【課題】長尺物を容易に位置決めすることが可能なワークレストを提供する。
【解決手段】ワークレスト１０は、下方から、ＸＹ軸ステージ２４、Ｚ軸ステージ２６及びゴニオステージ２８を備え、この中のゴニオステージ２８上に、長尺物であるドリル１４を支持するためのＶ字溝３０が形成された支持部材３２が配設される。ドリル１４の水平方向位置及び高さ方向位置は、それぞれ、ＸＹ軸ステージ２４の水平移動テーブル３４、Ｚ軸ステージ２６の鉛直移動テーブル４０を移動させることで調整することができ、また、ドリル１４の水平方向に対する角度は、ゴニオステージ２８の揺動テーブル４４を揺動させることによって調整することができる。以上の調整を行うことによりドリル１４が位置決めされ、その後、該ドリル１４に対し、例えば、砥石車１８による研削加工が行われる。 （もっと読む）

【課題】ワークの切削時とフランジの端面修正時とでワーク保持用の保持部材とフランジ端面修正治具とを置き換える必要がない切削加工装置を提供する。
【解決手段】ワークを保持する保持テーブル２０と保持テーブル２０を回転させる回転支持部と回転支持部を囲む支持部カバー２３とを有する保持手段２と、保持テーブル２０に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと切削ブレードを回転させるスピンドルとスピンドルの先端に切削ブレードを端面で挟持して固定するフランジとを有する切削手段とを備えた切削加工装置において、保持テーブル２０に隣接して支持部カバー２３にサブテーブル４を配設し、サブテーブル４は、切削ブレードをドレスするドレスボード７と、フランジの端面を研削する研削砥石８２と研削砥石８２を支持する砥石支持部材８１とを有する端面修正治具８とを選択的に吸引保持する。 （もっと読む）

【課題】装着フランジへの切削ブレードの着脱性を損なうことなく、２枚の切削ブレード間隔を短縮することが可能な構造の切削手段を備えた切削装置を提供すること。
【解決手段】外周に雄ネジの形成されたボス部およびボス部と一体的に形成され環状受面４４４を有す環状受部を含む装着フランジ４４と、装着フランジ４４の環状受面４４４に当接して装着される環状の切削ブレード４１と、中心部に形成された装着フランジ４４のボス部に挿入される挿入穴と、挿入穴を囲繞して形成された環状凹部４５２と、を有する固定フランジ４５と、中心部に形成された装着フランジ４４のボス部の雄ネジに螺合する雌ネジ穴と、外周に形成された把持するための外周把持部と、固定フランジ４５の環状凹部４５２の内周面に嵌合する環状凸部４６２と、環状凸部４６２の外周に装着された環状弾性部材と、を有する固定ナット４６と、から構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】擦り疵の発生を抑制しつつ複数本の長尺材を容易に位置決めすることができ、小さい誤差の範囲で一定長さに切断することができる定尺切断装置の提供。
【解決手段】載置された長尺鋼材Ｗをその長手方向に搬送する搬送ローラ２と、長尺鋼材Ｗの搬送方向前端に当接して、長尺鋼材Ｗの長手方向の位置決めを行うストッパ３と、上記長尺鋼材Ｗを搬送ローラ２に押圧するとともに、回転によって長尺鋼材Ｗを前方に送るための押さえローラ４と、長尺鋼材Ｗを切断するための切断刃７とを備えており、上記押さえローラ４が、中心軸９から偏心した回転軸１０を有し、搬送ローラ２と平行に、且つ、搬送ローラ２から上方に離間して配置され、回転軸１０回りに回転することにより、その中心軸９側が長尺鋼材Ｗに対向する位置に近づくと長尺鋼材Ｗに当接し、その中心軸９側が長尺鋼材Ｗから遠ざかると長尺鋼材Ｗから離間する、作用位置に位置しうるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構によりワークの形状ばらつきに追従して研磨加工を行う装置を提供する。
【解決手段】ワーク１００を研磨する砥石４２と、砥石４２が取り付けられた砥石回転軸４４と、砥石回転軸４４を回転させる駆動部４６と、砥石４２を移動させるベース５４，５６とを備えた研磨装置１０において、ベース５４，５６は、駆動部４６が配設された第１ベース５４と、砥石回転軸４４が回転可能に配設され第１ベース５４に対して砥石回転軸４４に沿った方向へ移動可能に設けられた第２ベース５６とを備え、砥石回転軸４４の軸方向の移動を許容し、かつ、駆動部４６から砥石回転軸４４に対して回転力が伝達可能な動力伝達機構５２が、駆動部４６と砥石回転軸４４との間に配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、平行度に優れる磁気記録媒体用ガラス基板の提供を目的とする。また、平行度に優れる磁気記録媒体用ガラス基板を高い生産性で研磨するガラス基板の研磨方法、および該研磨方法を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、磁気記録媒体用ガラス基板の両主平面を研磨する研磨工程において、ガラス基板の両主平面を同時に研磨したときの両面研磨装置の上定盤の内周端側で測定した表面温度ｔｐ１と外周端側で測定した表面温度ｔｐ２との差Δｔｐ（ｔｐ１−ｔｐ２）の絶対値が３℃以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】逆オスカー型の研磨装置において、上定盤の外部のカラーフィルタ上に研磨液を滴下させて研磨を行っても、研磨量の制御が容易で、安定した研磨のできる研磨装置を提供する。
【解決手段】上定盤３３に対向する下定盤１への荷重の分布を上定盤の外周部のみとするために、上定盤は上定盤上層３３ａと上定盤下層３３ｂで構成し、上定盤の下面を中凹状５０にする調整機構として押込みボルト３１を上定盤上層３３ａの中心部ｑを除く内面部ｒから外周部ｔに向かって複数個設けたこと。上定盤４３を厚さ方向を２分するスリット４４を中心部を除く内面部から外周部に向かって設け、押込みボルト４１を上定盤上半部４３ａの中心部を除く内面部から外周部に向かって複数個設けたこと。 （もっと読む）

【課題】２つの撮像装置を用いて効率的にワークのアライメントを実行可能なワーク加工装置及び方法を提供する。
【解決手段】回転刃２３は、Ｙ方向及びＺ方向に移動自在である。θテーブル４０の上面のワーク１０は、Ｘ方向及びＹ方向と平行な平面内で回転可能かつＸ方向に移動自在である。撮像装置９０Ｌ,９０Ｒは、Ｘ方向に関して回転刃２３を挟んで反対側に位置する。撮像装置９０Ｌ,９０Ｒの光軸は、Ｙ方向に関して回転刃２３から同じ側に所定距離だけずれた各位置でワーク１０の存在平面と交差する。切断時のワーク１０の移動ストロークの前後でワーク１０の左右の切断マークを撮像装置９０Ｌ,９０Ｒでそれぞれ撮像する。撮像画像に基づき、ワーク１０のＹ方向移動量及びθ方向位置補正量を演算する。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットの角部の面取りの幅を従来のシリコンインゴット面取り装置に比較して能率良く一定にできるシリコンインゴット面取り装置を提供する。
【解決手段】一対のガイドローラ装置１８，２０をそれぞれ一対の側面２２ａ，２２ｂ上に当接させた状態で一対のガイドローラ装置１８，２０をその一対の側面２２ａ，２２ｂに沿ってシリコンインゴット２２の長手方向に移動させると、研削布紙１２はシリコンインゴット２２の角部２２ｃの断面において研削布紙１２の下面１２ａの位置と角部２２ｃの先端の位置とが位置決めされながら研削布紙１２の下面１２ａによって略一定の研削高さＨで角部２２ｃを研削してシリコンインゴット２２の長手方向に案内されるので、シリコンインゴット２２の角部２２ｃを研削高さＨだけ研削しその研削により形成された角部２２ｃの面取りの幅Ｍが従来のシリコンインゴット面取り装置に比較して能率良く一定にされる。 （もっと読む）

【課題】被研磨物の端部形状を改善し安定した研磨加工を行うことができる枠材を提供する。
【解決手段】保持具１０は、テンプレート５とポリウレタンシート２とを備えている。テンプレート５は、複数に分割された分割枠材５１が一方の側面で貫通穴６の内周面を形成するように連結されている。分割枠材５１の両端部にそれぞれ凹部５ａが形成され、分割枠材５１間の連結部Ｓの内周側に凹部５ｂが形成されている。連結部材７ａが隣り合う分割枠材５１の凹部５ａの両方に嵌合され、突起ｔがテンプレート５の内側へ向けて突出する軟質部材７ｂが隣り合う分割枠材の凹部５ｂの両方に嵌合されている。連結部材７ａで複数の分割枠材５１が連結され、軟質部材７ｂの突起ｔにより被研磨物と分割枠材５１とが直接接触することが抑制される。 （もっと読む）

【課題】複数の加工テーブルで並行してウェーハを面取り加工し、スループットを向上させるとともに、砥石の総数を抑えて装置全体のコストやサイズを低減させ、維持管理も容易であるウェーハの面取り装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ１を戴置する複数の加工テーブル２と、上記ウェーハ１の周縁部を面取りするための複数種類の加工工程にそれぞれ対応した異なる加工特性を有する複数の砥石３、４、５、６と、上記各砥石３、４、５、６をそれぞれ上記加工テーブル２間で移動させる砥石移動手段とを有し、上記各砥石３、４、５、６が、それぞれ一つの加工テーブル２に接近してウェーハ１を面取り加工し、次いで他の加工テーブルに順次移動して加工することを繰り返すことにより、複数の上記ウェーハ１、…１を上記複数の砥石３、４、５、６が同時並行して面取りする。 （もっと読む）

【課題】書籍・本の表裏紙の装丁が比較的に軟らかい、いわゆるソフトカバー本における小口部、天部、地部等を研磨し、体裁を整えるにつき、これを連続的に大量処理する。
【解決手段】投入口２と排出口５との間で隣接配置した研磨機構３０の前方位置で間欠進退する搬送機構２０によって平積み状の１処理群の書籍Ｂを間欠搬送する。搬送機構２０の間欠停止時に搬送機構２０上の書籍Ｂを、その未研磨部を研磨機構３０側に向けて、搬送機構２０の搬送方向に直交する方向に沿って順次に送り込み、研磨帯３７にて擦過させ、その間、搬送機構２０を後退させる。後退位置で待機している搬送機構２０上の次段側位置に研磨後の書籍Ｂを戻し、搬送機構２０を再び前進させる搬送中に書籍Ｂを転回させ、その転回後に書籍Ｂを次段側の研磨機構３０に送り込むことを繰り返して、書籍Ｂの小口部、天部、地部を順次に研磨させる。 （もっと読む）

【課題】加工効率を低下させることなく高精度にワークに形成される溝の深さを制御できる切削加工装置を提供する。
【解決手段】分割予定ラインＬに形成された加工溝９の断面形状をワークＷの外周側面側から撮像する撮像手段８を備え、撮像手段８で撮像した加工溝９の断面形状から取得したワークＷへの切削ブレード３０の切り込み量に基づいて、後に加工する分割予定ラインへの切り込み量を制御することにより、所望深さの加工溝を高精度に形成する。また、一本の分割予定ラインＬを加工して加工溝９を形成した後、後の分割予定ラインの切削開始位置に切削ブレード３０を位置づけるまでの間に加工溝の深さを認識して切削ブレードの切り込み量を調整しなおすことができるため、加工効率を低下させることがない。 （もっと読む）

【課題】 被加工物を位置決めしてチャックテーブル上に容易に搭載可能な加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持面を有し作業者が被加工物を載置するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物へ加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、該チャックテーブルの該保持面に対面して配設された光源と、該光源と該チャックテーブルとの間に配設され被加工物位置合わせ用パターンを有するフィルタとを少なくとも含むパターン投影手段を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で切削ブレードの基準位置を検出可能な切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持するスピンドルを有する切削手段と、該切削ブレードの下端部の高さ位置を検出するブレード検出手段とを備えた切削装置であって、該ブレード検出手段は、回転する該切削ブレード周囲の気流によって発生する風圧を検出し、風圧に応じて電圧を出力する圧力センサーを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードを支持するフランジの端面を適切かつ自動的に研削して端面修正作業を行う。
【解決手段】被加工物を保持する保持テーブルに研削砥石７３を有する端面修正治具７を位置決めして配設し、切削手段のフランジ３４１の端面３４１ａと研削砥石７３との少なくともＸ方向及びＺ方向の相対位置を記憶部１１が記憶し、制御部１０による制御の下で、端面３４１ａと研削砥石７３との少なくともＸ方向及びＺ方向の位置関係を調整した後に、端面３４１ａと研削砥石７３とをＹ方向に接近させて端面３４１ａと研削砥石７３との接触を該検出部が検出することによってＹ方向の端面修正開始位置を決定することにより、自動で適切な端面修正作業を遂行することができる。 （もっと読む）

【課題】 被加工物を位置決めしてチャックテーブル上に容易に載置可能な加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物に加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、被加工物の上面を撮像する撮像手段と、該チャックテーブル上の被加工物を選択的に保持して該チャックテーブルから離脱させる該撮像手段に配設された仮保持手段と、該チャックテーブルと該撮像手段とを該保持面に平行な２方向へ相対移動させる移動手段とを具備し、該仮保持手段で被加工物を仮保持している間に、該移動手段を駆動して被加工物の中心を該チャックテーブルの中心に一致させた後被加工物を該チャックテーブル上に載置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの厚みを目標仕上げ厚みに高精度に研磨すること。
【解決手段】ワークの露出した被研磨面からワークの厚みを測定し（ステップＳ１）、ワークの被研磨面の全面に研磨パッドを押し当てて所定時間ワークの被研磨面を研磨し（ステップＳ２）、被研磨面の一部が露出した状態でワークの露出した被研磨面からワークの厚みを測定し（ステップＳ３）、ステップＳ１の処理によって得られたワークの厚みとステップＳ３の処理によって得られたワークの厚みとによって研磨量を算出すると共に、ステップＳ１の処理における研磨時間に基づいて研磨の経過時間に対するワークの厚み変化を求め（ステップＳ４）、ステップＳ４の処理で求めた研磨の経過時間に対するワークの厚み変化と目標仕上げ厚みとに基づいて研磨時間を設定してワークの被研磨面の全面にステップＳ１と同等の圧力で研磨パッドを押し当ててワークの被研磨面を研磨する（ステップＳ５）。 （もっと読む）

【課題】円筒形状または円柱形状のワークの磨き作業が行え、１台の装置でボルトとナットの両方の磨き作業が行えるワーク磨き装置を提供することにある。
【解決手段】本発明に係るワーク磨き装置１０は、略円筒形状または略円柱形状のワークを保持し回転駆動されるチャック１６１と、ワークの内周面または外周面に接触してその表面を磨くブラシ本体１３２と、ブラシ本体１３２をワークの内周面または外周面に押圧させるブラシ押圧用シリンダー２０８と、ブラシ本体１３２をワークの高さ方向に移動させるブラシ昇降用シリンダー２０６と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】レンズを粗加工から仕上げ加工まで行う際に、種々の番手の砥石をホイールヘッドのスピンドルに交換しながら取付けて精度良く、しかも効率良く研削することが出来る砥石自動交換装置を備えたレンズ研削装置を提供する。
【解決手段】レンズ研削装置１は、ワークＷの着脱可能なワークホルダー２とワークＷの表面を研削する種々の番手の異なる砥石Ｔの交換可能なホイールヘッド３を有するスピンドル４とを備えた研削装置本体５と、研削装置本体５の側部に前記ワークＷの加工に対応した種々の砥石Ｔを交換保持するための移動かつ旋回可能なマガジン本体を備えた自動砥石交換装置７とを備えている。自動砥石交換装置７は、支持フレーム上に水平に設置されたベース部材上に二本のレールから成るガイド部材及び駆動手段を介して規定領域を水平方向に往復移動可能なスライドプレートが設置してある。 （もっと読む）