本発明は、基板材料からウェハ状のスライスを製造する、特に半導体デバイスの製造において使用するための方法及びシステムに関する。この方法は、研削粒子を表面上に有するカッティングワイヤを備えるスライス切断デバイスを用意するステップと、約３０μＳ／ｃｍ以下の導電率に対応するイオン強度を有する水性冷却用及び潤滑用流体を用意するステップと、前記カッティングワイヤが接触し、前記基板材料を切断する切り溝内に、前記切り溝領域からの粉末基板材料の除去を促進しその結果使用済み流体となる前記冷却用及び潤滑用流体を分配しながら前記基板材料を前記カッティングワイヤで複数のスライスに切断するステップと、前記使用済み流体を前記切断デバイスから取り除き、前記粉末基板材料を前記使用済み流体から回収するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ポンプから供給された加工液の一部がフィルターによって濾過されて濾過加工液送出口から送出され、フィルターを洗浄した残りの加工液が洗浄加工液送出口から送出される小型化可能な自動洗浄式フィルターを提供する。
【解決手段】フィルター室に供給された加工液は、螺旋部材により旋回されてフィルターの円筒外周面の回りを螺旋運動しながら洗浄加工液送出口から絞りを介して外部に送出される。これにより、フィルターの円筒外周面を流れる加工液の圧力が上昇し、この加工液の一部がフィルターにより濾過されてフィルター内部に流入し、濾過加工液送出口から送出される。加工液の一部がフィルターの円筒状薄板に多数穿設された微細穴により濾過されるときに付着した切粉が、フィルターの円筒外周面を螺旋状に流れる残りの加工液によって洗い流され、洗浄加工液送出口から排出されるので、フィルターが自動的に洗浄される。 （もっと読む）

【課題】フィルタの取外し作業、フィルタの洗浄作業を容易に行うことができるフィルタ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】フィルタユニット26は、水平方向に所定間隔をおいて相対させられている一対のフィルタ31と、両フィルタ31の外周縁部を連結固定している枠状ケーシング32とによって構成されている。両フィルタ31間の間隙に連通させられるようにケーシング32の頂部にパイプ孔44があけられている。パイプ孔44に濾過液吸上用パイプ24が抜き差し自在に通されている。 （もっと読む）

【課題】 流路抵抗を小さくできるとともに、ミスト供給管を損傷させることなく工具交換を行うことができる工作機械の切削剤供給装置を提供する。
【解決手段】 主軸頭１と、該主軸頭１により回転自在に支持された主軸２と、該主軸２の先端部に取り付けられた工具５とを備え、切削油と圧縮空気とを混合してなるミスト状の切削剤を前記工具５の加工点に向けて供給するように構成された工作機械の切削剤供給装置９において、前記主軸２の基端部側に前記ミスト状の切削剤を生成するミキシングバルブ１７を配置し、該ミキシングバルブ１７にミスト供給管１４を接続し、該ミスト供給管１４を、前記主軸２の軸心部を通して前記工具５側に延長するとともに、前記ミスト供給管１４を進退させるミスト供給管進退駆動機構２０を備えた。 （もっと読む）

【課題】 ミスト供給管のメンテナンス作業性を改善できる工作機械の切削剤供給装置を提供する。
【解決手段】 主軸頭１と、該主軸頭１により回転自在に支持された主軸２と、該主軸２の先端部に取り付けられた工具５とを備え、切削油と圧縮空気とを混合してなるミスト状の切削剤を前記工具５の加工点に向けて供給するように構成された工作機械の切削剤供給装置９において、前記主軸２の基端部側に、前記ミスト状の切削剤を生成するミキシングバルブ １７を配置し、該ミキシングバルブ１７にミスト供給管１４を接続するとともに、該ミスト供給管１４を前記主軸２の軸心部を通って前記主軸２の工具取付孔２ａ近傍に達するよう延長し、前記工具５を主軸２から取り外したとき、前記工具取付孔２ａ側から前記ミスト供給管１４を主軸２の軸心部に着脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】液体を工具に供給する通過孔を有した液密式の工具ホルダにおいて、簡単な構成により液体が外部に漏洩するのを防止する。
【解決手段】工具１の工具シャンク部２を挿入する凹部４２が一端に形成された把持部４０と、この把持部４０の他端側を工作機械又は工具ホルダに固定されるテーパシャンク部２０とを備え、凹部４２の底面４２ａに開口し、工具シャンク部側端面２ａから前記工具１内部に液体を流通させる貫通孔４と連通する通過孔１２を設けた工具ホルダ１０において、通過孔１２の凹部４２側開口端部には、通過孔１２及び貫通孔４より大きな内径の保持孔４６が形成され、保持孔４６に筒状の弾性部材６０が嵌入され、前記弾性部材６０は、前記工具シャンク部側端面２ａに当接するよう設けられ、且つ弾性部材６０の内径が通過孔１２の内径より小さく設けられ、通過孔１２を流通する液体により弾性部材６０が保持孔４６を押圧するよう設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減らして小スペースに設置できると共に、コスト低減を図ることができる混合液供給装置を提供する。
【解決手段】混合液供給装置１には、給油開始ボタン２と給油停止ボタン３とが取り付けられており、第１の液体（例えば水）が供給されるホース４（第１液体供給手段）の中間部にはデジタル流量計５が設置されている。この流量計５を通過した第１の液体は、液体混合部に流入する。一方、第２の液体（例えば原液）が供給されるホース７（第２液体供給手段）には逆止弁付ボール水止栓８が取り付けられている。電磁弁は、液体混合部と一体化されたユニットとして設置されている。そして、第２の液体は、液体混合部に流入し、第１の液体と混合される。 （もっと読む）

【課題】加工待ちの待機ワークをその加工待ち時間を利用して予め加工時の温度状態に維持させることにより、ワークの加工精度の向上と加工準備時間の短縮を図る。
【解決手段】ワーク冷却装置１は、ワークＷの加工領域Ａを囲む加工領域カバー１３ａと、自動パレット交換装置８の段取り部Ｂ側を囲むパレット交換領域カバー１３ｂとが仕切部材１４ｅ、１４ｇで区切られている。クーラントタンク１５内の温度調節されたクーラントＬを、クーラントポンプ１６，１７によって加工領域Ａ内に設けたクーラントノズル６ａ，１８ａに供給し、テーブル４上のワークＷに向かって吹き付けるクーラント装置Ｅを備えている。クーラント装置Ｅに、パレット交換領域カバー１３ｂ内の吐出ノズル２２ａ，２３ａによって、クーラントＬをパレット交換領域カバー１３ｂ内に位置するワークＷに吹き付ける冷却液吐出装置Ｆを設けた。 （もっと読む）

【課題】面圧調整機構を必要とせずにシール面圧値の異なる複数種類の流体を送給対象とすることが可能な流体送給機構における回転シール機構およびこの回転シール機構に用いられるロータリジョイントを提供することを目的とする。
【解決手段】流体供給源７ａ、７ｂから供給される複数種類の流体を軸心廻りに回転する回転部２ａへ固定部２ｂを介して送給する流体送給機構に用いられるロータリジョイント２において、ハウジング部材１３の嵌合孔１３ｂを大径部および小径部を有する段差形状とし、フローティングシート１５の固定軸部１５ｂを小径部に嵌合させ、大径部に嵌合する移動シリンダ１４を固定軸部１５ｂに対して接離自在にして、第１の流体および第２の流体の流体力がそれぞれ移動シリンダ１４および固定軸部１５ｂに個別に作用する構成とする。これにより、対象とする流体に応じた所望のシール面圧値を個別に設定することができる。 （もっと読む）

【課題】高圧力で大量の液体を使用して無人で長期間の連続試験を可能とした水漏れ対策試験機を提供する。
【解決手段】水漏れ対策試験機２０は、ＮＣ旋盤１側の切削水ポンプ１２及び配管１４によって回収された切削水を貯留する貯留タンク２１と、その貯留タンク２１に貯留された切削水を配管２６を介して加工室２内へ再び送り込む高圧切削水ポンプ２３と、配管２６の先端部に設けられて加工室２内部に切削水を噴射するノズル２８と、を備えて加工室２内部への切削水の循環供給を可能としている。 （もっと読む）

【課題】 水溶性切削油剤と水とを混合した切削液の自動調製や、その混合比の変更調整を可能にした切削液供給装置を提供する。各種の切削液を１台で供給可能にする。
【解決手段】 第１ポンプ６１を作動させて水溶性切削油剤の原液タンク２ａから原液を導出させ、入水路６４からの水と混合部で混合させてクーラントタンク２ｂに貯留する。流量センサ６５で入水流量を検出し、設定混合比に基づいて第１ポンプ６１の作動制御をすることにより、設定混合比に自動調製する。第２ポンプ７１を作動させて二重管構造のメイン供給路５の第１通路に対し第１接続部５３からクーラントを供給する一方、切換制御弁９５を開けてエア源９１からの圧力エアを第２通路に供給する。第２通路には、第３ポンプ８１の作動によりオイルタンク３からオイルが供給されるようにする。 （もっと読む）

【課題】不水溶性油剤を用いて安定した加工を可能にするとともに、防災面での対策も十分である加工方法を提供する。
【解決手段】加工に合わせて、不水溶性切削油３または水溶性切削油を選択的に使用するようにした切削加工方法であって、使用後の不水溶性切削油および水溶性切削油を一の回収槽１に回収貯留して、比重差に基づいて不水溶性切削油と水溶性切削油とを上下２層に分離し、前記分離された２種類の切削油の各層内に挿入された別々の吸入管５，６のいずれか一方を動作させて不水溶性切削油または水溶性切削油を選択的に使用し、それぞれを再使用するようにした。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスが容易であり、さらに機械設置に必要なスペースを最小限にした工作機械および複数の工作機械により構成された加工ラインを提供する。
【解決手段】加工ラインＬは上記実施形態における工作機械Ｍが横一列上に配列されており、加工ラインＬ全体を覆うようにカバー５６が設けられている。このカバー５６にはワークＷを搬入出する為の開閉窓５７および前方から加工状態の確認、図示された搬送形態とは別形態の搬送を行うための各工作機械Ｍに対応した複数の前方開閉窓５８が設けられている。クーラント装置５１は各工作機械Ｍの前方を横断するように設けられており、各工作機械Ｍの前方に対応する位置には回収口５９が設けられている。また、開閉窓５７外部と各工作機械Ｍ、Ｍの間にはワークＷを搬送する為のワーク搬送手段５５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】確実なクーラントの腐敗防止が得られコンパクトで構成が簡単なクーラント腐敗防止装置を提供する。
【解決手段】貯留タンクＴの上壁部Ｔａに設けたベース部１１から下端に電極取付部２１Ｃ、２２Ｃが形成された一対のステー２１、２２を吊設し、各ステー２１、２２の電極取付部２１Ｃ、２２Ｃに銅電極３１、３２を設け、両銅電極３１、３２にそれぞれステー２１、２２を介して交番直流電流を供給する。ベース部１１からステー２１、２２を介して銅電極３１、３２を対向して吊設する簡単な構成でクーラント腐敗防止装置１がコンパクトに形成できる。また、各ステー本体２１Ａと２２Ａの間をクーラントＣの液面ＣＬに浮遊するスカムに混在する切粉が掛け渡されることなく通過する離間距離Ｌを確保して配置することにより、安定した銅イオンの発生が確保でき確実なクーラントの腐敗防止が得られる。 （もっと読む）

【課題】面圧調整を合理的に行うことが可能な流体送給機構における回転シール機構およびこの回転シール機構に用いられるロータリジョイントを提供することを目的とする。
【解決手段】流体供給源７ａ、７ｂから供給される複数種類の流体を軸心廻りに回転する回転部２ａへ固定部２ｂを介して送給する流体送給機構に用いられるロータリジョイント２において、ハウジング部材１３の嵌合孔１３ａに嵌合して軸方向に移動する固定軸部１５ｂの外周面に段差部１５ｇを設け、低いシール面圧値とすることが求められる種類の流体を供給する場合には、加圧開孔２０を介して導入された面圧調整流体を段差部１５ｇに作用させて、固定シール部１５に流体圧による押圧力と反対方向の力を作用させ、面シール部１８のシール面圧を低減させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】加工水を一定の温度に保つための加工水温度制御装置において、ランニングコストを低減すると共に、加工水の温度が極端に低かったり高かったりする場合においても所望の温度に調整できるようにする。
【解決手段】温度計測部における計測値に応じて、制御部が第一のヒートポンプユニット及び第二のヒートポンプユニットを制御し、加工水を加温または冷却する。加温及び冷却の双方にヒートポンプユニットを使用するため、加温にヒータを使用する場合と比較して、ランニングコストを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】主軸部材貫通穴内に配置された流体供給管の内壁面にオイルミストが付着すること防ぎ、オイルミストの流動量を減少させることなく、十分な量のオイルミストをインナースリーブ、加工具まで到達させることができるとともに、流体供給管に発生する振動やたわみを抑制し、インナースリーブ、ドローバー等の破損を防ぐことができる工作機械の主軸装置を提供する。
【解決手段】流体供給管２４を主軸部材１０に対して軸受部材２５、２６で回転可能に支持する。そして、ワーク４０に対して所定の加工を行うとき、潤滑冷却用の流体をインナースリーブ２２、加工具２７に向けて供給するための流体供給管２４の回転数を主軸部材１０の回転数よりも少なくするようにする。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比の溝形状を切削加工しても，工具の劣化を抑制して工具の寿命を長くできる切削加工装置およびその方法と溝形状部材製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の切削加工装置１０は，ワークと工具とを接触させつつ一方を他方に対して移動させて切削加工によりワークに溝形状を形成するものであって，加工点に切削液を供給する超音波振動ヘッド１３と，超音波振動ヘッド１３内の切削液に超音波振動を付加する超音波振動子１３ａと，超音波振動ヘッド１３から加工点に供給された切削液を回収して再び超音波振動ヘッド１３へ戻す温調機２１とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造および制御で良好かつ確実に気液分離を行うことができる気液分離装置を備えた工作機械および気液分離装置を提供する。
【解決手段】気液分離装置２０は、加工室１２から気液混合流体を導入する流体導入口２１と、気液混合流体から液体を分離するセパレータ４０と、セパレータ４０に気液混合流体を導入する送風機３１と、液体を分離した流体を加工室１２に排出する流体排出口２２とを備える。気液分離装置２０で液体を分離した流体は、流体排出口２２から再び加工室１２に還元されるから、加工室１２外部に微量の液体も排出することがなく、良好かつ確実に気液分離を行える。また、加工室１２内で流体が強制的に循環するから加工室１２の内壁にも液体が凝集し、簡単な構造で液体を分離できる。 （もっと読む）

【課題】容器に充填されている加工液が使用され、加工液が充填された新たな容器と取り替える際に加工作業を中断することなく取替え作業を実施することができる加工液供給装置を提供する。
【解決手段】加工装置によって加工される被加工物に加工液を供給する加工液供給装置であって、２個の加工液容器と、２個の加工液容器の一方の加工液容器に収容された加工液を送出する第１のポンプと、他方の加工液容器に収容された加工液を送出する第２のポンプと、第１のポンプおよび第２のポンプによってそれぞれ送出された加工液を貯留する貯留容器と、貯留容器に貯留された加工液の水位を検出する第１の水位検出センサーと第２の水位検出センサーと第３の水位検出センサーと、制御手段とを具備し、制御手段は、第３の水位検出センサーから検出信号を入力したときには作動している第１のポンプまたは第２のポンプの一方の作動を停止して作動していなかった第１のポンプまたは第２のポンプの他方を作動せしめる。 （もっと読む）