｂを有するそれぞれの第１、第２、第３ピンクランパーユニット３，４，５とを備え、第１ピンクランパーユニット３をＸ軸方向の位置を固定する第１固定手段９と、第２、第３ピンクランパーユニット４，５をＹ軸方向へ移動する第２駆動手段７と、第２、第３ピンクランパーユニット４，５をＺ軸方向の位置を固定する第２、３固定手段１１，１２と、Ｚ軸の先端方向へ付勢する第２、３付勢手段１１ｃ，１２ｃとを備えたワークハンド装置１″である。 （もっと読む）

【課題】搬送中における基板に対して適切な処置を施すことができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置５０は、第１基板収容部２０と第２基板収容部３０との間を移動可能なフォーク支持体５１と、フォーク支持体に移動可能に支持されたフォーク６０，６５と、を備える。フォークは、第１基板収容部から第２基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置において支持し、第２基板収容部から第１基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置とは異なる第２支持位置において支持する。第１支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置に配置され、第２支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置とは異なる第２待機位置に配置される。 （もっと読む）