【課題】ワイヤソーにおけるガイドプーリの磨耗を早期に検出する。
【解決手段】ガイドプーリ７の案内溝２７を経由してワイヤ２を複数の溝ローラ１１間に巻き掛け、ワイヤ２を走行させて溝ローラ１１間のワイヤ２にワーク１５を押し付けることによってワーク１５を切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤ２の所定走行速度及び前記ガイドプーリ７の案内溝２７の初期外径ｄ１を設定することで、予め前記所定走行速度におけるガイドプーリ７の所定範囲の回転数を設定する制御部と、ガイドプーリ７の回転数を検出するセンサ３２とを備えるガイドプーリの磨耗検出装置１９。前記ワイヤソーを駆動してワイヤ２が前記所定走行速度に達した時点でのガイドプーリ７の回転数をセンサ３２で検出し、この回転数と予め制御部に設定された所定範囲の回転数とを比較し、ガイドプーリ７の回転数が所定範囲外となったことを前記制御部で判断する。 （もっと読む）

【課題】 較正作業の手間、コストを掛けることなく加工精度を確保する。
【解決手段】 仕上げ加工具が取り付けられた加工具回転軸とチャック軸との相対的に位置関係を変える移動手段と、外径検知手段と、レンズ加工枚数が所定数に達するか又は所定期間が経過したことをトリガとして、通常の加工モードからの調整データを得る自動較正モードに切換える手段と、モードが切換えられたときに、玉型での加工に先立ち、玉型より大きなサイズの較正用玉型を玉型に基づいて決定し、較正用玉型に基づきレンズを仕上げ加工した後、外径検知手段で検知されたレンズの外径形状と較正用玉型とを比較して調整データを得て、較正データを補正する較正データ取得手段と、較正用玉型に基づき加工されたレンズを玉型及び較正データに基づき加工する加工制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】壁面に沿って移動しながら壁面に溶接によって生起している溶接ビードを切削する自走式溶接ビード切削装置の作業効率、切削能力を向上させる。
【解決手段】溶接ビードに隣接して壁面に敷設されているガイドレールに掛合しながら回転して溶接ビード切削装置をガイドレールに沿って前進移動及び後退移動させる駆動輪。駆動輪に支持されているフレームに取り付けられていて駆動輪に対して前進移動用の前進方向回転駆動力及び後退移動用の後退方向回転駆動力を与える自走用モータ。フレームに取り付けられていて溶接ビードの切削を行う回転エアーサンダー。フレームに取り付けられていて、回転エアーサンダーが溶接ビードに押し付けられる圧力を調整する押付圧力調整手段と、回転エアーサンダーをガイドレールが延びる方向に対して交叉する方向に移動させる横シフト手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】回転ブラシの磨耗の程度を良好に検出して、回転ブラシとワークとの間隔を良好に自動的に調整し、表面処理作業の効率化を図る。
【解決手段】回転ブラシ１０，２０の回転によって空気流が発生すると、流速計１００で空気流の流速Ｖが検出される。演算部２１０は、外部メモリ２５０の流速−ブラシ径データ２５４を参照し、検出した流速Ｖに対応するブラシ直径Ｄを得る。演算部２１０では、得られたブラシ直径Ｄと、ブラシ初期位置Ｐと、ワーク厚さＷＴとから、ブラシ位置調整量ΔＰを演算する。このブラシ位置調整量ΔＰの値に基づいて、昇降機構１２，２２によって回転ブラシ１０，２０の位置調整が行なわれる。 （もっと読む）

【課題】ガラスを研磨する際に傷の発生を抑制しながらも研磨に必要な時間の長大化を抑制することができる研磨方法を提供する。
【解決手段】研磨対象のガラス基板に対し、まず、陽電子消滅ガンマ線測定により、表面近傍の欠陥分布の検査を行う。次に、ガラス基板の表面に、ガスクラスタイオンを照射することによりガラスを劣化させた脆性層、又は柔軟な物質で表面を被覆した被覆層からなる緩衝層を生成する。次に、陽電子消滅ガンマ線測定により、生成した緩衝層の厚みを測定する。次に、ガラス基板の表面を洗浄する。次に、ガラス基板を研磨する研磨具上に、スラリーの砥粒を均一に散布し、更にスラリーの液体成分を加えてスラリーを生成する。次に、生成したスラリーを用いて緩衝層の上からガラス基板の化学機械研磨を行う。 （もっと読む）

【課題】局所的な加工焼けの発生を防止できる送り速度制御方法および送り速度制御装置を提供する。
【解決手段】加工中の各瞬間ｔにおける工具３０による加工領域を複数の微小領域に分割した場合に、各微小領域における加工能率Q"(w,θ,t)が設定上限値Q"set1以下となるように、工具３０の被加工物１５に対する相対的な送り速度Fを制御する。 （もっと読む）

【課題】高速回転する砥石車１１から高精度研削制御に必要とする情報を外部に容易に伝達可能として、外部からセンタレス研削盤１０に対して高精度研削の制御を可能とする。
【解決手段】調整車１２と、この調整車１２と互いの外周面を対向して配置された砥石車１１と、を備えたセンタレス研削盤１０において、砥石車１１には、砥石車１１の状態を検出する検出センサ２７，２８と、検出センサ２７，２８から得る砥石車情報を電磁誘導により外部に伝達する情報伝達コイル２３と、を具備する一方、砥石車側筐体に、情報伝達コイル２３から電磁誘導により砥石車情報が伝達される情報被伝達コイル２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰにおける過研磨の発生を抑止するレイアウトを効率よく作成すること。
【解決手段】研磨予測評価装置２０の分割部２１は、集積回路のレイアウトを複数のメッシュに分割する。過研磨領域抽出部２２は、メッシュの配線密度と周辺メッシュの配線密度に基づいて過研磨条件を参照し、ＥＯＥが発生するメッシュを抽出する。ダミー修正部２３は、ＥＯＥが発生するメッシュや周辺メッシュのダミー配線を修正することで、ＥＯＥの発生を抑える。過研磨条件を算出する過研磨条件算出装置３０は、試験パターンに対する研磨結果から、過研磨が発生する条件を求める。 （もっと読む）

【課題】保持面に形成した吸着溝により伝達される負圧によってワークを保持する場合においても、ワークが適切に保持されていない状態となるのを事前に検出すること。
【解決手段】環状フレーム１０１の開口部１０２にテープ１０３を介してワークＷを支持した形態のワークユニット１０のワークＷをテープ１０３を介して保持する保持面３４とこの保持面３４に形成された吸着溝３４１とを有するワーク保持部３を有するワーク保持機構において、環状フレーム１０１の内周とワークＷの外周との間に位置するテープ１０３に対応する位置に吸着溝３４１を囲むように形成された環状のリーク検出溝３３１と、リーク検出溝３３１に負圧を発生させる吸引部３２３と、リーク検出溝３３１と吸引部３２３との間に配設された圧力センサ３２４とを有し、リーク検出溝３３１の断面積を吸着溝３４１の断面積よりも大きくしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】両側主軸台でワークを支持する構成の加工装置において、短時間でワークを所定の位相で支持することができる工作物支持装置を提供する。
【解決手段】工作物回転軸上に対向配置され、ワークを両端から支持する第一支持装置３０Ｒと、第二支持装置３０Ｌと、両支持装置３０Ｒ，３０Ｌを制御する制御手段を備え、第一支持装置３０Ｒは、第一把持手段３３Ｒと第一主軸モータ３２ＲＭと、ワークの一端に形成された嵌合部材３５Ｒと、嵌合部材３５Ｒを第二支持装置３０Ｌ側に付勢する付勢手段３６Ｒを有し、第二支持装置３０Ｌは、第二把持手段３３Ｌと第二主軸モータ３２ＬＭを有し、制御手段は、ワークを嵌合部材３５Ｒに対して相対回転させることにより嵌合させ、嵌合部材３５Ｒの位相を制御することにより、ワークを所定の位相で支持する、工作物支持装置。 （もっと読む）

【課題】スラリーなどによる電気的な影響を受けずに、加工中に連続的に容易にワイヤ径を測定できるワイヤソー装置を得ること。
【解決手段】ワーク６を切削する前のワイヤ２が巻き付けられた巻き出し用ボビン１０と、巻き出し用ボビン１０から送り出されたワイヤ２が複数回掛け回される一対のガイドローラ１と、ガイドローラ１の一方を回転させてワイヤを走行させるモータと、ガイドローラ１の間に掛け回されたワイヤ２の表面にスラリー４を付着させるスラリーノズル７と、一対のガイドローラ１間でワーク６を切削した後のワイヤ２が巻き取られる巻取り用ボビン１１とを有し、スラリー４が表面に付着したワイヤ２によってワーク６を切断するワイヤソー装置であって、巻き出し用ボビン１０及び巻取り用ボビン１１のワイヤ巻き径を測定する光学式変位センサ１４と、光学式変位センサ１４の測定結果に基づいて、ワイヤ２の摩耗量を算出する演算器１６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】研磨パッド形状測定装置で測定した研磨パッド形状を、ドレスツールを用いてウェーハが所望の表面形状になるような研磨パッドの目標形状に修正する。
【解決手段】被加工物を所望の表面形状に研磨するための研磨パッド１４の形状修正方法であって、研磨パッド形状測定装置１０を用いて、定盤１２に貼付した状態で研磨パッド形状を測定する測定ステップＳ９と、測定ステップＳ９の測定結果に基づいて予め備えられた複数のドレスレシピの中から、前記被加工物を所望の表面形状に研磨可能なドレスレシピを選択する条件決定ステップＳ１０と、条件決定ステップＳ１０で決定されたドレスレシピを用いて研磨パッド１４をドレッシングする形状修正ステップＳ１１を備える。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単かつ容易に回転ブラシの柔軟性を定量的に判定できるブラシ状態判定装置及び判定方法を提供する。
【解決手段】回転ブラシを回転させつつ計測用ワークＷの計測面Ｗｆに移動させるロボットアーム３及びロボットハンド４と、回転ブラシの回転速度を複数の異なるブラシ回転速度の間で切り換えるモータ５及び制御ユニット８と、回転ブラシと計測用ワーク表面との間に電圧を印可する電源装置と、回転ブラシがワーク計測面に接触する際の両者間の電圧変化を検出する電圧計とを備え、電圧計の出力値に基づいて、回転ブラシがワーク計測面に接触し始めて電圧変化が生じるときの回転ブラシの電圧変化開始位置と、回転ブラシがワーク計測面により十分に接触して電圧が略安定化するときの回転ブラシの電圧安定化位置とを、複数の異なるブラシ回転速度について記録し、この記録データと予め定めた柔軟性評価値とに基づいて回転ブラシの柔軟性を判定する。 （もっと読む）

【課題】 新たに専用の検知機構を設けることなく、穴加工具の較正の自動化を図る。
【解決手段】 レンズチャック軸に保持されたレンズに穴を加工する穴加工具を持つ穴加工ユニットと、レンズ面に接触させる測定子を保持する保持部材のレンズチャック軸方向の移動を検知するセンサを持ち、センサからの出力信号に基づいてレンズのコバ位置を検知するレンズコバ検知ユニットと、を備え、入力された穴位置データに基づいてレンズ面に穴を加工する眼鏡レンズ加工装置は、レンズコバ検知ユニットを穴加工具の先端位置を検知する検知ユニットとして共用し、穴加工具の先端に保持部材の所定の接触部を接触させたときにセンサからの出力信号に基づいて穴加工具の先端位置の較正データを自動的に得る較正制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 加工具によるレンズ加工に関する較正を精度良く、効率的に行え、また、較正に必要なレンズの消費を抑える。
【解決手段】 レンズチャック軸に保持された眼鏡レンズの周縁を加工具により加工する眼鏡レンズ加工装置は、加工具によるレンズ加工を較正するための基準となる較正用玉型を記憶する記憶手段と、レンズチャック軸の保持されたレンズを較正用玉型に基づいて加工具により加工する加工手段と、レンズの周縁又はレンズ面に接触させる測定子を持ち、測定子の移動を検知してレンズの周縁又はレンズ面の加工形状を検知する加工形状検知手段と、加工手段を動作させてレンズの周縁を加工した後、加工形状検知手段を動作させて得られたレンズの加工形状と較正用玉型とに基づいて加工具によるレンズ加工の較正データを得る較正制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一枚の板材の研削開始から、次の板材の研削が可能になるまでのサイクルタイムを、加工品質を低下させることなく短縮する。
【解決手段】板ガラスＧの受取位置から受渡位置まで、板ガラスＧを固定した移動台車２と研削ホイールＷとを同時に移動させ、研削ホイールＷを、移動台車２の移動方向と平行な辺の板材端面（左右辺端面Ｇ５，Ｇ６）に当接させて研削を行いながら、移動台車２よりも遅く、かつ移動台車２に対する相対移動速度が研削速度ｖで移動させる。受渡位置において、移動台車２の板ガラスＧを固定装置に渡しながら、研削ホイールＷを反転させて、前記速度ｖで受取位置に後退させつつ板ガラスＧの端面について残りの部分を研削し、その後、受渡位置まで後退させる。一方、移動台車２を、研削ホイールＷが受渡位置に後退するまでに、受取位置に復帰させ、次の板ガラスＧの受け取りを行なわせる。 （もっと読む）

【課題】ワークを環状フレームに支持された状態で保持するものにおいて、センサにワークの加工量を精度よく検出させることができる保持テーブルおよび研削装置を提供すること。
【解決手段】環状フレーム１０２の開口部に半導体ウェーハＷを支持したワークユニット１０１を保持するチャックテーブル３７であって、半導体ウェーハＷを研削加工または研磨加工する加工ユニット３３、３４、３５に対向して配置され、半導体ウェーハＷを保持するワーク保持面７３ａが形成されたワーク保持部７３と、半導体ウェーハＷの加工面より下方に環状フレーム１０２を保持するフレーム保持面が形成された複数の吸着パッド７６と、複数の吸着パッド７６を囲うように、加工ユニット３３、３４、３５による加工中に半導体ウェーハＷの加工量を検出する接触式センサ４５の検出基準面７４ａが形成された基準ブロック部７４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】除去レートを正確に把握し、高い形状精度を要求される光学素子や光学素子成形用金型の加工に対応できる加工方法を提供する。
【解決手段】ツールであるイオンビーム１を、ダミーワーク２上で走査させ、このときの滞留時間を走査位置に対する一次関数で変化させ、実際に形成された単位除去形状３から、連続的に変化する滞留時間に対する除去レートを把握する。ツールの滞留時間を走査位置に対して一次関数で変化させているため、走査速度が速い場合から遅い場合まで連続して、実際の除去形状に基づく除去レートを取得することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＣＡＤ／ＣＡＭ技術による切削工具の研削加工方法及びその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る研削砥石を採用する切削工具の研削加工方法は、研削砥石の情報を記憶した研削砥石データベースを確立するステップと、切削工具の各加工面の加工工程の情報を記憶した加工工程データベースを確立するステップと、加工される前記切削工具を複数の加工面に分割し、前記加工工程データベースから各々の加工面に対応する加工工程の情報をそれぞれに選択し、前記研削砥石データベースから各々の加工面を加工する研削砥石をそれぞれに選択し、且つ前記加工工程の情報を組合って前記切削工具の加工工程を形成するステップと、前記加工工程に基づいて切削工具の数値制御コードを生成するステップと、前記数値制御コードを前記加工モジュールにダウンロードして前記切削工具に対して数値制御加工を行うステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】研削加工が良好に施されたか否かを、容易に判定することのできる方法を提供する。
【解決手段】メインブラシ４１と、メインブラシ４１よりも先端部を後退させたチェックブラシ４２とを有し、先端部に段差５１を形成し、その段差量を、所定回数の研削加工を良好に施した場合のメインブラシ４１の推定摩耗量以下とした研削ブラシ２０を用いて研削加工を施した後、研削ブラシ２０の先端部の段差５１の有無を確認することにより、被加工物の研削不足の有無を判定する。 （もっと読む）