【課題】回転、揺動するレンズ加工皿に被加工レンズを押圧して被加工レンズの粗研削を行うレンズ粗研削方法におけるスパークイン時のピリカケの発生を防止すること。
【解決手段】レンズホルダー７に被加工レンズ９を真空吸着し（ＳＴ１）、被加工レンズ９をレンズ加工皿８に押圧し（ＳＴ３）、レンズ加工皿８を回転させて、レンズホルダー７を連れ回りさせながら、レンズホルダー７に真空吸着されている被加工レンズ９に初期粗研削を施し（ＳＴ４）、レンズ加工皿８を回転および揺動させながら被加工レンズ９の粗研削を行う（ＳＴ６）。初期粗研削時にレンズ加工皿８に回転のみを行わせるので、スパークイン時に被加工レンズ９に大きな振動が加わることがなく、被加工レンズ９はレンズホルダー７によって安定した状態に保持され、ピリカケが発生せず、被加工レンズ９がレンズホルダー７内で芯ズレして片肉が発生することもない。 （もっと読む）

本発明は、工作物（２０、２２、４８、６０）を研削するための研削盤、特に、近接して配置された２つの工作物（４８）を同時に研削するための研削盤に関する。研削盤は、少なくとも２つの第１研削スピンドル（２６、２６'）と、少なくとも２つの第２研削スピンドル（２８、２８'）とを備えており、少なくとも２つの第２研削スピンドルのそれぞれが砥石固定部（３７）を持つと共に第１研削スピンドル（２６，２６'）の一方のスピンドル部（３０）上に支柱（４０）によって旋回可能に取り付けられており、その結果、各第１研削スピンドル（２６、２６'）の回転軸（４６）を中心として旋回することができる。
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【課題】超音波振動手段を金属基台に確実に絶縁した状態で装着することができる加工工具を提供する。
【解決手段】砥石と、該砥石を保持する金属基台と、金属基台にボンド剤によって装着された超音波振動手段とを具備する加工工具であって、超音波振動手段は超音波振動子と該超音波振動子の両側分極面にそれぞれ装着された一対の電極板とによって構成され、一対の電極板の少なくとも一方の表面に絶縁層が形成され、絶縁層を介して金属基台にボンド剤によって装着される。 （もっと読む）

本発明は、工作物（２０、２２、４８、６０）、特にカム（４８、６０）、を研削するための研削盤に関する。該研削盤は、機械ベッド（１２）と、砥石（５８、３６、３６’）の回転軸に略平行に延びる研削領域（７４）と、砥石（５８、３６、３６’）の回転軸に平行に延びていない少なくとも１つの断面（７０、７２）とを備えた輪郭を有する砥石（５８、３６、３６’）と、少なくとも１つの前記砥石（５８、３６、３６’）が配置されており、機械ベッド（１２）の上に移動可能に配置される、研削スピンドル（２８、２８’）と、研削加工を制御するための制御ユニット（９６）とを備え、該制御ユニット（９６）が、工作物（２０、２２、４８、６０）の研削中または研削後の、特に、工作物（２０、２２、４８、６０）の研削の終わり頃の工作物（２０、２２、４８、６０）の長手軸（２４）の方向での工作物（２０、２２、４８、６０）の端部（７６’、７６’’）の位置情報を用いて、工作物（２０、２２、４８、６０）の端部（７６’、７６’’）を砥石（５８、３６、３６’）の少なくとも１つの断面（７０、７２）により相次いでバリ取りまたは面取りするように構成されている。また、本発明は、このタイプの研削盤を用いて、工作物（２０、４８、６０）、具体的にはカム（４８、６０）、をホルダ（５４）上で研削するための方法に関する。
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【課題】横軸型加工装置に竪型加工装置の利点を取り入れ、安定的に大容量加工が可能で、しかも精度がよく、キズの出ない加工装置を提供する。
【解決手段】円盤の一部に切り欠き部３を有し、片側にボールが転がる溝を同心円状に複数有する砥石が装着された固定盤１と、この盤の溝側に対向し、ボールが転がる同心円状溝を固定盤と同数有する砥石が装着された回転盤２からなるボール加工装置において、固定、回転盤砥石の装着面を水平方向より５乃至４５度傾斜せしめると共に、固定盤の切り欠き部３に固定盤と回転盤に挟まれたボールを取り出す機構８及びボールを供給する供給シュート５を設け、かつ更に両盤の横に回転コンベア４を設けて該コンベアに前記供給シュート５側か、取り出し機構８側にボールを移送するボール移送機構を付設した。 （もっと読む）

【課題】研磨効率の低下を抑制し、効率よくグリーンボールの研磨を実施することが可能なグリーンボールの研磨装置を提供する。
【解決手段】
研磨装置１は、第１の面１１を有する第１定盤１０と、第１の面１１に対向し、第２の面２１を有するとともに、第２の面２１に交差する方向に突出する保持部２２を有する第２定盤２０とを備えている。第１の面１１は、グリーンボール９１を研磨する研磨面となっている。また、グリーンボールの研磨装置１は、研磨により生じた研磨粉を上記研磨面から除去する吸引部材４０をさらに備えている。グリーンボール９１は第１の面１１と第２の面２１との間において挟持される。そして、第１定盤１０および第２定盤２０は、それぞれ軸αおよび軸β周りに回転することによってグリーンボール９１を公転および自転させる。 （もっと読む）

【課題】環状凸部に発生する欠けを減少させるとともにエッチング液やレジスト液等の処理液を効率良くウエーハ外に排出可能なウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】デバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウエーハ１１を加工する方法であって、ウエーハ１１のデバイス領域に相当する領域を研削して裏面に円形凹部５６を形成するとともに円形凹部５６を囲繞する環状凸部５８を形成するウエーハ研削ステップと、回転軸８６に対して直交する第１面と第２面とを有し、第１面の外周に、傾斜するテーパ面８９が形成された切削ブレード８８を回転させつつ環状凸部の内周縁にテーパ面８９を位置づけるとともに、切削ブレード８８と保持手段とを相対移動させて切削ブレード８８を環状凸部に切り込ませることにより、環状凸部の内周縁に切削ブレードのテーパ面８９に倣った傾斜面を形成する環状凸部切削ステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】環状凸部に発生する欠けを減少させるとともに、エッチング液やレジスト液等の処理液を効率良くウエハ外に排出可能なウエハの加工方法を提供する。
【解決手段】複数のデバイスが形成されたデバイス領域と、デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウエハ１１の加工方法であって、ホイール基台２４に環状に配設された研削砥石２５を、回転させつつウエハの裏面に当接させて、裏面に円形凹部５６を形成するとともに、円形凹部を囲繞する環状凸部５８を形成する研削ステップを具備し、研削砥石はウエハを研削する研削面と、研削面に対して垂直な回転軸を有するホイール基台に装着される装着面と、装着面から回転軸方向に向かって傾斜する外周側面２５ｃとを有しており、研削ステップでは、環状凸部の上面内周側から円形凹部のウエハ中心方向に向かって、研削砥石の傾斜する外周側面に倣って、傾斜する環状傾斜面が形成される。 （もっと読む）

【課題】ワークに発傷等を誘発することなく、加工バリ除去効率に優れた加工バリ取り装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送経路Ｌに沿って搬送されるワークＷの表面Ｗａ及び裏面Ｗｂに、回転すると共に周期的に回転軸方向に往復動するバフローラ７２、４６が摺接する。ワークＷの表面ａ側に突出する加工バリに対してバフローラ７２の摺接方向が変化し、裏面Ｗｂ側に突出する加工バリに対してバフローラ４６の摺接方向が変化し、ワークＷに突出する加工バリがワークＷから効率的に除去される。また、ワークＷから分断された加工バリは下方に落下してワークＷへの付着が抑制され、ワークＷから分離し加工バリによってワークを傷付ける不具合が防止或いは抑制される。 （もっと読む）

【課題】 環状凸部に発生する欠けを減少させるとともにエッチング液やレジスト液等の処理液を効率良くウエーハ外に排出可能なウエーハの加工方法を提供することである。
【解決手段】 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウエーハを加工するウエーハの加工方法であって、ウエーハのデバイス領域に相当する領域を研削して裏面に円形凹部を形成するとともに円形凹部を囲繞する環状凸部を形成するウエーハ研削ステップと、保持面と平行な回転軸を備えた切削ブレードを回転させつつウエーハを保持する保持手段を回転させるとともに、該保持手段と切削ブレードとを相対移動させて環状凸部を切削し、環状凸部の上面内周側から円形凹部のウエーハ中心方向に向かって傾斜する傾斜面を形成する環状凸部切削ステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】環状凸部に発生する欠けを減少させるとともに、エッチング液やレジスト液等の処理液を効率良くウエハ外に排出可能なウエハの加工方法を提供する。
【解決手段】複数のデバイスが形成されたデバイス領域と、デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウエハの加工方法であって、研削砥石をウエハ１１の裏面に当接させて裏面を研削し、裏面に円形凹部２８を形成するとともに、円形凹部を囲繞する環状凸部３０を形成する研削ステップを具備し、研削ステップは研削砥石をウエハに接近する方向へ研削送りする鉛直方向研削ステップと、研削砥石をウエハの中心方向へ所定距離移動させる水平方向移動ステップとを含み、鉛直方向と水平方向移動ステップとを複数回繰り返すことにより、環状凸部の上面内周側から円形凹部の中心方向に向かって階段状に傾斜する環状傾斜面３４を形成する。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石に超音波振動を充分伝達可能な研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 研削装置のスピンドル先端に固定されたホイールマウントに装着される研削ホイールであって、該ホイールマウントに装着されるマウント装着プレートと、第１面及び該第１面と反対側の第２面を有し、該第２面の外周部に複数の研削砥石が固定されたホイールベースと、該研削砥石の半径方向内側で該ホイールベースの前記第１面に配設された超音波振動子と、該マウント装着プレートの全周と該ホイールベースの全周とを囲繞するように該マウント装着プレートの外周と該ホイールベースの外周とに締結された円筒状薄板と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コストで容易に、高い精度の球面を研磨する。
【解決手段】光学素子の表面を球面研磨皿に摺り合わせてその表面を球面状に研磨する球面研磨装置において、前記光学素子を前記球面研磨皿に当てた状態で支持する研磨シャフトと、軸芯が、前記光学素子の表面の研磨目標球面の曲率中心を通り前記研磨シャフトを回転させる回転駆動部とを備え、
前記研磨シャフトが、前記研磨目標球面の曲率中心で前記回転駆動部に連結されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 環状凸部に発生する欠けを減少させるとともにエッチング液やレジスト液等の処理液を効率良くウエーハ外に排出可能なウエーハの加工方法を提供することである。
【解決手段】 ウエーハの加工方法であって、保持面と該保持面に対して垂直な回転軸を備える保持手段で保護部材が配設されたウエーハの表面側を保持する保持ステップと、研削砥石を回転させつつ回転駆動される該保持手段で保持されたウエーハの裏面に当接させてウエーハのデバイス領域に相当するウエーハの裏面を研削して裏面に円形凹部を形成するとともに、該円形凹部を囲繞する環状凸部を形成する研削ステップとを具備し、該研削ステップでは、該研削砥石と該保持手段とを相対移動させて該研削砥石をウエーハに接近する方向に研削送りするのと同時に該ウエーハの中心方向へ移動させることにより、該環状凸部の上面内周側から該円形凹部のウエーハ中心方向に向かって傾斜するテーパ面を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】一枚の板材の研削開始から、次の板材の研削が可能になるまでのサイクルタイムを、加工品質を低下させることなく短縮する。
【解決手段】板ガラスＧの受取位置から受渡位置まで、板ガラスＧを固定した移動台車２と研削ホイールＷとを同時に移動させ、研削ホイールＷを、移動台車２の移動方向と平行な辺の板材端面（左右辺端面Ｇ５，Ｇ６）に当接させて研削を行いながら、移動台車２よりも遅く、かつ移動台車２に対する相対移動速度が研削速度ｖで移動させる。受渡位置において、移動台車２の板ガラスＧを固定装置に渡しながら、研削ホイールＷを反転させて、前記速度ｖで受取位置に後退させつつ板ガラスＧの端面について残りの部分を研削し、その後、受渡位置まで後退させる。一方、移動台車２を、研削ホイールＷが受渡位置に後退するまでに、受取位置に復帰させ、次の板ガラスＧの受け取りを行なわせる。 （もっと読む）

【課題】高品位な被加工物表面を短時間で形成できる研磨工具を提供する。
【解決手段】研磨工具１０は、被加工物Ｗの表面Ｗａに沿う送り方向Ｓと平行に配置される回転軸１と、少なくとも２つの研磨体７，８と、からなる。研磨体７は、研磨体８，９よりも外周表面７ａの空孔率の高い発泡ポリウレタン樹脂等の発泡樹脂で形成される。また、研磨体８は、研磨体７よりも剛性の高い材質である無発泡ポリウレタン樹脂等の無発泡樹脂で形成されている。研磨加工の際には、研磨体７で被加工物Ｗの表面Ｗａを研磨除去し、これにより表面Ｗａに形成されるうねりは、研磨体８にて平滑化される。 （もっと読む）

【課題】回転砥石を使用して乾式加工を行っても、回転砥石に目詰まりが生じにくい加工方法、及び、該加工方法に適した加工装置を提供する。
【解決手段】加工方法は、砥石本体を、砥石本体の重心を通る第一軸周りに回転させると共に、第一軸とは軸方向が異なる第二軸周りに回転させながら、砥石本体を被加工体に押し込むものである。加工装置１は、砥石本体１０と、砥石本体の重心を通る第一軸Ｐ１を軸心とし、砥石本体と一体的に回転する回転支軸１１と、回転支軸を回転させる第一回転駆動装置１４と、回転支軸を砥石本体の両側で回転自在に挿通させる一対の支持体１２と、支持体を、第一軸とは軸方向が異なる第二軸Ｐ２周りに回転させる第二回転駆動装置１９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】被加工物の表面形状がコーナー部と平坦部を持つ場合であってもその全面を安定して研磨可能とする。
【解決手段】回転軸心Ａを中心として回転する被加工物１８の研磨方法において、回転軸心Ｃの一端に固定された円盤形状の研磨工具２０を用い、その研磨工具２０の外周端縁Ｑを被加工物１８の表面に当接させて研磨する。 （もっと読む）

【課題】被加工物の形状精度を向上させることが可能な研磨加工技術を提供する。
【解決手段】自転する回転軸対称形状のワーク１８の子午線１８ｂ上を、加工作用部５ａが球状のポリッシャ５を自転させながら相対的に走査させて行う研磨加工方法であって、ポリッシャ５の走査方向と直交する面内での、ワーク１８の加工点１８ｃにおける法線１８ｄと、ポリッシャ５の回転軸５ｂとのなす角度θを、ワーク１８の外周部から中心に向かうにつれて漸減させながら研磨加工を行うことで、子午線１８ｂ上の相対走査速度を変化させることなく、ワーク１８の中心と周辺部とで均一な除去量による研磨加工を実現する。 （もっと読む）

【課題】研磨加工面の一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物でも、研磨加工面の全体を安定して精度良く均一に研磨加工することが可能な研磨加工技術を提供する。
【解決手段】円環形状の弾性体６ａからなる加工作用部６ｂを備えた研磨工具６を用い、被加工物１の主軸回転軸Ａと、研磨工具６の工具回転軸Ｂとが、被加工物１の研磨加工面１ａの研磨加工点ｋにおける傾斜角α（ｘ）（接線の傾き）から所定の角度β（ｘ）を減算して得られる研磨角度θとなるように制御し、円環形状の加工作用部６ｂが三日月形状の領域で部分的に研磨加工面１ａに接触するようにして、研磨加工面１ａの一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物１でも、研磨加工面１ａの全体を安定して均一に研磨加工することを可能にした。 （もっと読む）