【課題】１軸方向に移動自在なサドルに１軸方向と直交する方向に移動するテーブルを搭載した工作機械において、テーブルに発生するヨーイングを補正する。
【解決手段】サドル３上にＹ軸方向に所定間隔をあけてＸ軸方向に移動する一対のリニアモータ７を配置するとともに、Ｙ軸方向と平行となるようにＹ軸ガイド８を取り付ける。テーブル４をＹ軸ガイド８に、Ｘ軸方向には固定的に、テーブル４を通るＺ軸回りには所定量回動可能に連結する。テーブル４のＸ軸方向の両端部分のＹ軸方向における位置を検出し、この検出位置に基づいて各リニアモータ７の位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】リニアモータにより移動合体を１軸方向に移動させる移動装置において、装置の大型化を回避しつつ、移動合体の姿勢を制御する。
【解決手段】回転型モータ７を、回転子７ａの回転軸Ａｒが移動合体ＭＵの重心Ｇを通り、且つ重心Ｇとリニアモータ５３の移動軌跡Ｓとを含む平面Ｐと交差するように移動体Ｍに固定する。回転型モータ７の回転子７ａの回転が、リニアモータ５３の移動によって移動合体ＭＵに作用する回転トルクＴの少なくとも一部を相殺する反回転トルクＨＴを発生するように制御する。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の支持ユニットのサイズが比較的に小さく、そしてテーブル板を大きな角度で回転移動させることができる滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台１１の上に支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板１３を備え、そして上記支持装置が、基台に固定された中央に開口部を備える支持板２２と、その上下の各表面に複数個の球体２３を介して接触配置され且つ互いに上記開口部を通る支柱を介して接合された上側可動板２４及び下側可動板と、複数個の球体２３を保持する球体保持板４７とを有する、テーブル板の下面中央に配置された主支持ユニット２１、および基台に固定された支持板４２と、支持板の上面に複数個の球体４３を介して接触配置された可動板４４と、複数個の球体４３を保持する球体保持板４７と、球体保持板の移動距離を制限する手段４８とを有する、主支持ユニット２１の周囲に配置された複数個の副支持ユニット４１からなる滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】加工工具を被加工物に対して走査させる形状加工の加工精度を向上させる。
【解決手段】加工工具２３を被加工物Ｗに対して走査させることで形状加工する加工装置において、Ｘ、Ｙ、Ｚステージ４、５、６の姿勢誤差をそれぞれ検出し、各ステージの基準点に対する加工点Ｗ１の相対位置と姿勢誤差とから加工点Ｗ１の変位量を求める。被加工物上の加工点Ｗ１の変位量に基づいて、数値演算装置１２に登録された各ステージの目標位置を補正することで、ステージの姿勢誤差に起因する加工点Ｗ１の位置ずれを防ぎ、加工精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 縦方向駆動軸がハイリードボールネジ、リニアモータにより駆動されるので駆動トルクや加工推力を大きくすることは出来ないという欠点を取り除き、縦駆動軸の推力増加方法を提供すること。
【解決手段】 カウンターバランスの調節機構により制御される縦方向駆動軸を支えた縦方向軸本体を有する加工装置の縦方向軸制御方法において、縦方向主軸本体の駆動方向や目標位置との偏差または軸駆動モータの駆動電流の変化を測定し、カウンターバランスの調節機構を制御し、前記縦方向主軸本体の重力を駆動トルクや加工推力に利用する、ことを特徴とする縦方向軸制御方法。 （もっと読む）

【課題】ステージの移動方向の剛性を向上させる。
【解決手段】位置決めステージにおいて、ステージ１の移動方向の位置検出点とステージ１が振動して姿勢変化したときにステージ１の位置が変動しない節の位置を合わせる。この位置を合わせるために、ステージ１の重量分布を調整するための第１の錘１１及び第２の錘１２を有している。そして、ステージ１の伝達特性の振動モードが０ｄＢに近づくように第１の錘１１及び第２の錘１２の調整量を決定する。 （もっと読む）

【課題】摩擦要素を用いることなくテーブルの移動抵抗をより滑らかに変動させることが可能な移動テーブルを提供する。
【解決手段】基台２０と、基台２０に設けられた案内面と、案内面に沿う方向である案内方向に、移動可能あるいは旋回可能に構成されたテーブル３０と、テーブル３０を案内方向に移動あるいは旋回させるテーブル駆動手段４０と、を備えた移動テーブル１０において、テーブル３０を移動あるいは旋回させる際に発生する抵抗である移動抵抗の大きさを、テーブル３０を案内面に接触させることなく変更可能な移動抵抗可変手段（２１、２２、３１、３２）を備えている。 （もっと読む）

【課題】従来より小型化が可能なゴニオステージ装置を提供する。
【解決手段】一部に球面部分１１２を有するテーブル部１１０と、前記球面部分１１２に当接して、前記テーブル部１１０を３点支持する支持部材２１１ａ〜２１１ｃと、前記テーブル部１１０に連結されて、前記テーブル部１００のテーブル面１１１の向きを操作する面方向操作部２２０と、前記面方向操作部２２０の位置を変化させる面方向操作駆動部２４０と、前記テーブル部１１０と一体をなし、前記テーブル部１１０を、テーブル面１１１に垂直な軸を中心に回転させる回転操作部２３０と、前記回転操作部２３０の位置を変化させる回転操作駆動部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】旋回部材を支持した移動部材を軽量化し、高速、高加減速化に好適な旋回装置を提供する。
【解決手段】案内部材１１ａ、１１ｂに直線移動可能に支持された移動部材１３と、移動部材上に旋回可能に支持され径方向の両端部に連結部１５ａ、１５ｂを設けた旋回部材１５と、旋回部材を挟んで両側に移動部材の移動方向と平行な方向に摺動可能に設けられた一対の摺動部材２３、２４と、一対の摺動部材をそれぞれ摺動させる一対の送り機構３０、３３と、旋回部材の各連結部と一対の摺動部材を、旋回部材の旋回に伴う各連結部の移動部材の移動方向と直交する方向の変位成分を吸収してそれぞれ連結する連結機構４３、４４とによって構成した。 （もっと読む）

【課題】被案内体の案内体に対する位置決め精度を向上することができる位置決め装置、及び位置決め方法を得る。
【解決手段】位置決め装置１０は、ガイドブロック２８がガイドレール２６に対し所定軌道を運動可能となるように転動体を介して支持されて構成されたリニアガイド１４と、ガイドブロック２８に移動力を付与するサーボ機構１８と、ガイドレール２６及びガイドブロック２８に超音波振動を付加するための加振装置２２と、加振装置２２及びサーボ機構１８を制御する制御装置２４とを備える。制御装置２４は、ガイドブロック２８のガイドレール２６に対する位置決めが完了する前に、加振装置２２を作動してガイドレール２６、ガイドブロック２８に超音波振動を付加させ、かつガイドブロック２８のガイドレール２６に対する位置決めが完了する直前に、ガイドレール２６、ガイドブロック２８への超音波振動の付加を停止する。 （もっと読む）

【課題】 複数個の慣性力発生装置により、ステージ装置からテーブルが受ける力を外部に影響を与えることなく小さくすることができ、さらに、同じ慣性力発生装置により、設置床等からの振動を打ち消す。
【解決手段】 駆動装置によってウェイトを動かして慣性力を発生する複数個の慣性力発生装置１１ａ〜１１ｄと、ステージ装置２の可動部の動きを検出する動き検出器１２と、動き検出器からの信号に基づいて指示値を算出する演算装置１３とを有し、演算装置１３により算出した指示値を操作量として、慣性力発生装置の駆動装置により、ウェイトの少なくとも２つを異なる方向に移動し、これらのウェイトの慣性力により、ステージ装置２が発生するテーブルの振動を低減させる、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワーク載置部を支持する石定盤を不要にしてステージに位置検出精度を確保する。
【解決手段】スライダ３２Ａ、３２Ｂは、ガイド部１４の左右側面及び上面に対向するように逆Ｕ字状に形成されており、ガイド部１４Ａ，１４Ｂの左右側面に対向するヨーパッド３４，３５と、Ｚ方向で対向するリフトパッド３６とを有する。また、ガイド部の左右側面には、一対のリニアスケール２２Ａ、２２Ｂが設けられている。第１のリニアスケールは、ガイド部１４Ａの左側面に対するＹステージ１８の移動位置を測定する。また、第２のリニアスケールは、第１のリニアスケールが配されたガイド部の左側面と平行な反対側の右側面に対するＹステージの移動位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明はワークが載置される吸着板を支持する石定盤を不要にしてワークの大型化に対応すると共に、ステージの位置精度を確保することを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、床面に固定された架台１２と、架台１２上に支持された一対のガイド部１４Ａ，１４Ｂと、一対のガイド部１４Ａ，１４Ｂ間に横架されて両端を架台１２上に支持された複数の梁１６と、一対のガイド部１４Ａ，１４Ｂに沿ってＹ方向に移動するＹステージ１８と、Ｙステージ１８の両端部をＹ方向に駆動する一対のリニアモータ２０Ａ,２０Ｂとを有する。また、梁１６には、平板状のワークが載置される吸着板２４が載置される。ワークの面積が大型化されてＹステージ１８の移動距離を延長する場合には、ガイド部１４Ａ，１４Ｂを延長することにより対応することが可能である。 （もっと読む）

【課題】長時間にわたって精密移動し得るようにする。
【解決手段】移動装置１は、第１ベース板３に対して、脚部ユニット１１Ａ及び１１Ｂにおいて永久磁石７の磁力による通常吸着と当該永久磁石７及び電磁石部１２の磁力による強吸着とを切り換えながら圧電素子１０の全長を伸張させることにより前後方向に移動する第１移動部５と、当該第１移動部５と同様の動作により第２ベース板４を左右方向に移動させる第２移動部６とを組み合わせたことにより、第１ベース板３に対して第２ベース板４を２軸方向に自在に移動し得ると共に、静止状態においてコイルに電流を流し続けることなく静止位置を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】 ワークに水平（θ）方向のずれが生じてもアーム部材上でずれを補正することが可能な位置決めステージを実現する。
【解決手段】 Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータ３１、３２を平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータ３１、３２のスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータ３００を設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いてワーク２に対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、前記ワーク２を支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワーク２の受け渡しを行うワーク搬送手段を備え、該搬送手段は前記ワーク２を水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えた位置決めステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】ワーク支持体を原位置へ復帰させる機構をコンパクトにしつつ、ワーク支持体を一定の力で支持位置に安定した状態にロックすることができるワーク支持装置を提供する。
【解決手段】ワーク支持装置１０は、ワーク支持体Ｔを支持位置から原位置へ復帰させる原位置復帰機構Ｈを備えている。原位置復帰機構Ｈは、軸部材１７と、ワーク支持体Ｔに連結されているとともに、軸部材１７の外周側に該軸部材１７に対して相対移動可能に装着された第１及び第２可動部材２１，２２とを有している。また、原位置復帰機構Ｈは、第１可動部材２１と第２可動部材２２との間、及び第１可動部材２１と軸部材１７との間に、異なる磁極で着磁されたマグネット１９，２０，２３が対向配置された磁気ばね機構より構成されている。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーションの実施に費やす作業時間を短縮すること及び機構パラメータの良好な同定精度を得ることを可能としたパラレルメカニズム及びそのキャリブレーション方法を提供する。
【解決手段】直交座標系で与えられるリンクヘッの回動位置及び移動位置に対応する指令値を機構パラメータに基づいてアクチュエータ３５６〜３５９に対する指令値に変換し、アクチュエータ３５６〜３５９を制御する制御部３を備え、この制御部３は、リンクヘッドに所定の回動量及び移動量で動作させたときのアクチュエータ３５６〜３５９に対する指令値とそのときの検出器３８０の出力値とに基づいて機構パラメータを補正する。 （もっと読む）

【課題】 加工時、芯押軸を確実にクランプして芯押軸のビビリを抑え、ワークの加工精度を維持すると共に、芯押軸の軸受け部材が摩耗した場合、軸受け部材の交換を容易に実行可能な芯押台を提供する。
【解決手段】 貫通孔を有する本体と、前記貫通孔に挿通されて摺動および回転可能に支持される芯押軸と、芯押軸を駆動してワークに押圧させる流体圧駆動装置とを備える芯押台において、芯押台は、前記貫通孔と芯押軸との間にワーク側および反ワーク側からそれぞれ挿通可能で互いに軸線方向に離間する一対の軸受け部材が設けられると共に、クランプ装置が設けられ、クランプ装置は、一対の軸受け部材間において芯押軸を囲繞して配設される中空部材と、中空部材の内部空間に高圧流体を供給する高圧流体供給装置とを含み、中空部材は、本体に固定されると共に、半径方向内側部分が高圧流体の流入に伴って縮径して芯押軸を押圧する。 （もっと読む）

【課題】 テーブルの下面と補助支持部との距離を連続的に調整できるテーブル装置及び当該テーブル装置を備えた工作機械を提供する。
【解決手段】 マシニングセンタのテーブル装置３０は、回転テーブル３３に生じる上下振動を抑制できる振動抑制機構を有する。この振動抑制機構では、ベース３２側に固定されたカムフォロア６３に、回転テーブル３３の前端部近傍と後端部近傍の各下面に設けられたテーブル支持ブロック６５を当接させ、回転テーブル３３の上下振動を抑制する。さらに、テーブル支持ブロック６５は、カムフォロア６３側に向かって移動可能に支持され、ブロック位置調整ネジによりカムフォロア６３側に付勢されることにより、テーブル支持ブロック６５がカムフォロア６３側に連続的に移動する。よって、カムフォロア６３とテーブル支持ブロック６５との距離を連続的に調整できる。 （もっと読む）

【課題】テーブルを移動させるモータを固定できてモータ移動によるトラブルがなく、モータの制御が容易で、バックラッシュの生じないワーク位置決めステージを開発する。
【解決手段】ＸＹ両方向に摺動自在な軸３の上部にテーブルを設け、基端部が回動自在に支持された２本のアーム５をＸ字状に交叉して設ける。該アームには、各々内部を前記軸が摺動する長穴６を設け、前記アームの各長穴の交叉部において前記軸が長穴に挿通している。２本のアームを回動することでテーブルが任意の位置に移動する。モータ７が固定で移動しないので、モータ移動によるトラブルがなく、テーブルを任意の位置に移動する場合、アームの回動速度は全く任意であるので、駆動モータの制御がきわめて容易である。 （もっと読む）